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等离子体浸没离子注入介质靶鞘层特性的粒子模拟研究

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等离子体浸没离子注入介质靶鞘层特性的粒子模拟研究

作者：李运虎大连理工大学

学位级别：硕士

等离子体浸没离子注入(plasma immersion ion implantation,简称PⅢ)是在传统的束线离子注入(PBⅡ)的基础上提出的一种新的离子注入技术,由于其具有成本低、设备简单、易操作、适合处理复杂形状样品等诸多优点,在材料表面改性、半导体... 详细信息

等离子体浸没离子注入(plasma immersion ion implantation,简称PⅢ)是在传统的束线离子注入(PBⅡ)的基础上提出的一种新的离子注入技术,由于其具有成本低、设备简单、易操作、适合处理复杂形状样品等诸多优点,在材料表面改性、半导体和微电子材料加工等方面得到广泛的应用。然而,由于介质材料的导电性能较差,在对介质材料进行表面改性时容易出现注入离子电荷在表面积累的现象,出现充电效应,从而导致注入离子能量达不到预期负脉冲电压幅值,严重影响注入效果;同时,对于空心圆柱形介质圆管的内表面的离子注入过程,除了充电效应,随着离子注入过程的进行,介质圆管内的鞘层不断向圆管中心扩展,鞘层在圆管中心会出现重叠现象,导致离子的注入剂量和注入能量降低。为了解决上述问题,对介质靶PⅢ过程中鞘层演化特性进行理论上的深入研究就显得尤为必要。因为注入材料表面的离子主要是在鞘层中获得加速,鞘层特性直接影响被加工材料的离子注入效果,同时,理论研究的结果可以揭示离子注入过程的物理机理,为实际离子注入工艺的优化提供一定的参考。本文主要采用粒子模拟(particle in cell,简称PIC)方法,对介质靶材料等离子体浸没离子注入过程中的鞘层演化规律和靶表面的离子注入特性进行了模拟研究,分析讨论了各种参数对PⅢ过程中鞘层演化和注入特性的影响。本论文的具体安排如下：第一章,介绍了PⅢ技术的特点及其发展应用、PⅢ技术在平板介质靶和圆管介质靶的应用研究现状及意义,综述了对PⅢ过程进行计算机模拟时常用到的模拟方法。第二章,对等离子体模拟中使用的PIC/MCC模拟方法进行了详细的介绍,把PIC/MCC分成PIC和MCC两个部分进行讲述。同时,结合本文要用到的算法,在讨论模型时对一维平板模型和柱坐标下的二维模型都做了相应的推导。第三章,采用二维混合PIC(Hybrid PIC)的方法对介质圆管内表面的PⅢ过程进行了数值模拟,得到了空间鞘层演化的规律,并且对离子注入剂量和注入能量均匀性的进行了讨论。结果显示：在介质圆管内表面PⅢ过程中,随着积累电荷的增多,充电效应越来越明显,导致介质表面的电势降低,注入能量减小;其次,离子注入剂量在介质圆管内表面的分布不均匀,在介质圆管管口附近位置注入剂量明显偏大。当介质圆管内离子完全注入到介质内表面后,由于管口外端离子还会继续注入到管口内表面,随着注入时间的增加,这种不均匀性变得越来越严重。因此,在介质圆管内离子完全注入到内壁前结束一个脉冲周期就变得尤为必要;最后,适当延长金属电极的长度,可以有效的提高介质圆管内表面离子注入剂量和离子注入能量的均匀性。第四章,我们针对混合PIC在处理短脉冲PⅢ中的不足(假设电子满足波尔兹曼分布,从而忽略了电子的运动和效应对离子注入的影响),采用完全自洽的一维PIC/MCC模型对一维平板介质靶PⅢ过程进行了模拟。该模型完全跟踪电子和离子的运动轨迹,对带电粒子运动过程中与中性气体间的碰撞过程及介质表面的二次电子发射过程进行了全面的考虑;同时讨论了介质厚度和气体压强对注入过程的影响。结果表明,为了获得较好的注入效果,应该尽量采用较薄的介质、短的脉冲上升时间和低的放电气压。

关键词：等离子体浸没离子注入充电效应 PIC-MCC模型混合PIC 圆柱形介质圆管

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酸化剂在动物生产中的应用研究进展

湖南饲料 2015年第5期 24-26,29页

作者：李运虎湖南生物机电职业技术学院湖南长沙410127

本文就酸化剂的种类、作用机理、在动物生产中的应用研究进展及正确使用作一综述,为酸化剂在畜牧业生产中的正确使用提供依据。

关键词：酸化剂动物应用

浅析现代体能训练在初中体育教学中的应用策略

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天天爱科学(教学研究) 2021年第3期 117-118页

作者：李运虎德州市第五中学

随着电子信息技术的发展,手机和计算机成为当代中学学生的依赖品,使其日常劳动训练量达不到标准,也不利于学生身心健康的发展。因此,初中体育教学应加大训练量,将现代体能训练融入到初中体育教学之中,并从大学生的军训中吸取训练经验和... 详细信息

随着电子信息技术的发展,手机和计算机成为当代中学学生的依赖品,使其日常劳动训练量达不到标准,也不利于学生身心健康的发展。因此,初中体育教学应加大训练量,将现代体能训练融入到初中体育教学之中,并从大学生的军训中吸取训练经验和技术,从而提高学生的身体素质。基于此,本文首先简要分析了体能训练在初中体育教学中存在的问题,随后从三个方面分析了现代体能训练在初中体育教学中的应用策略。

关键词：体能训练初中体育体育教学

探究采用稳心颗粒联合美托洛尔治疗心律失常的效果

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中西医结合心血管病电子杂志 2016年第18期4卷 176-177页

作者：李运虎河南省信阳市第四人民医院

目的本文主要是对稳心颗粒联合美托洛尔治疗心律失常的效果进行研究。方法选择我院在2015年1月;016年7月收治的166例心律失常患者,采用随机的方式将其分为观察组与参照组各83例,参照组给予美托洛尔进行治疗,观察组在参照组治疗基础上再... 详细信息

目的本文主要是对稳心颗粒联合美托洛尔治疗心律失常的效果进行研究。方法选择我院在2015年1月;016年7月收治的166例心律失常患者,采用随机的方式将其分为观察组与参照组各83例,参照组给予美托洛尔进行治疗,观察组在参照组治疗基础上再给予稳心颗粒进行治疗,对两组患者的疗效进行观察与比较。结果经过不同的治疗后,参照组患者取得的治疗总有效率为74.70%,观察组患者取得的治疗总有效率为96.39%,观察组患者的治疗总有效率明显高于参照组,差异具有统计学意义（P<0.05）。结论对心律失常患者采取美托洛尔联合稳心颗粒进行治疗可以取得良好的疗效,患者的病情得到了极大的改善,值得在今后的临床中加以进一步推广与运用。

关键词：心律失常美托洛尔稳心颗粒疗效

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不同类型酸化剂对断奶仔猪生长性能的影响

饲料博览 2016年第6期26卷 1-3页

作者：李运虎湖南生物机电职业技术学院长沙410127

选择健康、日龄相近、初始体重6.5±0.2 kg的杜×长×大三元杂交断奶仔猪72头,随机分为3个处理,每个处理3个重复,每个重复8头仔猪。对照组A为市售某公司中高档教槽料,试验组B在基础日粮中添加柠檬酸1.0%;试验组C在基础日粮中添加幼添宝0... 详细信息

选择健康、日龄相近、初始体重6.5±0.2 kg的杜×长×大三元杂交断奶仔猪72头,随机分为3个处理,每个处理3个重复,每个重复8头仔猪。对照组A为市售某公司中高档教槽料,试验组B在基础日粮中添加柠檬酸1.0%;试验组C在基础日粮中添加幼添宝0.7%。试验期14 d,研究不同类型酸化剂对断奶仔猪生长性能的影响。试验结果表明,试验组B与对照组A相比,平均日增重差异不显著(P>0.05),与试验组C相比,平均日增重提高31.83%,差异显著(P0.05),与试验组C相比,平均日采食量提高16.01%,差异显著(P0.05),但试验组B与试验组C相比,料重比降低18.84,差异显著(P<0.05)。由此可见,饲粮中添加柠檬酸1.0%达到市售某公司高档教槽料相同的效果,且与日粮中添加幼添宝0.7%相比,显著提高平均日采食量、日增重,显著降低料重比,而日粮中添加幼添宝0.7%对断奶仔猪没有明显的促生长作用。

关键词：酸化剂平均日增重平均日采食量断奶仔猪

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浅谈如何做好五年制高职学生的思想政治工作

安徽农学通报 2007年第18期13卷 261-262页

作者：李运虎邓灶福湖南生物机电职业技术学院湖南长沙410127

本文分析了高职五年制学生的特点和思想现状,并有针对性的提出如何做好其思想政治工作的方法和措施。

关键词：五年制高职学生思想政治工作思想现状

沙丁胺醇联合布地奈德雾化吸入治疗支气管哮喘的临床研究

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中国民康医学 2017年第15期29卷 31-33页

作者：李运虎信阳市第四人民医院河南信阳464100

目的:观察沙丁胺醇联合布地奈德雾化吸入对支气管哮喘的临床疗效。方法:选取217例支气管哮喘患者,将其按照随机数表法分为对照组108例和研究组109例。对照组给予吸氧、祛痰、氨茶碱静脉注射及抗生素抗感染等常规治疗,研究组在对照组治... 详细信息

目的:观察沙丁胺醇联合布地奈德雾化吸入对支气管哮喘的临床疗效。方法:选取217例支气管哮喘患者,将其按照随机数表法分为对照组108例和研究组109例。对照组给予吸氧、祛痰、氨茶碱静脉注射及抗生素抗感染等常规治疗,研究组在对照组治疗基础上给予布地奈德混悬液联合硫酸沙丁胺醇雾化吸入治疗,以7 d为1个疗程,连续治疗2个疗程。治疗后统计两组临床疗效,观察记录两组临床症状缓解时间,检测比较治疗前后两组肺功能指标的变化。结果:研究组临床总有效率为94.50%,显著高于对照组的71.30%(P<0.01);与对照组比较,研究组患者咳嗽消失时间、气促消失时间及肺部哮鸣音消失时间显著缩短(P<0.01);与治疗前比较,治疗后两组FEV1、PEF及研究组FVC均显著升高(P<0.01),且研究组均显著高于对照组(P<0.01)。结论:布地奈德混悬液联合硫酸沙丁胺醇雾化吸入治疗支气管哮喘的效果显著,其起效快,可改善患者临床症状及肺功能,疗效显著优于常规治疗。

关键词：支气管哮喘布地奈德沙丁胺醇肺功能

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热轧带肋钢筋力学性能提升的实践

马钢技术 2001年第3期 36-37页

作者：李运虎周振农第三轧钢厂第二轧钢厂

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湖南农业职业教育发展面临的困境及政策建议

职业教育 2013年第20期 8-10页

作者：李运虎刘飞驰湖南生物机电学院

近年来,湖南农业职业教育得到了快速发展,但也凸现了发展中的诸多困难和问题。为全面贯彻落实《湖南省“十二五”农业发展规划》,努力提高教育教学质量,为湖南农业现代化发展培养更多更好的高素质农业技术人才,更科学地做好今后一个时... 详细信息

近年来,湖南农业职业教育得到了快速发展,但也凸现了发展中的诸多困难和问题。为全面贯彻落实《湖南省“十二五”农业发展规划》,努力提高教育教学质量,为湖南农业现代化发展培养更多更好的高素质农业技术人才,更科学地做好今后一个时期农业职业教育事业发展的各项工作,本文就湖南农业职业教育发展现状及面临的困难进行分析,提出拙见,以与同行商榷。

关键词：湖南农业职业教育困境建议