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湿法化学刻蚀技术
湿法化学刻蚀技术
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作者: 周礼书 杨李茗 杨春林
针对掩模光刻和氢氟酸HF湿法刻蚀制作色散光栅CSG过程中如何有效抑制侧面钻蚀和控制刻蚀深度的问题展开了研究。通过实验了熔石英基片预处理、光刻胶处理、熔石英刻蚀工艺。通过工艺优化制作出口径为(?)100mm,面形较为理想的CSG。在刻...
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用于ICF的光栅特性
用于ICF的光栅特性
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作者: 杨春林 周礼书 许乔 杨李茗
针对透射光栅的减反射技术、ICF系统使用的多用途光栅的性质以及部分相干光在光栅中传输的特性等方面进行了详细的分析和模拟计算,较为系统的研究了用于ICF的光栅特性。针对透射光栅的表面反射不利因素,将光栅的工作角度设置到布儒斯特...
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大口径衍射光学元件技术
大口径衍射光学元件技术
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作者: 杨春林 柴立群 杨李茗 许乔
为保证ICF驱动系统的正常、安全运行,驱动器中的每一路激光,需要对其三倍频光进行分光、检查抽样和整形。这些功能是利用衍射光学原理所制备的元件来实现的。在NIF 系统中,由分光光栅(CSG)、取样光栅(BSG)和整形器件(KPP)三块光栅完成...
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激光等离子体效应对硅表面损伤特征的影响
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光谱学与光谱分析 2011年 第12期31卷 3185-3189页
作者: 范卫星 韩敬华 李海波 杨李茗 冯国英 高翔 刘岩岩 包凌东 黄永忠 四川大学电子信息学院 四川成都610064 奥普镀膜技术(广州)有限公司 广东广州510730 成都精密光学工程研究中心 四川成都610041
硅材料作为光电探测器的基础材料,研究其在强激光辐照下的损伤问题在激光探测、国防领域很有意义。对高强度纳秒激光作用下硅表面的损伤形貌特征进行了研究,结果表明:激光等离子体的热效应及冲击波效应,使激光作用区域内的物质迅速向外... 详细信息
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一种新颖的点衍射干涉轻敲模式原子力显微镜
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光学仪器 2005年 第3期27卷 65-69页
作者: 冷炜 杨甬英 杨李茗 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027 成都精密光学工程研究中心 四川成都610041
论述了一种新颖的原子力显微镜,它利用硅微探针的特殊结构和相关光学系统所引起的点衍射干涉现象[1]来扫描成像,因为硅微探针被用作反射型点衍射板,故光路完全共路,再结合锁相检测技术,使得该仪器抗干扰力极强且结构精巧紧凑,可适用于... 详细信息
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三阶非线性效应对三次谐波振荡转换的影响
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光学学报 2005年 第3期25卷 387-391页
作者: 赵华君 杨李茗 冯国英 张清泉 朱启华 陈建国 四川大学电子信息学院 成都610064 成都精密光学工程研究中心 成都610041 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 绵阳621900
使用快速傅里叶变换和四阶龙格库塔法,对KDP晶体内以Ⅰ/Ⅱ类角度失谐设置方式的高强度激光三次谐波振荡转换进行了研究,考虑了谐波转换过程中的三阶非线性χ(3)、衍射、离散等效应,并着重研究了KDP晶体的三阶非线性效应对高强度激光三... 详细信息
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HF酸刻蚀过程中熔石英亚表面划痕形貌的原子力显微原位跟踪检测
HF酸刻蚀过程中熔石英亚表面划痕形貌的原子力显微原位跟踪检测
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第十五届全国光学测试学术交流会
作者: 李源 杨李茗 李莉 李晓蕾 巨新 马颖鏊 北京科技大学 中物院激光聚变研究中心 四川省成都市高新区科园一路3号成都精密光学工程研究中心
熔石英元件广泛应用于各类激光装置,其紫外波段抗激光损伤的能力是提高大型激光器输出功率的关键因素。本征损伤和缺陷损伤致使熔石英元件抗激光损伤能力降低。缺陷损伤主要由表面加工产生的破碎性缺陷和污染性缺陷引起的光子吸收所导...
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空间频谱分析法研究非线性介质中的成丝现象
空间频谱分析法研究非线性介质中的成丝现象
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中国光学学会2004年学术大会
作者: 冯国英 杨李茗 陈建国 张小民 四川大学电子信息学院 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川大学电子信息学院 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
采用空间频谱分析法探讨了在非线性介质中传输的受调制的高功率激光束形成高亮度细丝的可能性。研究表明,在传输过程中伴随着输入场中调制场的高次谐波项的产生和发展,逐渐形成了具有细丝结构的高亮度光场横向分布,细丝的高亮度区可以... 详细信息
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高重复频率激光脉冲光束大小对吸收玻璃损伤特征的影响
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物理学报 2011年 第2期60卷 736-742页
作者: 韩敬华 冯国英 杨李茗 张秋慧 傅玉青 牛瑞华 朱启华 谢旭东 周寿桓 四川大学电子信息学院 成都610064 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 绵阳621900
针对高重复频率对吸收性滤光片损伤问题,研究了高重复频率(kHz量级)激光脉冲的光束半径大小对吸收玻璃的形貌特征和损伤机理.研究发现在总的激光作用个数、单脉冲能量和脉冲作用频率固定时,吸收玻璃的损伤特性发生很大变化:在光束半径... 详细信息
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一种实时压电扫描器非线性软件校正的方法
一种实时压电扫描器非线性软件校正的方法
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第十届全国光学测试学术讨论会
作者: 杨甬英 吴璀罡 陆元彪 陈阳杰 杨李茗 浙江大学信息学院光电工程系 四川成都精密光学工程研究中心
压电式扫描器已经被普遍地应用于光学测试的各个领域。而在精密检测中,特别是条纹移相式系统中,压电式扫描器的非线性对测量结果的正确性带来了很大的影响。为此有各种压电式扫描器非线性软硬件校正的方法。本文提出了一种实时压电晶体...
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