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多层堆叠中晶圆级金金键合的可靠性提升

电子工艺技术 2024年第2期45卷 19-21,28页

作者：商庆杰张丹青宋洁晶杨志中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051

基于电学互联的贯穿硅通孔技术和高精度金金圆片键合技术,开发了一套可应用于制备三维集成射频(RF)收发系统的工艺,并利用反应离子刻蚀机(RIE)中氧气加六氟化硫的键合前处理技术解决了多层堆叠中键合强度较弱的问题。经过扫描电镜(SEM)... 详细信息

基于电学互联的贯穿硅通孔技术和高精度金金圆片键合技术,开发了一套可应用于制备三维集成射频(RF)收发系统的工艺,并利用反应离子刻蚀机(RIE)中氧气加六氟化硫的键合前处理技术解决了多层堆叠中键合强度较弱的问题。经过扫描电镜(SEM)观察和分析,键合强度弱确认为芯片贴装过程中晶圆表面沾污所致。传统的湿法前处理有一定的局限性,氧气等离子体方法去污能力较弱,均无法用于去除遗留的沾污。利用反应离子刻蚀机氧气加六氟化硫的前处理方式进行键合前处理,不仅增强了去污能力,而且将旧金表面低活性的金层去除,露出干净、活性高的新金表面,有效提升了金金键合的强度,为多层金金键合提供了一种有效的键合前处理方法。

关键词：金金键合多层堆叠反应离子刻蚀机 MEMS

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有限元仿真优化布局解决金金键合局域化问题

电子与封装 2024年第4期24卷 8-13页

作者：张丹青韩易商庆杰宋洁晶杨志中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051

晶圆金金键合技术在集成电路封装、微机电系统(MEMS)器件制造、CMOS图像传感器制作及LED制造等行业中被广泛应用。在MEMS环形器的制造过程中,由于金金键合的压力分布不均匀,导致其键合有效区域仅限于键合区域的边缘位置,即存在键合局域... 详细信息

晶圆金金键合技术在集成电路封装、微机电系统(MEMS)器件制造、CMOS图像传感器制作及LED制造等行业中被广泛应用。在MEMS环形器的制造过程中,由于金金键合的压力分布不均匀,导致其键合有效区域仅限于键合区域的边缘位置,即存在键合局域化问题,因此器件的整体可靠性较差。结合有限元力学仿真和金金键合实验,优化了键合点的分布,确保键合压力分布更加均匀。将有效键合面积从20%提升到77%,单颗芯片的平均剪切力从41.5 N增大到80.3 N,有效提升了MEMS环形器的可靠性。

关键词：封装技术金金键合 MEMS环形器有限元仿真

基于压滤效应影响的废弃石粉-黏土浆液性能研究

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材料导报 2024年

作者：陈新明陈姣姣刘晓辉焦华喆杨志杨柳华河南理工大学土木工程学院河南理工大学河南省矿产资源绿色高效开采与综合利用重点实验室煤炭安全生产与清洁高效利用省部共建协同创新中心华北科技学院安全工程学院北京科技大学土木与资源工程学院

利用一种灌浆材料压滤效应模拟装置（FSD），开展对考虑灌浆压力、浆体流变、黏土灰分、浆液浓度和废弃石粉粒度组成（FSD影响因素）的浆液性能研究。进而结合FTIR、TG-DTG、SEM、EDS、AFM、ICP-AES和IC微观表征手段，解释性能发展机理... 详细信息

利用一种灌浆材料压滤效应模拟装置（FSD），开展对考虑灌浆压力、浆体流变、黏土灰分、浆液浓度和废弃石粉粒度组成（FSD影响因素）的浆液性能研究。进而结合FTIR、TG-DTG、SEM、EDS、AFM、ICP-AES和IC微观表征手段，解释性能发展机理。压滤效应影响后，浆液碱性环境变强，活性颗粒数量增多，CaCO3与黏粒晶体之间充分团聚，结晶程度增加。阳离子交换容量升高，钙硅铝基相和硅铝酸盐集合体生成量增加。基体颗粒间表面水撑开晶层，塑性粘度和屈服应力被降低。游离氧化钙减少，浆液硬化后固结收缩率均小于1%。水灰比减少，浆液灌入裂隙固结成模和间歇总时间缩短。单位体积内，团簇状聚合体结构物分散空间被压缩，Al3+和Ca2+的溶出率降低。在煤矿灌浆行业中使用废弃石粉和黏土，不仅可以降低项目成本，还可以减少水土流失和土污染。由于研究出了最佳的浆液配比和灌浆压力，试验结果表明，浆液灌浆性能良好，可被考虑用于矿区岩溶裂隙带形式的充填。

关键词：废弃石粉黏土浆液压滤效应灌浆性能发展机理

大型仪器设备在本科实验教学中的应用研究与实践

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中国现代教育装备 2024年第7期 50-53页

作者：康露杨志王其军吕栋梁陈薇羽西南石油大学石油与天然气工程学院四川成都610500

大型仪器设备是激发学生学习兴趣、拓宽专业视野、培养创新思维的重要工具。分析了西南石油大学大型仪器设备的应用现状,以海洋油气工程专业为例,针对大型仪器设备在本科实验教学中的应用进行了研究与实践。将大型仪器设备分为精密设备... 详细信息

大型仪器设备是激发学生学习兴趣、拓宽专业视野、培养创新思维的重要工具。分析了西南石油大学大型仪器设备的应用现状,以海洋油气工程专业为例,针对大型仪器设备在本科实验教学中的应用进行了研究与实践。将大型仪器设备分为精密设备、大型模型设备和大型操作设备,并介绍了各自的使用特点。为了充分发挥大型仪器设备的作用,利用信息技术,建设了线上学习资源,改革了教学模式,制订了实验项目教学方案。应用实践表明,教学改革实施后取得了良好的教学效果,大型仪器设备的使用率明显提高,学生主动思考和学习的自主性得到明显提升。

关键词：大型仪器设备本科实验教学教学模式改革线上学习

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杨志敏从枢机不利辨治偏沮验案

中国民间疗法 2024年第6期32卷 92-95页

作者：黄诗雅杨志敏张晓轩广州中医药大学广东广州510105 广东省中医院广东广州510120

偏沮是身体一侧汗出、另一侧无汗的一种病证。杨志敏教授提出,偏沮与汗孔开阖失常、枢机运转不利、阳气气化失司相关,辨治宜枢转气机、通达阳气,通过中药内服、中药外洗、针刺、艾灸等多种治疗手段,恢复气机升降枢转、阳气气化功能,使... 详细信息

偏沮是身体一侧汗出、另一侧无汗的一种病证。杨志敏教授提出,偏沮与汗孔开阖失常、枢机运转不利、阳气气化失司相关,辨治宜枢转气机、通达阳气,通过中药内服、中药外洗、针刺、艾灸等多种治疗手段,恢复气机升降枢转、阳气气化功能,使汗孔开阖有度。该文介绍杨志敏教授从枢机不利辨治偏沮验案1则。

关键词：偏沮枢机不利阳气气化失司汗孔开阖杨志敏

携手引领VLCC发展新方向——访大连船舶重工集团有限公司党委书记、董事长杨志忠

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中国船检 2024年第6期 48-52页

作者：薛龙玉杨志忠不详大连船舶重工集团有限公司党委

今年以来,超大型原油船(VLCC)市场迎来订单潮,多家大船东纷纷前来中国船厂下单。大连船舶重工集团有限公司(简称“大连造船”)凭借在油船领域的强大优势,接单表现尤为突出,市场份额超过50%。大连造船已累计向国内外船东交付100多艘VLCC... 详细信息

今年以来,超大型原油船(VLCC)市场迎来订单潮,多家大船东纷纷前来中国船厂下单。大连船舶重工集团有限公司(简称“大连造船”)凭借在油船领域的强大优势,接单表现尤为突出,市场份额超过50%。大连造船已累计向国内外船东交付100多艘VLCC,稳居国内船厂交付数量之首。随着航运业掀起转型浪潮,大连造船也在持续推动主流产品转型升级,积极为行业提供绿色、安全、智能的船型方案,助推中国船舶工业创新和竞争力不断迈上新台阶。

关键词：中国船舶工业转型升级航运业原油船 VLCC 发展新方向杨志忠主流产品

方寸之内见乾坤,烟壶之外显功底——专访北京市“非遗”北京内画鼻烟壶传承人杨志刚

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环球财经 2024年第5期 116-120页

作者：王珠珊杨志刚不详

内画鼻烟壶堪称“微型”小众艺术,在鼻烟壶内方寸之中,艺术家们可发挥的空间极为有限,但他们创作出来的作品却散发着别样的魅力。已故国家级“非遗”北京内画鼻烟壶传承人刘守本1先生就是其中的俊夜者,他的作品为这门小众的艺术保留了... 详细信息

内画鼻烟壶堪称“微型”小众艺术,在鼻烟壶内方寸之中,艺术家们可发挥的空间极为有限,但他们创作出来的作品却散发着别样的魅力。已故国家级“非遗”北京内画鼻烟壶传承人刘守本1先生就是其中的俊夜者,他的作品为这门小众的艺术保留了珍贵的样本,其中的很多精品远销海外。

关键词：内画鼻烟壶杨志刚远销海外非遗传承

微细胸腔引流管在胸腔镜肺楔形切除术中的应用

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中国医刊 2024年第2期59卷 169-171页

作者：王春茂王隽韩鸣杨志王子彤段勇首都医科大学附属北京胸科医院/北京市结核病胸部肿瘤研究所胸外一科北京101149

目的探讨微细胸腔引流管在胸腔镜肺楔形切除术中的临床应用效果。方法纳入2020年12月至2021年12月在首都医科大学附属北京胸科医院行胸腔镜肺楔形切除手术的100例患者作为研究对象,在组间基线特征可比的原则上,采用随机数字表法分为观... 详细信息

目的探讨微细胸腔引流管在胸腔镜肺楔形切除术中的临床应用效果。方法纳入2020年12月至2021年12月在首都医科大学附属北京胸科医院行胸腔镜肺楔形切除手术的100例患者作为研究对象,在组间基线特征可比的原则上,采用随机数字表法分为观察组和对照组,每组50例。观察组术后留置1根8Fr胸腔引流管,对照组术后留置1根26Fr胸腔引流管。比较两组患者的围手术期情况(术中出血量、术后引流量、术后带管时间和术后住院时间)、术后肺扩张度、术后疼痛及并发症发生情况。结果两组术中出血量、术后引流量、术后带管时间、术后住院时间及术后肺扩张度比较差异无统计学意义(P>0.05)。术后第1天和第2天观察组患者的疼痛程度均明显低于对照组,差异有统计学意义(P0.05)。结论胸腔镜肺楔形切除术后留置微细胸腔引流管能有效减轻术后疼痛,加速术后康复,值得临床应用。

关键词：胸腔镜楔形切除术胸腔引流加速康复外科术后疼痛

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杨志花开耀州系列作品欣赏

陶瓷科学与艺术 2022年第6期56卷 2-2,1页

作者：杨志西安美术学院中国“新陶网”