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有源层厚度对InSnZnO薄膜晶体管的影响

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稀有金属 2019年第1期43卷 61-66页

作者：杨浩志李治玥刘媛媛孙珲吕英波刘超山东大学(威海)超级计算中心山东威海264209 山东大学空间科学与物理学院山东威海264209 山东大学(威海)商学院山东威海264209

在室温下,采用射频磁控溅射法制备了氧化铟锡锌(ITZO)薄膜作为薄膜晶体管(TFT)的有源层, ITZO薄膜厚度分别为16, 25, 36, 45和55 nm。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见光分光光度计测试分析了不同厚度ITZO薄膜的结晶情... 详细信息

在室温下,采用射频磁控溅射法制备了氧化铟锡锌(ITZO)薄膜作为薄膜晶体管(TFT)的有源层, ITZO薄膜厚度分别为16, 25, 36, 45和55 nm。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见光分光光度计测试分析了不同厚度ITZO薄膜的结晶情况、表面形貌及光学特性的变化规律,并使用半导体特征测试仪表征了ITZO TFT的输出特性及转移特性,研究了有源层厚度对ITZO TFT电学性能的影响。结果表明:不同厚度的ITZO薄膜均为非晶结构,成膜致密,薄膜在可见光范围内的平均透过率均高于85%。在界面态密度(N■)和载流子浓度的共同影响下,当有源层厚度为36 nm时, ITZO TFT电学性能最优。其场效应迁移率(μ_(FE))为14.04 cm^2·(V·s)^(-1),开关比(I_(on/off))为1×10~6,亚阈值摆幅(S)仅有0.5 V·dec^(-1)。此外,有源层厚度的增大可以削弱空气中水分和氧气对TFT的侵蚀,提高器件的稳定性。因此可以通过改变有源层厚度来调控TFT的性能。

关键词：射频磁控溅射 ITZO薄膜薄膜晶体管厚度

GZO/Al复合背电极对非晶硅太阳能电池的影响

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人工晶体学报 2018年第2期47卷 267-272,291页

作者：杨浩志李治玥辛艳青徐涛宋淑梅孙珲山东大学(威海)超级计算中心威海264209 山东大学空间科学与物理学院威海264209

随着能源紧缺与环境污染问题的日益严重,太阳能的开发利用越来越受到重视,其中非晶硅薄膜太阳能电池由于其制备工艺简单、价格低廉等优点被广泛地研究。为了使非晶硅薄膜太阳能电池得到更好地利用,提高其转换效率和稳定性显得尤为重要... 详细信息

随着能源紧缺与环境污染问题的日益严重,太阳能的开发利用越来越受到重视,其中非晶硅薄膜太阳能电池由于其制备工艺简单、价格低廉等优点被广泛地研究。为了使非晶硅薄膜太阳能电池得到更好地利用,提高其转换效率和稳定性显得尤为重要。引入复合背电极是提高非晶硅太阳能电池性能的有效手段,其中对GZO/Al复合背电极的研究还未见报道。在该工作中,利用磁控溅射法在非晶硅电池上制备了GZO/Al复合背电极,研究了复合背电极的制备条件及其对非晶硅太阳能电池性能的影响。结果显示,当GZO层的溅射功率为90 W、Al层的溅射功率为90 W时,具有复合背电极的太阳能电池表现出较好的光电转换性能,其短路电流(I_(SC))、开路电压(V_(OC))、填充因子(FF)和电池的光电转换效率(η)分别为8.92 m A、1.55 V、54.48%和7.53%。相较于单层Al背电极的太阳能电池,其光电转换效率大幅提高了47.6%(相对效率)。

关键词：复合背电极非晶硅太阳能电池 GZO 磁控溅射

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氮掺铟锡锌薄膜晶体管的制备及其光电特性

发光学报 2017年第12期38卷 1622-1628页

作者：李治玥吕英波赵继凤宋淑梅杨波波辛艳青王昆仑杨田林山东大学空间科学与物理学院山东威海264209

以P型硅作为衬底,采用射频磁控溅射技术,在室温下制备了氮掺杂氧化铟锡锌薄膜晶体管(ITZO TFTs),研究了氮气流量对氧化铟锡锌薄膜晶体管结构、光学、电学特性以及稳定性的影响。实验结果表明:在不同氮气流量条件下制备的氧化铟锡锌薄膜... 详细信息

以P型硅作为衬底,采用射频磁控溅射技术,在室温下制备了氮掺杂氧化铟锡锌薄膜晶体管(ITZO TFTs),研究了氮气流量对氧化铟锡锌薄膜晶体管结构、光学、电学特性以及稳定性的影响。实验结果表明:在不同氮气流量条件下制备的氧化铟锡锌薄膜均为非晶态,在可见光范围内的平均透过率均在90%左右,光学带隙数值在3.28~3.32 e V之间变化。在氮气流量为4 m L/min时制备的ITZO TFTs,有源层与栅极电介质界面处的界面态密度(N^(max)_s)仅为4.3×10^(11)cm^(-2),场效应迁移率(μ_(FE))为18.72 cm^2/(V·s),开关比(I_(on/off))为10~6,亚阈值摆幅(S)为0.39 V/dec,电学性能最优。栅极正偏压应力测试结果表明,该器件具有最强的稳定性。因此,适量的氮掺杂可有效地实现器件氧空位的钝化,降低器件的界面态密度,提高ITZO TFTs的电学性能及稳定性。

关键词：氧化铟锡锌薄膜晶体管射频磁控溅射氮掺杂界面态密度

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n型薄膜晶体管(TFT)的研究进展

科技智囊 2020年第12期 61-64页

作者：孙源爽杨卿煜李治玥山东海化股份有限公司热力电力公司山东潍坊262737 香港大学物理系香港999077

文章详细地介绍了以IGZO TFT为主要代表的显示材料以及n型TFT的工作原理、研究进展及在其制备的过程中可能受到的限制和影响、在许多技术和领域方面的实际应用。IGZO TFT的原理和性能特点相比于其他的新型半导体材料和薄膜晶体管具有很... 详细信息

文章详细地介绍了以IGZO TFT为主要代表的显示材料以及n型TFT的工作原理、研究进展及在其制备的过程中可能受到的限制和影响、在许多技术和领域方面的实际应用。IGZO TFT的原理和性能特点相比于其他的新型半导体材料和薄膜晶体管具有很大的技术优势,这也就使得它在大尺寸柔性液晶显示及大尺寸超高清液晶显示等电子信息领域的应用上具有巨大的潜在价值。

关键词：薄膜晶体管 n型 IGZO

碳排放权交易试点政策的减排效应分析——基于碳排放量和碳排放效率的视角

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系统工程理论与实践 2024年第9期44卷 2838-2858页

作者：蔡俊骆丹娜萧莘玥华中科技大学管理学院浙江大学经济学院上海财经大学经济学院

准确刻画碳排放效率和正确评价碳交易政策对实现“双碳”目标具有重要的理论和实践意义.本文基于改进的随机前沿模型和双重差分模型,收集了2003–2019年30个省(市)的能源消耗及经济投入产出的面板数据,并测算了碳排放权交易政策对试点... 详细信息

准确刻画碳排放效率和正确评价碳交易政策对实现“双碳”目标具有重要的理论和实践意义.本文基于改进的随机前沿模型和双重差分模型,收集了2003–2019年30个省(市)的能源消耗及经济投入产出的面板数据,并测算了碳排放权交易政策对试点省份碳排放量和碳排放效率的影响及作用机理.实证研究发现,碳排放权交易政策可以降低试点地区4.4%的碳排放量,提高试点地区10.4%的碳排放效率,有助于推动实现“双碳”目标.机制分析表明,碳交易政策通过降低能源消耗量、调整能源结构和限制重点行业(如水泥)产能来减少碳排放量和提高碳排放效率;然而该政策并没有显著促进企业低碳技术的研发.异质性分析结果显示,在碳排放权试点政策的实施中,交易价格具有调节作用,即价格越高,减碳效果越显著.这些发现为全国范围内推广碳排放权交易政策提供了重要启示,对实现“双碳”目标具有较高的参考价值.

关键词：碳交易市场试点碳减排效应碳排放效率随机前沿分析双重差分模型

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板状碎片对建筑屋面的冲击破坏概率模型

同济大学学报（自然科学版） 2024年第5期52卷 717-725页

作者：黄鹏蓝鑫玥同济大学土木工程防灾减灾全国重点实验室上海200092

飞掷物对建筑的冲击破坏是围护结构在强风作用下受损的主要原因之一。为针对不同围护结构建立考虑多因素影响的冲击破坏概率模型,提出了一种基于马格努斯效应的板状碎片三维轨迹方程的板状碎片冲击破坏概率模型。与现有模型相比,额外考... 详细信息

飞掷物对建筑的冲击破坏是围护结构在强风作用下受损的主要原因之一。为针对不同围护结构建立考虑多因素影响的冲击破坏概率模型,提出了一种基于马格努斯效应的板状碎片三维轨迹方程的板状碎片冲击破坏概率模型。与现有模型相比,额外考虑了在不同风速风向下板状碎片来源、起飞初始条件和建筑相对位置对屋面冲击破坏概率的影响。利用风速15 m·s^(-1)~45 m·s^(-1),风向0°~90°和上游建筑高度8.0 m~12.5 m作为模型的输入,实现了可考虑多因素影响的板状碎片对低矮建筑屋面冲击破坏的概率估计,验证了模型的实用性。该模型计算过程简单,可应用于建筑屋面易损性分析。

关键词：飞掷物冲击破坏概率模型板状碎片建筑屋面强风作用

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基于情境引擎的车载导航交互设计研究

汽车工程 2024年第1期46卷 18-28页

作者：马钧柏玥同济大学汽车学院上海200092 同济大学设计创意学院上海200092

针对车载导航模式单一、无法根据情境差异动态改变交互策略导致用户体验不足的问题,本文提出了一种支持根据不同情境自适应车载导航交互策略的情境引擎模型。结合以用户为中心的设计流程(UCD)与情境感知理论,定义了汽车人机交互情境,并... 详细信息

针对车载导航模式单一、无法根据情境差异动态改变交互策略导致用户体验不足的问题,本文提出了一种支持根据不同情境自适应车载导航交互策略的情境引擎模型。结合以用户为中心的设计流程(UCD)与情境感知理论,定义了汽车人机交互情境,并通过对典型驾驶用户进行跟车调研,提取关键情境要素,阐述了导航情境下情境引擎模型的自适应交互策略及原理,将用户对不同信息的需求程度映射至交互表现层的详细程度。进行了贴合驾驶员不同需求层级的导航HMI信息框架梳理与组件设计,对两个典型导航使用情境进行了交互界面设计与分析。结果表明,情境引擎能对各驾驶情境下的驾驶员需求进行自适应交互,可为智能座舱驾驶交互体验的优化与研发提供借鉴。

关键词：人车交互车载导航情境感知界面设计