检索结果-南通市图书馆

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

朱次琦学术思想研究

朱次琦学术思想研究

作者：杨翔宇华东师范大学

学位级别：硕士

朱次琦(1807——1882),字子襄,号稚圭,广东南海九江人,人称九江先生,晚清著名学者。次琦幼慧,早年谒粤知府仪征阮元,阮元惊为才子。年三十三,举于乡;四十一,成进士,即用知县,签发山西。咸丰二年,署山西襄陵,政化大行,晋民感其恩德,筑祠... 详细信息

朱次琦(1807——1882),字子襄,号稚圭,广东南海九江人,人称九江先生,晚清著名学者。次琦幼慧,早年谒粤知府仪征阮元,阮元惊为才子。年三十三,举于乡;四十一,成进士,即用知县,签发山西。咸丰二年,署山西襄陵,政化大行,晋民感其恩德,筑祠以祀之。年五十辞归故里,后讲学于礼山草堂,垂二十余年,远方从学者众,弟子中最负盛名者有康有为,简朝亮等。次琦学养深厚,著述等身,惜其晚岁皆焚之,其门人简朝亮搜其所遗诗文都十卷,刊曰《朱九江先生集》,后又撰年谱一卷,列于卷首。因无著述传世,故后人论述颇少,今据其弟子所为文集,撮其论学语,对其学术思想作一研究,并将其学术思想置于时代背景下进行深入考察。全文共分四个部分: 第一部分:梳理朱次琦的生平经历及学术渊源。次琦生于晚清之粤地,岭南绵长的理学渊源和良好的家庭氛围及特定的时代背景深深地影响着次琦的治学,也为其性格和价值观的形成奠定了基石。为实现抚民之愿,济世之志,救国之心,在“学而优则仕”的道路上,次琦客场奋斗数十年,摄职从政后,功绩卓著,誉满晋中。但他自知官场险恶,河清无日,遂激流勇退,归乡隐居,以讲学终其身。居乡期间,经世济民之志未泯,仍关心时政且勤于著述,惜其晚岁病革时以一炬焚之,实为儒林一大损失。次琦辞官归乡及自焚书稿之缘由,论文颇多涉及。第二部分:分析朱次琦修身读书论及其实质。修身读书论包括两个方面,即修身“四行”论与读书“五学”论。修身“四行”指的是惇行孝弟,崇尚名节,变化气质,检摄威仪,此四者环环相扣,逻辑严密。次琦修身论以发挥程朱理学的道德论而见长,其中重“践履”的思想也得以体现,在晚清国势日蹙的局势下,具有特殊的意义。次琦修身论对康有为影响颇深,康长兴讲学时所提倡“四据”(主静出倪,养心不动,变化气质,检摄威仪)亦由此而来。读书“五学”即谓经学,史学,掌故之学,性理之学,辞章之学。此五者,前贤略有涉及,而次琦重提之且颇多论述,其意在通过挖掘“五学”中的经世致用因素,来纠正当时学术之弊病,从而改变积贫积弱的社会现实。这一治学理念在一定程度上起到了宣教化,易风尚的积极作用。在当时的条件下,具有积极意义。第三部分:重点解析朱次琦对理学的认识。次琦生活的时代,中国社会正发生着天翻地覆之变,在经历了内忧外患的重重进逼之后,传统士大夫意识深处的经世致用观念勃兴,在次琦理学思想中即渗透着对世事的感慨和时事的担忧,其对朱子学的尊崇,对阳明王学的批判,对考据学、汉学的讥讽,对实学孔学的扬弃,对经史的至爱都折射出对现实的强烈关注,具有强烈的时代感和责任感。

关键词：朱次琦修身读书论学论谱谍学

应用hiPSC衍生的MSN治疗大鼠亨廷顿舞蹈症疾病模型的研究

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

应用hiPSC衍生的MSN治疗大鼠亨廷顿舞蹈症疾病模型的研究

作者：杨翔宇电子科技大学

学位级别：硕士

目的:建立一套由hiPSC诱导分化为MSN的高效快速且具有较高安全性的体外实验方案;并将获得的MSN植入QA造模HD大鼠的纹状体,用于验证对HD的治疗作用。方法:（1）建立起一套用hiPSC诱导分化产生MSN的细胞体外培养方案,并且获得的MSN需要满... 详细信息

目的:建立一套由hiPSC诱导分化为MSN的高效快速且具有较高安全性的体外实验方案;并将获得的MSN植入QA造模HD大鼠的纹状体,用于验证对HD的治疗作用。方法:（1）建立起一套用hiPSC诱导分化产生MSN的细胞体外培养方案,并且获得的MSN需要满足本研究的产量及质量要求。（2）通过实时定量PCR、免疫荧光染色等方法对诱导分化过程中各个阶段的产物进行检测,以验证诱导培养的效果;检测在诱导分化不同阶段的转录产物的表达,如OCT4、DLX5、GAD6与DARPP32等基因,并将这些基因在MSN中的表达量与在未分化hiPSC中的表达量进行对比。（3）对未分化hiPSC（n=4）、MSNP（n=3）及MSN（n=3）三组细胞进行转录组学测序,分析与未分化hiPSC组相比MSNP/MSN的基因表达情况。（4）用喹啉酸（QA）对大鼠进行造模,使其表现出类似HD症状,并对造模效果进行评估。（5）将获得的MSN植入大鼠脑损伤区域,通过HE染色与免疫荧光染色等手段检测是否移植成功。（6）取41只SD大鼠随机分为sham组（n=10）、vehicle组（n=10）、QA+HBSS组（n=10）与QA+MSN组（n=11）,QA+MSN组给予微量注射MSN,QA+HBSS组给予注射空白溶剂HBSS,在细胞移植后第28天处死动物并取脑观察其脑损伤情况与细胞存活情况。（7）上述4组大鼠分别在QA造模后2d,术后1d、7d、14d、21d与28d进行神经功能行为学量表测试与转棒测试。结果:（1）与未分化hiPSC相比,MSN的转录产物对其特异性标志物GAD67、DARPP32基因可较高水平表达（P＜0.0001）,MSNP的转录产物对其特异性标志物DLX5基因可较高水平表达（P＜0.001）,而这两种细胞对于未分化hiPSC的特异性标志物OCT4基因相对低表达（P＜0.0001）。（2）对未分化hiPSC、MSNP及MSN的测序结果显示,MSNP/MSN与未分化hiPSC的总体基因表达水平具有较大差异。（3）QA造模引发了大鼠脑组织结构改变、脑纹状体损伤与HD症状的显现。（4）免疫荧光染色显示,MSN能成功地植入大鼠的纹状体内,且植入后MSN能在较长一段时间内存活于纹状体区域。（5）相对于未移植MSN的大鼠而言,植入了MSN的大鼠在运动及感觉能力方面有着更好表现,随时间推移在MSN移植四周后症状显著改善（P＜0.01）。结论:（1）在体外能以hiPSC为起点实现高效快速诱导分化出MSN的过程,且诱导效率高,产物质量好。（2）使用分化程度较高的MSN进行细胞移植是相对安全的,能够保证较低的致瘤性与较好的移植效果。（3）MSN移植到大鼠脑纹状体区后能够对大鼠的神经行为学表现起到一定的改善作用,使大鼠的HD症状得到恢复。

关键词：亨廷顿舞蹈症喹啉酸人诱导多能干细胞中型多棘神经元细胞移植

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

SVM在Web文本挖掘中的应用与研究

SVM在Web文本挖掘中的应用与研究

作者：杨翔宇哈尔滨工程大学

学位级别：硕士

Web已经成为获取信息的最重要手段之一。海量的网页在为人们提供包罗万象、无比丰富的信息资源同时,也向人们提出了如何快速地从信息海洋中获取所需信息的挑战。Web文本挖掘技术是解决上述问题的一种方法。Web文本挖掘借鉴数据挖掘的基... 详细信息

Web已经成为获取信息的最重要手段之一。海量的网页在为人们提供包罗万象、无比丰富的信息资源同时,也向人们提出了如何快速地从信息海洋中获取所需信息的挑战。Web文本挖掘技术是解决上述问题的一种方法。Web文本挖掘借鉴数据挖掘的基本思想和理论方法,从大量非结构化、异构的Web文档的集合中发现有效的、新颖的、潜住可用的及最终可理解的知识。但是,现有的Web文本挖掘技术应用效果不够理想,并且不能适应于Web上文档高速膨胀的需要。因此,开发新的Web文本挖掘技术便成为研究热点。针对以上情况,本文主要做了以下方面的工作。首先,本文介绍了Web数据挖掘的基本概念、分类和方法,以及Web文本挖掘的具体过程和相关理论。重点介绍了Web文本挖掘中的特征表示与特征提取技术,并提出了一种改进的类别区分词的特征选择方法。该方法能够在大大缩减特征空间的同时,选择出那些最具有类别指示意义因而也最利于分类的特征。其次,本文认真研究了统计学习理论的主要内容和支持向量机算法的基本原理。并且就支持向量机的训练算法、分类算法、多类算法、核函数及选择等热点问题分别加以讨论。阐述了支持向量机研究和应用现状,以及所面临的问题。最后指出刘支持向量机进一步研究和应用需要解决的一些重要问题。最后,本文将支持向量机与增量学习相结合应用到Web文本挖掘中,提出一种改进的支持向量机增量学习算法。该算法舍弃对最终结论无用的样本,使得学习对象的知识得到了积累。本算法在保证分类准确度的同时,在增量学习问题上比传统的支持向量机有效。

关键词： Web文本挖掘统计学习理论支持向量机增量学习

基于WebGL的三维地形可视域分析算法研究

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

基于WebGL的三维地形可视域分析算法研究

作者：杨翔宇华中师范大学

学位级别：硕士

3D地理信息系统(Geographic Information System,GIS)中的可视域分析在人们对地理空间的感知、认知中起到了重要作用,广泛应用于景观分析、城市规划、军事、游戏等领域。本文基于此研究了基于三维地形的可视域分析的相关理论,并针对现... 详细信息

3D地理信息系统(Geographic Information System,GIS)中的可视域分析在人们对地理空间的感知、认知中起到了重要作用,广泛应用于景观分析、城市规划、军事、游戏等领域。本文基于此研究了基于三维地形的可视域分析的相关理论,并针对现有算法在浏览器端的不足,提出了一种基于WebGL的改进算法,使之可以高效的应用于浏览器中,并结合实际案例,对于可视域分析在实际生产生活中的重要作用进行探讨。本文主要研究内容及结论如下:对可视域分析相关理论知识进行梳理总结,详细剖析了可视域分析的两大基本因素,通视性分析以及可视域,其中通视分析是整个可视域分析的基础,如何有效的计算两点间的通视性关系到可视域分析算法的复杂度,这也是之后进行算法改进的核心点,介绍了常用的四种通视性算法并对其各自优缺点进行比较,使用时根据合适情况选择对应方法。同时分析了三种常用的基于视线的可视域分析算法,对于每种算法的原理进行了详细阐述,为后文提出的改进算法打下理论基础。在已有的基于视线的可视域分析算法的基础上提出了一种高效的改进可视域算法。其改进原理主要是依靠地形连续性情况下,对于前点可视性的复用,从而节省大量计算,同时对于采样点的选取也根据视线半径进行优化处理,以最大限度的提升算法效率。使用该改进算法与传统基于视线算法以及软件中的可视域分析进行实验对比,分别在山地、丘陵、平原等不同地势区域执行可视域分析,对算法执行时间以及计算点数进行统计,可以看到改进算法在执行时间上的提升非常明显,计算量大幅降低,尤其是在地势平坦、遮挡较少区域,改进算法的效果尤为明显。通过实验结果对比也很好的验证了改进算法的高效性。结合改进算法,利用Cesium平台,构建基于WebGL的可视域分析系统,其中有三个核心技术点,影像以及地形数据加载、观察点选取、可视域计算与显示,结合Cesium相关技术,对这三个关键点进行分析并编程实现。最后利用构建的基于WebGL的可视域分析系统结合实际案例,以武当山景区为例,选取五个著名景点,执行景观可视域分析,并通过新增点进行可视域分析说明新建景观点的合理性,阐明了三维地形可视域分析在景观分析、规划、设计中重要作用,同时对于武当山森林防火瞭望台的选址利用可视域分析进行了分析布局规划。

关键词：可视域分析 WebGL 三维地形通视分析 Cesium 景观分析

表型聚类与SSR聚类对爆裂玉米自交系类群划分及杂种优势分析

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

表型聚类与SSR聚类对爆裂玉米自交系类群划分及杂种优势分析

作者：杨翔宇吉林农业大学

学位级别：硕士

本文选用了60份存在遗传背景差异的爆裂玉米自交系材料,通过表型聚类与SSR聚类方法对自交系进行类群划分。通过聚类分析挑选出遗传差异较大的12份爆裂玉米自交系作为试验亲本,按不完全双列杂交设计方法杂交出35份杂交组合。对杂交所得... 详细信息

本文选用了60份存在遗传背景差异的爆裂玉米自交系材料,通过表型聚类与SSR聚类方法对自交系进行类群划分。通过聚类分析挑选出遗传差异较大的12份爆裂玉米自交系作为试验亲本,按不完全双列杂交设计方法杂交出35份杂交组合。对杂交所得的F1代与亲本自交系进行了调查,将调查数据整理分析,继续进行13个性状的杂种优势分析、一般配合力与特殊配合力的分析。试验结果如下:(1)对参试的60份自交系表型形状的测量,通过计算得出不同自交系之间的遗传距离,根据遗传距离值的大小做聚类分析,在遗传距离0.79时将参试的60份自交系划分为五大类群。第一类共25个自交系,多由外界引入材料或二环系;第二类共14份自交系,多为本地品种;第三类共4份自交系;第四类共8份自交系;第五类共8份自交系。(2)采用18对引物对60份参试自交系进行PCR扩增,在60份爆裂玉米自交系中一共检测出87个变异的等位基因,每个检测位点平均可以检测到变异等位基因变异个数为4.83个。60份爆裂玉米自交系材料的PIC值为0.584,以此做聚类分析,将60份自交系材料划分五大类。第一类共24份自交系,多由外界引入材料或二环系;第二类共19份自交系,多为本地品种;第三类共3份自交系;第四类共8份自交系;第五类共4份自交系。(3)对两种聚类分析结果进行整理,得出两个结果基本一致,存在个别不同个体。从两种聚类分析结果中挑选一致的自交系作为试验的亲本自交系。(4)通过对35组杂交组合各个性状的分析,显示出F1代其杂种优势的普遍存在性,在所研究的性状中,多数性状的超中优势与超亲优势的正值数量大于负值数量,说明此次在试验所采用的12个亲本所选配的35组杂交组合中,存在着优势组合。在包括爆花率与膨胀倍数的品质性状上,Z42×Z55、Z1×Z55、Z29×Z20、Z23×Z35、Z28×Z20、Z39×Z20、Z51×Z35、Z23×Z35具有较强优势。在综合小区产量与爆裂玉米品质上,组合Z42×Z41、Z42×Z35、Z23×Z41、Z51×Z41、Z29×Z41等具有较强的杂种优势。(5)通过对亲本自交系的一般配合力分析与杂交组合的特殊配合力分析可知,若杂交组合的某一性状的特殊配合力为正值,其双亲的一般配合力也均为正值或其中一个亲本的一般配合力为正值。基因的加性效应决定一般配合力,若亲本的某性状的一般配合力高,它所组配的杂种后代的这个性状的表现受影响就大。由以上分析可知,性状表现良好的亲本Z35、Z20、Z42这三个亲本自交系的一般配合力多为正值,因此在选育优良品质爆裂玉米品种组合时,可作为优良亲本使用。

关键词：爆裂玉米表型聚类 SSR聚类杂种优势配合力分析

利用无犯意人实现犯罪目的行为之定性 ——以王某出售他人树木案为例

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

利用无犯意人实现犯罪目的行为之定性 ...

作者：杨翔宇西南政法大学

学位级别：硕士

我国刑法典中虽然没有对正犯与共犯的概念做出规定,但是从学理上看依然存在实行犯与非实行犯的区分。这种区分方式虽然没有延续以德、日为代表的大陆法系区分正犯与共犯的方式,但是从实质上来看二者却有着千丝万缕的联系。从我国刑法分... 详细信息

我国刑法典中虽然没有对正犯与共犯的概念做出规定,但是从学理上看依然存在实行犯与非实行犯的区分。这种区分方式虽然没有延续以德、日为代表的大陆法系区分正犯与共犯的方式,但是从实质上来看二者却有着千丝万缕的联系。从我国刑法分则的具体规定来看,应当说是以单独的直接实行犯为模型而建立的,但是在总则规定中又对非实行犯（如教唆犯）进行了概括性的规定,其实质上与将共同犯罪划分为正犯、共犯并无二致。由此只要谈到共犯理论,我国刑法理论中也避免不了进行正犯与共犯的探讨。在共犯理论中素有依据单一正犯体系之扩张正犯论与依据区分共犯体系之限制正犯论之争。以意、奥为代表的单一正犯体系下,针对共同犯罪并不做正犯与共犯的区分,而以德、日为代表的区分制体系下,对正犯与共犯进行严格区分。我国通说亦主张应当对正犯与共犯进行区分。但在区分正犯与共犯体系下如何理解二者之间的关系,存在着不同观点,具有代表性的当属共犯独立性说与共犯从属性说。在共犯从属性说影响下,间接正犯的概念则被提出。此概念提出之后,在不同理论学说之间引起了不小的争议。扩张正犯理论下并无间接正犯存在的余地,即使在限制正犯论之下也有共犯独立性说对其进行排斥。即便如此,如今间接正犯已在德、日刑法中取得了立法明确规定的地位。在德、日刑法研究的影响下,间接正犯的问题也进入了我国学者以及司法实务的视野。不过,对于间接正犯的地位究竟只是共犯从属性说范畴下之“替补者”或是说其本身当属正犯,以及间接正犯成立之范围无论是在德、日刑法理论中还是在我国刑法理论中,都存在着不同的观点。由于我国共犯理论的影响,学界对于间接正犯的性质、范围、认定等相关问题仍存在一定争议,间接正犯并未在我国刑事立法中取得明确的界定,因而在司法实务中遇到间接正犯类型的案件时存在不同的处理意见,主要是以直接正犯处理、教唆犯处理、间接正犯处理这三种意见。无论以哪种意见处理,都必须论证将行为人的行为解释为符合刑法分则具体罪名犯罪构成要件行为的合法性,那么作为对是否是犯罪行为的一种论证,间接正犯是否具有存在的必要性,以及其存在是否具有不被其他理论包摄的特殊性。鉴于此,本文仍然选择从扩张正犯论与限制正犯论对现实案例的不同影响,探求间接正犯存在的价值。

关键词：正犯与共犯间接正犯教唆犯利用他人犯罪

时变波动Scaled-t分布的期权定价模型、求解及应用

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

时变波动Scaled-t分布的期权定价模型、求解及应用

作者：杨翔宇华中科技大学

学位级别：硕士

波动随时间变化的标的资产上的期权定价是金融研究的前沿问题,也是期权定价的研究面临的挑战。本文研究选择时变波动服从某些分布的资产上的期权定价模型,求解及其应用问题。研究在GARCH模型的基础上考虑有具有Scaled-t分布特征的HN-GA... 详细信息

波动随时间变化的标的资产上的期权定价是金融研究的前沿问题,也是期权定价的研究面临的挑战。本文研究选择时变波动服从某些分布的资产上的期权定价模型,求解及其应用问题。研究在GARCH模型的基础上考虑有具有Scaled-t分布特征的HN-GARCH模型,拟合金融数据的尖峰厚尾性和金融市场上的杠杆效应。首先推导了一般GARCH类模型的风险中性测度变换框架,给出了Scaled-t分布的HN-GARCH模型的风险中性测度变换方法,建立了HN-GARCH模型和HN-GARCH(t)模型的风险中性测度形式。然后采用风险中性测度研究期权的定价结果。最后采用蒙特卡洛数值模拟的方法,对国内权证市场的权证计算并比较了模型定价的有效。研究在给出了上海证券交易所的12个权证的HN-GARCH及HN-GARCH(t)模型的参数估计结果和蒙特卡洛模拟结果后,得到数值计算结果显示在一般情况下HN-GARCH模型的定价效果要比其他模型优秀,而在欧式看涨期权的短期定价上HN-GARCH(t)模型具有较好的定价效果。研究基于模拟计算结果,讨论了现有期权定价方法中的一些问题。

关键词：时变波动期权定价时变波动率 GARCH模型蒙特卡洛模拟风险中性测度变换

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

基于HPS理念的高校物理学科课程思政

物理通报 2022年第5期51卷 71-74页

作者：李政丁益民杨翔宇向倩湖北大学物理与电子科学学院湖北武汉430062

课程思政建设的目的在于实现价值塑造、知识传授和能力培养三者融为一体的课程目标,落实立德树人根本任务.课程思政将成为高等教育的长期性和关键性工作,因此需要探索一种全局式、系统化的思政模式.基于HPS的教育理念,将物理学史、物理... 详细信息

课程思政建设的目的在于实现价值塑造、知识传授和能力培养三者融为一体的课程目标,落实立德树人根本任务.课程思政将成为高等教育的长期性和关键性工作,因此需要探索一种全局式、系统化的思政模式.基于HPS的教育理念,将物理学史、物理哲学、物理社会学融入高校物理课堂,以“明史、慎思、实践”的模式整合物理思政资源并进行思政育人,引导学生掌握马克思主义世界观和方法论,培养高校青年正确的人生观、世界观和价值观.

关键词：课程思政大学物理 HPS 立德树人

硅基铌酸锂铁电单晶异质集成及其薄膜化技术研究

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

硅基铌酸锂铁电单晶异质集成及其薄膜化技术研究

作者：杨翔宇中北大学

学位级别：硕士

空间环境参量原位精准测量需将微机电系统(MEMS)传感器置于待测区域,并与测试对象直接接触输出电学响应信号。传统硅基MEMS传感器需进行抗辐照加固处理,体积质量成本更高,传感测试灵敏度提升受限。相比于传统硅基功能材料,铌酸锂(Li Nb ... 详细信息

空间环境参量原位精准测量需将微机电系统(MEMS)传感器置于待测区域,并与测试对象直接接触输出电学响应信号。传统硅基MEMS传感器需进行抗辐照加固处理,体积质量成本更高,传感测试灵敏度提升受限。相比于传统硅基功能材料,铌酸锂(Li Nb O,LN)铁电单晶凭借其优异的耐腐蚀性、耐低温性和本征抗辐射特性在航空航天领域展现出广阔的应用前景。围绕航天级传感器微型化、集成化、低功耗和高可靠应用需求,完成硅基铌酸锂铁电单晶薄膜异质集成,解决硅基铁电材料兼容制造难题正逐步成为研究热点。论文围绕LN与Si晶圆级键合工艺、晶圆键合机理以及LN单晶薄膜化技术三个方面展开研究:(1)基于旋涂工艺,在LN晶圆和硅基底表面生长获得抗辐照、耐低温和高机械稳定性的聚酰亚胺黏合剂,结合前烘工艺去除聚酰亚胺胶层溶剂,获得具有一定固化程度的聚酰亚胺薄膜,借助O等离子体活化技术,解决前烘后聚酰亚胺胶层预键合强度弱、面积小等问题。预键合样品在大气、常温下保持24h饱和预键合强度后,在低温条件下退火,完成了LN晶圆与Si晶圆的键合;(2)利用XPS、SEM、EDX等表征方法,对键合表、界面理化性质进行全过程分析,探明LN-Si晶圆级键合机理,并构建等离子体活化预键合和聚酰亚胺键合的低温键合模型;(3)通过结合机械研磨和化学机械抛光的薄膜制备技术制备出大面积、高质量硅基铌酸锂单晶薄膜。本文利用聚酰亚胺键合技术成功将4-inch Z切LN单晶晶圆和带Cr/Au底电极4-inch Z切LN单晶晶圆键合至硅基底上,利用SEM确认了紧密且无缺陷的结合界面,通过拉伸仪测试出键合强度为6.582Mpa。论文对经过低温处理的键合样品进行键合强度测试,评估验证键合样品稳定性,经过超低温(-263.15℃)处理24h的样品键合强度为3.339Mpa,满足航空航天应用对键合强度的要求。此外,基于XPS分析得到聚酰亚胺薄膜表面-OH等极性基团的增加导致薄膜表面湿润性增强的结论。基于键合界面分析可得,退火过程中水分子沿界面扩散,在界面处形成了稳定的C-O-C共价键,促进了分子间交联。退火完成后,本文通过结合机械研磨和化学机械抛光的薄膜制备技术制备出了4-inch、高结晶质量的硅基铌酸锂单晶薄膜。

关键词：铌酸锂单晶薄膜聚酰亚胺晶圆级低温键合 O2等离子体活化化学机械抛光