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极大规模集成电路层间介质化学机械抛光机理的研究

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极大规模集成电路层间介质化学机械抛光机理的研究

作者：赵群河北工业大学

学位级别：硕士

随着世界工业技术的不断进步和发展,以集成电路制造为基础的传统半导体产业成为推动其发展不可或缺的重要基石。其中,二氧化硅(SiO)常作为栅极氧化层、牺牲层、绝缘层和层间介质材料被广泛用于集成电路(IC)芯片的制造过程之中。化学机... 详细信息

随着世界工业技术的不断进步和发展,以集成电路制造为基础的传统半导体产业成为推动其发展不可或缺的重要基石。其中,二氧化硅(SiO)常作为栅极氧化层、牺牲层、绝缘层和层间介质材料被广泛用于集成电路(IC)芯片的制造过程之中。化学机械抛光(CMP)通过统合机械磨削和化学作用,成为工业生产中可兼顾晶圆全局和局部平坦化的唯一技术。目前,随着器件尺寸逐渐接近原子和分子尺度,在保证表面形貌质量的前提下,实现层间介质SiO高去除速率成为业内亟待解决的关键问题。除此之外,晶圆的片内非均一性(WIWNU)及抛光组分的稳定性同样是评估SiO抛光液性能的关键指标。本文聚焦于上述技术与科学问题,探究了抛光液不同组分对材料去除速率和表面粗糙度的影响,在此基础上,揭示了各组分的作用机理,对二氧化硅抛光液的组分优化及国产化替代的探索具有理论指导与实际应用意义。本文首先聚焦于SiO抛光材料去除速率较低的问题,通过引入不同类型离子盐,以有机碱作为p H调节剂,研究了不同离子盐对层间介质SiO去除速率的影响规律。研究发现:随着离子盐浓度的提高,抛光材料去除速率均呈现上升趋势。其中,KCO对SiO去除速率提高效果最明显;NaCO也可以很大程度提高材料去除速率,但极易破坏抛光液的稳定性;(NH)CO对材料去除速率的提升作用最小,同时随着其浓度提高至较高含量,抛光液仍可以保持较好的稳定性。此外,本文通过X射线光电子能谱(XPS)测试,分析了不同离子盐对SiO表面水化反应的影响,以此为基础,提出了离子盐在SiO抛光过程中的物理化学作用机理。进一步,优化KCO作为抛光液的组分配比,研究发现抛光后表面粗糙度受KCO浓度的影响较大,整体呈现上升趋势。基于以上研究,当KCO浓度为0.12 M时,SiO材料去除速率达到最大值198nm/min,表面粗糙度达到0.449 nm,同时制备获得的抛光液具有较高稳定性。此外,研究发现一种新型硅烷偶联剂可以有效平衡高去除速率和低表面粗糙度之间的矛盾。通过傅里叶红外光谱(FTIR)和XPS测试,揭示了氨基硅烷在抛光过程中的吸附机理。进一步与粒径分析和Zeta电位测试结果结合,提出了APTES与KCO的协同作用机理。结果表明,当APTES浓度为60 ppm,KCO浓度为0.12 M时,SiO材料去除速率达到最大值248 nm/min,表面粗糙度降低至0.374 nm,有效改善了高离子浓度条件下晶圆表面的形貌质量。此研究成果对层间介质SiO CMP抛光液未来的发展具有一定的参考价值。

关键词： SiO2镀膜片化学机械平坦化材料去除速率表面粗糙度抛光机理

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2型糖尿病血管并发症危险因素控制研究进展

中国慢性病预防与控制 2022年第4期30卷 302-306页

作者：赵群王文绢中国疾病预防控制中心慢性非传染性疾病预防控制中心北京100050

糖尿病已成为当今全球重大公共卫生问题,其中2型糖尿病(type 2 diabetes mellitus,T2DM)约占全部糖尿病的90%[1]。T2DM的危害在于其并发症危及患者的健康和生命,其中心脑血管疾病(cardiovascular disease,CVD)、糖尿病肾病、糖尿病眼病... 详细信息

糖尿病已成为当今全球重大公共卫生问题,其中2型糖尿病(type 2 diabetes mellitus,T2DM)约占全部糖尿病的90%[1]。T2DM的危害在于其并发症危及患者的健康和生命,其中心脑血管疾病(cardiovascular disease,CVD)、糖尿病肾病、糖尿病眼病等血管并发症是患者致死、致残的主要原因[2]。T2DM患者血管并发症的发生和发展与发病年龄、病程及疾病史等不可干预因素和高血糖、高血压、脂质代谢异常及肥胖等可干预因素相关[3-4]。对可干预因素进行规范管理是预防、延缓血管并发症的关键。本文对国内外T2DM血管并发症多种危险因素控制研究进展进行综述,旨在为T2DM血管并发症预防与控制提供科学依据。

关键词：糖尿病 2型血管并发症危险因素控制综合干预

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微塑料对土壤中养分和镉淋失的影响

微塑料对土壤中养分和镉淋失的影响

作者：赵群芳青岛科技大学

学位级别：硕士

微塑料(microplastic,MPs)通过各种途径进入土壤,对土壤环境造成威胁。重金属是常见的土壤污染物,给土壤环境造成负面影响的同时也会威胁人类健康。现如今极端天气越来越频繁,强暴雨和酸雨不仅影响土壤养分的淋失,也影响污染物的迁移,... 详细信息

微塑料(microplastic,MPs)通过各种途径进入土壤,对土壤环境造成威胁。重金属是常见的土壤污染物,给土壤环境造成负面影响的同时也会威胁人类健康。现如今极端天气越来越频繁,强暴雨和酸雨不仅影响土壤养分的淋失,也影响污染物的迁移,从而直接和间接影响土壤生态系统。但是,微塑料在不同降雨强度下如何影响土壤养分和重金属的淋失尚有待研究。基于此,本研究选用难降解的聚苯乙烯(polystyrene,PS)和可降解的聚乳酸(polylactic acid,PLA)两种MPs,模拟不同降雨强度和酸雨强度,通过土壤淋滤试验研究微塑料对土壤中养分和镉(Cd)淋失的影响。通过土柱淋滤试验比较研究了在不同降雨强度(大雨、暴雨、大暴雨)时不同含量(0、0.2%和2%,w/w)的PS和PLA微塑料对土壤中养分和Cd淋失的影响。在总体上降雨强度增加会促进土壤中养分和Cd的淋失。大暴雨量时PLA增加无机磷和总Cd淋失,暴雨量时高浓度MPs增加土壤硝态氮和总氮含量。降雨量改变土壤pH,高浓度MPs增加土壤有机质含量,而降雨强度对阳离子交换量(CEC)影响不大。降雨强度改变了Cd在土壤的形态,MPs减少了Cd的可交换态,但0.2%PLA显著增加Cd的淋失。总之,传统难降解MPs和可降解MPs都会对土壤中养分和Cd产生影响。通过土柱淋滤试验比较研究了在不同酸雨强度(酸雨pH=3.5、4.5和5.6)时不同含量(0、0.2%和2%,w/w)的PS和PLA微塑料对土壤中养分和Cd淋失的影响。总体上随着酸雨pH升高,土壤养分淋失呈现降低趋势,土壤CEC总体上随酸雨pH升高而增加,土壤中残渣态Cd也是呈类似趋势。低浓度MPs会增加总Cd的淋失,酸雨pH增加使土壤可交换态Cd含量降低,MPs对Cd在土壤中的固定起促进作用。高浓度PLA对土壤的影响较大,这可能与酸雨加速PLA在土壤中降解有关。综上所述,降雨时微塑料增加部分土壤养分和Cd的淋失,改变养分和Cd在土壤中的含量,这跟MPs种类和浓度有关。可降解微塑料对土壤的负面影响比不可降解微塑料大。本研究可以为认识MPs在土壤环境和地下水环境风险提供一定的参考。

关键词：模拟降雨微塑料镉污染淋滤液土壤性质

循证政策中的科学证据特征分析——以新冠疫情防控政策为例

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情报理论与实践 2023年第7期46卷 98-106,124页

作者：任超杨孟辉赵群中国人民大学信息资源管理学院北京100872 数据工程与知识工程教育部重点实验室北京100872

[目的/意义]新冠疫情期间,大量科学论文为循证政策的制定提供了科学证据,对这些循证政策数据和科学证据数据进行计量和统计分析能够刻画出循证政策中科学证据的特征规律。[方法/过程]将研究对象扩展为新冠疫情相关的循证政策及其科学证... 详细信息

[目的/意义]新冠疫情期间,大量科学论文为循证政策的制定提供了科学证据,对这些循证政策数据和科学证据数据进行计量和统计分析能够刻画出循证政策中科学证据的特征规律。[方法/过程]将研究对象扩展为新冠疫情相关的循证政策及其科学证据数据,探究247580条循证政策数据及380926条科学证据数据的分布及特征规律。[结果/结论]研究发现新冠疫情期间的循证政策大量引用了疫情暴发之前发表的科学论文;随着时间的变化,被循证政策引用的科学论文越来越多,但这些论文的平均被引次数越来越小;同时循证政策中的科学论文的合作程度随时间增长而逐年递增;政策的关键词与论文的关键词整体结构和变化趋势比较相似,同时两者也存在细微的差异,论文的关键词分布更加分散、粒度更细,政策关键词粒度较粗。

关键词：循证政策科学证据计量分析新冠疫情防控政策

跳“农门”的大学生与城镇化(下)--2021-2035年我国高等教育对城镇化直接影响系数变化预测

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江苏高教 2022年第1期 34-41页

作者：赵群王婧妍冒荣南京信息工程大学环境与健康研究院南京210044 南京信息工程大学管理工程学院南京210044 南京大学教育研究院南京210093

研究者在上一篇文章中计算了近30年来高等教育对城镇化的直接影响系数,在此基础上文章根据最新公布的第七次全国人口普查有关数据,对其中有关结果作了必要修改,并进一步构建了基于农村人口转移率的高等教育对城镇化影响系数的预测模型,... 详细信息

研究者在上一篇文章中计算了近30年来高等教育对城镇化的直接影响系数,在此基础上文章根据最新公布的第七次全国人口普查有关数据,对其中有关结果作了必要修改,并进一步构建了基于农村人口转移率的高等教育对城镇化影响系数的预测模型,解析了今后决定高等教育对城镇化影响系数值的相关变量;同时,通过现有数据,估算了今后农村人口转移率的变化率、人口自然增长率和普通高校招收本专科生增长率;而后预测了2021-2035年的城镇化率、普通高校本专科入学率和高等教育对城镇化的直接影响系数。结果表明,在每年5.75‰的人口自然增长率、0.068个百分点递增的农村人口社会转移率和3%的普通高校本专科招生数增长率下,中国城镇化率2025年时即超过70%,2035年时将超过80%;普通高校本专科入学率2030年时即达到80%;2021-2035年间高等教育对城镇化的直接影响系数则保持在18%~20%。

关键词：高等教育城镇化预测农村人口

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媒体背景董秘有助于减少财务重述吗?

外国经济与管理 2023年第7期45卷 106-122页

作者：赵群陈宁方军雄浙江财经大学会计学院浙江杭州310018 复旦大学管理学院上海200433

董事会秘书(下文简称为董秘)作为连接上市公司与外部利益相关者的沟通桥梁,信息披露和投资者关系管理是董秘重要的职能,根据高阶理论,董秘职责的履行会受到其背景特征的影响。鉴于财务重述作为公司修正前期财务报告的过程,具有严重的负... 详细信息

董事会秘书(下文简称为董秘)作为连接上市公司与外部利益相关者的沟通桥梁,信息披露和投资者关系管理是董秘重要的职能,根据高阶理论,董秘职责的履行会受到其背景特征的影响。鉴于财务重述作为公司修正前期财务报告的过程,具有严重的负面经济后果,本文考察了拥有媒体从业背景的董秘是否可以减少企业的财务重述行为。研究发现,当公司的董秘拥有媒体从业背景时,公司的财务重述行为显著更少。在一系列稳健检验和考虑内生性的影响之后,上述发现仍然成立。进一步研究发现,媒体背景董秘增加新闻媒体对公司的报道及提高管理层自愿性信息披露准确性是两个可能的影响渠道。最后,资本市场利益相关者对此做出了积极的反应,具体地,媒体背景的董秘其所属公司的估值更高,股权和债权融资成本更低。研究表明,媒体行业所特有的职业特点会促使媒体人在担任公司董秘时依然遵从独立公正的操守,在信息披露中发挥重要作用。

关键词：财务重述董秘职业背景媒体背景

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高等教育的帕累托优化与区域均衡发展

江苏高教 2022年第9期 10-16,40页

作者：王婧妍赵群冒荣南京信息工程大学管理工程学院南京210044 南京信息工程大学环境与健康研究院南京210044 南京大学教育研究院南京210093

文章参照基尼系数方法,提出了基于人口数的高校分布均等度和大学文化程度人口分布均等度的概念,并据第七次全国人口普查有关数据进行了有关计算。结果表明,经过高等教育大众化的进程,全国普通高校和大学文化程度人口基于人口数的省际分... 详细信息

文章参照基尼系数方法,提出了基于人口数的高校分布均等度和大学文化程度人口分布均等度的概念,并据第七次全国人口普查有关数据进行了有关计算。结果表明,经过高等教育大众化的进程,全国普通高校和大学文化程度人口基于人口数的省际分布均等度都有所提高。突出问题在于优质高等教育资源配置的区域差异巨大与省域内基于人口数的市际高校分布均等度和大学文化程度人口分布均等度偏低,后者也反映了高等教育发展过于集中在大城市而忽略了中小城市。导致这些问题的原因之一在于高等教育资源配置上所强调的竞争型途径和集聚性效应。要促进高等教育的区域均衡发展,应重视补偿型途径和辐射性效应。

关键词：高等教育区域均衡发展帕累托优化

中国海相页岩气主要特征及勘探开发主体理论与技术

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天然气工业 2022年第8期42卷 1-13页

作者：邹才能赵群王红岩熊伟董大忠于荣泽中国石油勘探开发研究院北京市100083 国家能源页岩气研发(实验)中心

中国南方埋深 3 500 m 以浅的海相页岩气勘探开发理论与技术通过 10 余年的攻关实践已经趋于成熟。为了持续推进我国页岩气勘探开发迈向新的高度,基于大量学者的研究成果,结合生产实践,进一步梳理了中国海相页岩气的主要特征和勘探开发... 详细信息

中国南方埋深 3 500 m 以浅的海相页岩气勘探开发理论与技术通过 10 余年的攻关实践已经趋于成熟。为了持续推进我国页岩气勘探开发迈向新的高度,基于大量学者的研究成果,结合生产实践,进一步梳理了中国海相页岩气的主要特征和勘探开发主体理论与技术。研究结果表明 :(1)中国南方海相页岩气基本特征——海相深水陆棚沉积,富有机质页岩大面积连续分布;有机质高热成熟生气后就地储集,后期构造改造影响页岩含气性;储集空间以纳米级孔隙为主,储层超致密、特低渗透,不改造无自然产能;层理和天然裂缝发育程度影响着页岩气井的产能;页岩岩石力学性质决定水平井实施工程效果,水平井开发初期产量高、递减快,中后期低产但生产周期长。(2)针对上述特征,建立了页岩气“甜点区”“甜点段”理论和有效开发“人工气藏”理论,即沉积和构造共同作用形成海相页岩气“甜点区”或“甜点”,地质和工程两类气井产能影响因素决定页岩气开发需找到“甜点段”;通过“人造高渗区,重构渗流场”构建“人工气藏”,可以实现对超致密低渗透页岩气藏的有效开发;基于地质—工程一体化评价技术精准打造页岩储层“透明地质体”与通过水平井多段压裂技术建立“人工气藏”,是当前页岩气开发最有效的技术手段。(3)四川盆地南部超压区是我国南方海相页岩气开发的“甜点区”,下志留统龙马溪组底部厚度介于 3 ~ 5 m 的高脆性富有机质“甜点段”是页岩气水平井的最优“黄金靶体”。(4)以水平井多段压裂为主体的关键技术实现了从第一代向第二代的发展跨越,川南地区埋深 3 500 m 以浅上奥陶统五峰组—龙马溪组页岩气水平井单井 EUR 由初期的 0.5×10m^(3)提升至目前的 1.0×10^(8)~ 1.2×10m^(3)。(5)川南地区已落实海相页岩气有利区可工作面积为 2.0×10km~2,预计可以探明页岩气地质储量达 10×10m^(3),初步预判 2025 年中国页岩气产量将超过 300×10m^(3)、2035 年有望达到 400×10^(8) m^(3)。

关键词：中国南方海相页岩气甜点区甜点段 “人工气藏” 四川盆地 “天然气大庆” 地质—工程一体化

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谈王宝钏和柳迎春两个京剧角色的塑造

文史知识 2023年第9期 100-106页

作者：赵群上海戏剧学院

京剧舞台上有两个很有意思的青衣角色,《武家坡》中的王宝和《汾河湾》中的柳迎春。她们都已嫁作人妇,却因丈夫从军久不归要自谋生计;她们造型相近都是青衣打扮,却因出身和性格差异,在舞台上表现出了较为不同的气质举止。《武家坡》中... 详细信息

京剧舞台上有两个很有意思的青衣角色,《武家坡》中的王宝和《汾河湾》中的柳迎春。她们都已嫁作人妇,却因丈夫从军久不归要自谋生计;她们造型相近都是青衣打扮,却因出身和性格差异,在舞台上表现出了较为不同的气质举止。《武家坡》中的王宝,本为相府三小姐,因下嫁薛平贵而被迫与其父决裂。薛平贵从军离家十八年,王宝只得在破瓦寒窑艰难生活,但是表演她的舞台身形时要格外注意挺拔,举止落落大方,哪怕是闻知有人带来薛平贵的“万金家书”。

关键词：性格差异王宝钏薛平贵汾河湾柳迎春青衣举止