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晶体集成式红外探测器的设计及制备工艺研究

晶体集成式红外探测器的设计及制备工艺研究

作者：杨绪军中北大学

学位级别：硕士

针对红外探测器在军事、医疗卫生、环境监测等领域越来越广泛的应用，本文提出了一种晶体集成式红外探测器的设计和制备工艺。晶体集成式红外探测器是非制冷型探器，具有以下特点：1)可以在室温下工作，而且制造成本低;2)对各个波长的... 详细信息

针对红外探测器在军事、医疗卫生、环境监测等领域越来越广泛的应用，本文提出了一种晶体集成式红外探测器的设计和制备工艺。晶体集成式红外探测器是非制冷型探器，具有以下特点：1)可以在室温下工作，而且制造成本低;2)对各个波长的红外辐射均有响应;3)在交变的红外辐射下就会有响应输出。本文以晶体集成式热释电红探测器为研究对象，从制备工艺上进行了研究，在此基础上，对制备完成的探测器进行了测试。在制备工艺上，对探测器结构分析后，首先设计了制备探测器的工艺流程，然后对制备探测器的键合，研磨抛光和沉积薄膜电极关键工艺进行了详细的研究。针对键合工艺，我们对各种键合工艺适应的环境和优劣性进行了比较，并选择了中间层键合工艺，最后经过实验选择了RZJ-304胶作为中间层。针对研磨抛光工艺，我们选择了现在国内普遍应用的机械研磨工艺，在研磨设备，研磨盘，抛光垫，研磨液和抛光液等方面进行了理论和实验研究。针对沉积薄膜电极工艺，我们在分析了各种方法，结合实验验证后选择了磁控溅射的工艺。在制备探测器的整个过程中，我们做了一系列保证性测试：利用测厚仪和原子力显微镜测试了磨减薄后晶片的厚度，表面粗糙度和研磨均匀性;利用扫描电镜测试了溅射薄膜电极的厚度，形貌和致密性;利用自己搭建的系统测试了探测器敏感单元介电常数和介电损耗;利用自己搭建的系统、前置放大电路和信号调理电路测试了探测器频率响应特性、不同敏感元厚度输出响应和不同敏感元面积输出响应。在此基础上，完成了整个工艺流片过程，成功的制备了晶体集成式红外探测器。综上所述，本论文设计了新的加工工艺流程以及新的中间层键合工艺和研磨抛光工艺，完成了晶体集成式红外探测器的制备，并且搭建了探测器响应测试系统，测试结果显示所研制探测器输出信号响应明显，验证了整个器件设计的合理性。这些研究为今后红外探测器的加工工艺优化、应用、测试等提供了参考。

关键词：晶片热释电探测器敏感单元

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大力发展矿区循环经济促进矿井可持续发展

企业管理 2012年第S1期 295-299页

作者：杨绪军刘君山东能源新矿集团协庄煤矿

近年来,该矿以科学发展观为指导,致力于企业经济增长方式的转变和生态化转向,按照"资源循环式利用、企业循环式发展、产业循环式组合"的思路,大力发展以煤炭产业为基础的矿区产业模式,大力发展循环经济,最大限度的提高资源的回收率和利... 详细信息

近年来,该矿以科学发展观为指导,致力于企业经济增长方式的转变和生态化转向,按照"资源循环式利用、企业循环式发展、产业循环式组合"的思路,大力发展以煤炭产业为基础的矿区产业模式,大力发展循环经济,最大限度的提高资源的回收率和利用率,减少企业土地、能源、水和各种材料的投入,实现了煤炭资源的循环高效利用,打造了""煤-电-纸-包材"、"煤-电-建"、"煤-电-机"三条循环产业链,并形成了"光明、百川、天元"三足鼎立,"热电、造纸、机械"三业并举的发展格局,实现了企业与员工、企业与环境、企业与社会的和谐发展,彻底改变了传统的煤炭企业形象,实现了企业的可持续发展。

关键词：矿井水粉煤灰余热利用节能改造井下水粉尘废热利用矿山废物煤矸石矸石山煤炭工业煤矿工业矿业物质闭环流动型经济循环经济可持续性发展

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高真空击密在粉砂吹填土浅地基处理中的应用

工程勘察 2008年第S1期36卷 1-8页

作者：高学峰杨绪军江苏大唐国际吕四港发电有限责任公司南通226246 华东电力设计院上海200331

江苏沿海某电厂对场地饱和粉砂吹填土进行了多种浅地基处理试验,本文选择了其中的高真空击密法浅地基处理试验方法,通过对试验过程中场地的沉降和超孔隙水压力的监测成果,以及试验结束后吹填土复合地基的标准贯入试验、静力触探试验和... 详细信息

江苏沿海某电厂对场地饱和粉砂吹填土进行了多种浅地基处理试验,本文选择了其中的高真空击密法浅地基处理试验方法,通过对试验过程中场地的沉降和超孔隙水压力的监测成果,以及试验结束后吹填土复合地基的标准贯入试验、静力触探试验和静载荷试验检测成果的分析,研究了高真空击密应用于饱和粉砂吹填土地基处理时的加固机理,得出了一些有益的结论,为在类似场地中的应用提供了依据。

关键词：高真空击密加固机理检测与监测

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高真空击密在粉砂吹填土浅地基处理中的应用

武汉大学学报（工学版） 2009年第S1期42卷 303-306页

作者：杨绪军高学峰华东电力设计院上海200331 江苏大唐国际吕四港发电有限责任公司江苏南通226246

江苏沿海某电厂对场地饱和粉砂吹填土进行了多种浅地基处理试验,文章选择了其中的高真空击密法浅地基处理试验方法,通过对试验过程中场地的沉降和超孔隙水压力的监测成果,以及试验结束后吹填土复合地基的标准贯入试验、静力触探试验和... 详细信息

江苏沿海某电厂对场地饱和粉砂吹填土进行了多种浅地基处理试验,文章选择了其中的高真空击密法浅地基处理试验方法,通过对试验过程中场地的沉降和超孔隙水压力的监测成果,以及试验结束后吹填土复合地基的标准贯入试验、静力触探试验和静载荷试验处理效果检测成果的分析,研究了高真空击密应用于饱和粉砂吹填土地基处理时的加固机理,对高真空击密加固饱和粉砂吹填土地基的研究得出了一些有益的结论,为在类似场地中的应用提供了依据.

关键词：高真空击密加固机理检测与监测

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鸡鸣山:一峰飞来高插云 004

鸡鸣山:一峰飞来高插云

张家口日报

作者：吕慧管建霖李如意杨绪军

在下花园洋河北岸，一座孤峰傲然耸立，它就是有着“飞来峰”美称的鸡鸣山。元朝诗人郝经用“一峰奇秀高插云”来形容它的独立与高峻。来往张家口和北京之间，鸡鸣山是必经之地。这座一年四季独秀于群山之外的京西孤峰，总是让人心驰神...

在下花园洋河北岸，一座孤峰傲然耸立，它就是有着“飞来峰”美称的鸡鸣山。元朝诗人郝经用“一峰奇秀高插云”来形容它的独立与高峻。来往张家口和北京之间，鸡鸣山是必经之地。这座一年四季独秀于群山之外的京西孤峰，总是让人心驰神往。名山古刹汉光武帝亲笔御题秋高气

关键词：

来源： cnki报纸评论

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红外甲烷传感器光学气室设计

工矿自动化 2013年第5期39卷 24-26页

作者：杨康杨绪军刘健康薛明天地(常州)自动化股份有限公司江苏常州213015 陕西陕煤韩城矿业有限公司下峪口煤矿陕西韩城715405

介绍了红外甲烷传感器光学气室结构设计原则,推导出该光学气室的最优光程长度为60mm,通过测试得到该光学气室直径为10～30mm时红外甲烷传感器的响应速度较快,从而确定该气室直径为20mm;采用RCS2000(A)自动配气系统对基于该光学气室的红... 详细信息

介绍了红外甲烷传感器光学气室结构设计原则,推导出该光学气室的最优光程长度为60mm,通过测试得到该光学气室直径为10～30mm时红外甲烷传感器的响应速度较快,从而确定该气室直径为20mm;采用RCS2000(A)自动配气系统对基于该光学气室的红外甲烷传感器进行了实验测试,结果表明,该光学气室具有一定的可行性和较高的灵敏度。

关键词：红外气体传感器红外甲烷传感器光学气室结构设计