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检索条件"作者=李朋志"
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压电驱动器磁滞补偿的模糊控制方法及应用
压电驱动器磁滞补偿的模糊控制方法及应用
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作者: 李朋志 上海交通大学
学位级别:硕士
压电驱动超精密微位移平台作为各种现代微电子制造装备的核心部件,其研发水平直接影响国家电子信息产业的技术进步。但是,压电驱动器固有的磁滞特性,会使系统精度严重下降,甚至导致系统闭环的不稳定。因此为了进一步提高超精密机电系统... 详细信息
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民国司法改革过程的探索 ——以民国司法会议记录为切入点
民国司法改革过程的探索 ——以民国司...
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作者: 李朋志 华东政法大学
学位级别:硕士
随着辛亥革命的成功,民国政府开始司法改革,但是,民国的司法改革并非一帆风顺,战争的频繁和政权的更迭使得改革没有一个良好的外部环境,因此期间遇到重重困难和阻碍。不过,从历次民国的司法会议记录内容来看,不论成功与否,当局并没有放... 详细信息
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光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验
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光学学报 2017年 第3期37卷 295-303页
作者: 东立剑 崔庆龙 李朋志 赵磊 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033
光刻物镜硅片刻蚀过程中的Z5像散会使光刻物镜波像差产生严重的劣化。为了对像散进行实时补偿,提出一种Z5像散主动补偿系统。该系统由实时数据平台、驱动力系统、柔性支撑结构和光学透镜构成。采用球面干涉仪作为光学透镜表面面形的检... 详细信息
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全簧片式空间大行程并联柔性微定位平台及其轨迹控制
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光学精密工程 2023年 第18期31卷 2675-2686页
作者: 陈云壮 赖磊捷 李朋志 朱利民 上海工程技术大学机械与汽车工程学院 上海松江201620 格鲁斯特大学计算与工程学院 英国切尔滕纳姆GL502RH 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033 上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室 上海200240
为了解决传统微定位平台运动范围小、寄生运动和交叉轴耦合严重导致运动精度低等问题,提出了一种音圈电机驱动的全簧片式大行程、空间多自由度并联柔性解耦微定位平台。首先,介绍了含簧片型柔性球铰的大行程多自由度并联柔性机构的结构... 详细信息
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电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制
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光学精密工程 2021年 第9期29卷 2149-2157页
作者: 张旭 赖磊捷 李朋志 朱利民 上海工程技术大学机械与汽车工程学院 上海201600 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033 格鲁斯特大学计算与工程学院 英国切尔滕纳姆G L502RH 上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室 上海200240
为了克服音圈电机电磁驱动柔顺微定位平台在大行程范围内存在的低阻尼谐振和动力学特性差异等问题,利用综合数据驱动频域逆迭代前馈补偿和含相位超前校正PI反馈控制的复合闭环频域逆迭代学习控制方法对其进行高速高精控制。首先,搭建了... 详细信息
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压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振
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光学精密工程 2024年 第6期32卷 833-842页
作者: 王雯雯 赖磊捷 李朋志 朱利民 上海工程技术大学机械与汽车工程学院 上海201620 格鲁斯特大学计算与工程学院 英国切尔滕纳姆G L502RH 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033 上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室 上海200240
为消除压电驱动柔性微定位平台高精控制对平台不确定动力学模型的依赖性,提出了一种数据驱动无模型迭代前馈补偿和自适应陷波滤波结合的控制方法来提高平台的跟踪性能。首先,建立了数据驱动无模型迭代前馈控制器,提高系统对噪声和其他... 详细信息
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193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展
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中国科学:技术科学 2017年 第6期47卷 565-581页
作者: 张德福 李显凌 芮大为 李朋志 东立剑 张建国 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心长春130033 中国科学院大学 北京100049
结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升.本文分析了当前集成电路装备制造业对193nm投影物镜的需求,... 详细信息
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三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿
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光学精密工程 2023年 第20期31卷 2964-2974页
作者: 司马津甫 赖磊捷 李朋志 方宇 朱利民 上海工程技术大学机械与汽车工程学院 上海201620 格鲁斯特大学计算与工程学院 英国切尔滕纳姆GL502RH 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033 上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室 上海200240
为了解决三自由度压电驱动纳米偏摆台中的多轴耦合与迟滞问题,设计了一种可以同时表征多个压电驱动器间耦合效应及其自身迟滞效应的耦合迟滞模型,并利用其逆模型进行前馈补偿以提升平台的定位和轨迹跟踪精度。首先,搭建了三自由度压电... 详细信息
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高精度位移传感器线性度标定方法研究
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仪器仪表学报 2015年 第5期36卷 982-988页
作者: 张德福 葛川 李显凌 倪明阳 郭抗 李朋志 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 长春130033
针对光学系统中光学元件的高精度位移调节和检测问题,提出一种非接触电容位移传感器的线性度标定方法,搭建了一个运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的标定平台,从测量原理上消除阿贝误差。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称... 详细信息
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压电驱动器的开闭环迭代学习控制
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光学精密工程 2014年 第2期22卷 414-419页
作者: 李朋志 闫丰 葛川 李佩玥 隋永新 杨怀江 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130033
由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差,本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度。首先,提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律,并且给出了基于该学习律的收敛性条件。然后... 详细信息
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