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数字式电容测量电路

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电子测量技术 1992年第1期15卷 43-45页

作者：黄元三李哲奎许仁天延边大学

本文介绍一种由55,定时器集成电路和EPROM设计的数字式电容测量电路。此电路全部由数字电路组成,直接显示电容的数字量。

关键词：数字式电路电容测量集成电路

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单极性脉冲频率对微弧氧化膜特性的影响

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云南大学学报（自然科学版） 2005年第S3期27卷 380-383页

作者：李哲奎赵学枰顾广瑞毕冬梅唐元广常鸿延边大学理工学院吉林延吉133002 吉林大学物理学院吉林长春130021

在Na2CO3-Na2SiO3溶液中,采用单极性直流脉冲高压电源在不同频率下制备了纯钛微弧氧化(MAO)膜.利用X射线衍射(XRD)仪和扫描电镜(SEM)等研究了直流脉冲频率对膜层生长、相结构及显微结构的影响.实验结果表明,脉冲频率在4 000 Hz以下时,... 详细信息

在Na2CO3-Na2SiO3溶液中,采用单极性直流脉冲高压电源在不同频率下制备了纯钛微弧氧化(MAO)膜.利用X射线衍射(XRD)仪和扫描电镜(SEM)等研究了直流脉冲频率对膜层生长、相结构及显微结构的影响.实验结果表明,脉冲频率在4 000 Hz以下时,膜层生长速率随频率的增加而迅速减小,但超过4 000Hz时,膜层生长速率基本不变.随频率的增加氧化膜表面孔径减小,孔密度增加,相应的表面粗糙度降低.氧化膜主要由金红石和锐钛矿相TiO2及少量不饱和氧化的TiO2-x相组成,其中锐钛矿相和金红石相的相对含量基本保持恒定,不饱和氧化物则随着频率的增加而逐渐减少.

关键词：微弧氧化脉冲频率表面形貌相组成

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磁控溅射非晶CN_x薄膜的热稳定性研究

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材料科学与工艺 2004年第1期12卷 71-74页

作者：李俊杰金曾孙吴汉华林景波金哲李哲奎顾广瑞盖同祥吉林大学超硬材料国家重点实验室吉林长春130023 延边大学理工学院吉林延吉133002

为了研究非晶CNx薄膜的热稳定性,采用射频磁控溅射方法沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900℃,利用FTIR,Raman和XPS谱探讨了高温退火对CNx薄膜化学成分及键合结构的影响.研究表明:CNx薄膜样品中N原子分别与sp、sp2和sp3杂化状态... 详细信息

为了研究非晶CNx薄膜的热稳定性,采用射频磁控溅射方法沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900℃,利用FTIR,Raman和XPS谱探讨了高温退火对CNx薄膜化学成分及键合结构的影响.研究表明:CNx薄膜样品中N原子分别与sp、sp2和sp3杂化状态的C原子相结合,退火处理极大地影响了CN键合结构的稳定性;当退火温度低于600℃时,膜内N含量的损失较少,CNx薄膜的热稳定性较好,退火温度超过600℃时,将导致CNx膜中大多数C、N间的键合分离,造成N大量损失,膜的热稳定性下降;退火可促使膜内sp3型键向sp2型键转变,在膜中形成大量的sp2型C键,导致CNx膜的石墨化.

关键词：磁控溅射非晶CNx薄膜热稳定性真空退火键合结构