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集成电路装备光刻机发展前沿与未来挑战

中国科学：信息科学 2024年第1期54卷 130-143页

作者：胡楚雄周冉付宏张鸣朱煜清华大学机械工程系高端装备界面科学与技术全国重点实验室北京100084 清华大学机械工程系精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京100084

光刻机是集成电路制造中最为核心的高端装备,在60余年的发展历程中不断挑战人类超精密制造装备的极限,推动着摩尔定律的持续向前和信息时代的飞速发展,对于科技进步、国民经济、国家安全具有极为重要的战略意义.本文阐述了光刻机在集成... 详细信息

光刻机是集成电路制造中最为核心的高端装备,在60余年的发展历程中不断挑战人类超精密制造装备的极限,推动着摩尔定律的持续向前和信息时代的飞速发展,对于科技进步、国民经济、国家安全具有极为重要的战略意义.本文阐述了光刻机在集成电路制造装备中的核心地位,介绍了光刻的基本原理,梳理了国际上光刻机从20世纪60年代至今的发展脉络,围绕光刻机三大核心部件分析了光刻机中的关键技术及面临的极限技术挑战.在此基础上,本文展望了未来光刻机的发展趋势和未来方向.

关键词：集成电路光刻机关键技术发展前沿未来挑战

湖北庙垭碳酸岩杂岩体中铌赋存状态及富集机制:矿物化学制约

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地球科学 2024年第2期49卷 594-611页

作者：王珂王连训朱煜翔马昌前黄宏业核工业二三〇研究所湖南长沙410007 湖南省伴生放射性矿产资源评价与综合利用工程技术研究中心湖南长沙410007 中国地质大学地球科学学院湖北武汉430074

庙垭碳酸岩杂岩体位于南秦岭武当地块西南缘,主要由富铌、稀土的碳酸岩和正长岩组成,是我国第二大碳酸岩型铌矿床.前人对碳酸岩中稀土元素的矿化机理进行了详细的研究,但铌元素的富集机制还尚未清楚.因此对其开展了详细的岩石学、矿物... 详细信息

庙垭碳酸岩杂岩体位于南秦岭武当地块西南缘,主要由富铌、稀土的碳酸岩和正长岩组成,是我国第二大碳酸岩型铌矿床.前人对碳酸岩中稀土元素的矿化机理进行了详细的研究,但铌元素的富集机制还尚未清楚.因此对其开展了详细的岩石学、矿物学及矿物化学研究.庙垭杂岩体主要由碳酸岩和正长岩组成,碳酸岩多呈岩脉或岩株状侵入正长岩中.庙垭铌-稀土矿床含铌矿物主要有铌金红石、含Nb-Ti-Zr矿物、铌铁矿、富铀烧绿石和铌钛铀矿等.铌金红石和Nb-Ti-Zr氧化物呈自形-半自形,Nb_(2)O_(5)含量较高(分别为1.10%~3.35%和8.58%~18.64%).Nb-Ti-Zr硅酸盐赋存于Nb-Ti-Zr氧化物裂隙内或沿其边缘分布,常与钠长石细脉伴生,Nb_(2)O_(5)含量为1.75%~6.00%.铌铁矿呈它形细粒状结构,空间上与含Nb-Ti-Zr氧化物共生,显示较高的Nb_(2)O_(5)及FeO含量(72.30%~75.75%和18.52%~18.81%).富铀烧绿石呈不规则粒状或者交生结构,具有较高含量的Nb_(2)O_(5)(35.42%~36.45%)和UO_(2)(25.68%~26.76%),高的A位空缺值(0.55~0.74 apfu)和低的Na_(2)O、F含量(低于检测线和0.32%~0.79%).铌钛铀矿呈残骸状或椭圆状假晶,空间上依次伴生赤铁矿和黄铁矿,显著富集Nb_(2)O_(5)、UO_(2)和TiO_(2).(结论).综上,初步认为庙垭碳酸岩杂岩体中铌富集受控于岩浆和热液过程.贫铌矿物和富F矿物在富Nb母岩浆中早先结晶导致残余熔体中Nb含量逐渐升高,最终结晶出铌金红石、Nb-Ti-Zr氧化物、富铀烧绿石、铌钛铀矿.后期富Na、Si、Fe热液沿裂隙交代原生含铌矿物,经活化、迁移、沉淀形成了次生含铌矿物(Nb-Ti-Zr硅酸盐、铌铁矿等).

关键词：庙垭碳酸岩杂岩体铌富集机制结晶分异热液交代岩浆-热液过程矿床学

换相失败后提升送端暂态功角稳定性的实时控制方法

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电工技术学报 2024年

作者：朱益华郑晨一常东旭朱煜昆东南大学电气工程学院中国南方电网电力科学研究院直流输电技术国家重点实验室

直流换相失败引起的功率瞬降易增大送端交流系统的功角失稳风险，但当前研究尚缺少应对多直流换相失败的暂态功角稳定实时控制方法的问题。针对这一问题，论文首先分析了换相失败功率冲击下送端系统发电机相对动能和转速的变化规律，指... 详细信息

直流换相失败引起的功率瞬降易增大送端交流系统的功角失稳风险，但当前研究尚缺少应对多直流换相失败的暂态功角稳定实时控制方法的问题。针对这一问题，论文首先分析了换相失败功率冲击下送端系统发电机相对动能和转速的变化规律，指出送端系统的相对动能变化可仅由等值发电机的相对转速表征，不依赖于直流系统功率跌落和恢复的曲线态势；然后根据直流功率恢复至稳态时等值发电机的相对转速计算转子运动剩余加速面积，进而得到维持送端系统暂态功角稳定性所需的减速面积及相应的切机量；最后根据切机量计算结果制定了实时切机控制策略，并基于简单系统和实际电网进行了仿真分析和验证。仿真结果表明，所提方法能够较准确地计算维持送端系统暂态功角稳定性所需的切机量，有效减小换相失败后送端系统的暂态功角失稳风险。

关键词：高压直流换相失败功角失稳切机策略

基于复合索引的MM-OFDM-SFCIM系统设计与检测算法

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华东理工大学学报（自然科学版） 2024年第3期50卷 442-449页

作者：张莹莹袁伟娜朱煜华东理工大学信息科学与工程学院上海200237

空间调制(Spatial Modulation, SM)技术和OFDM多模子载波索引调制(OFDMMulti-Mode Index Modulation, MM-OFDM-IM)技术分别在能量效率(Energy Efficiency,EE)和频谱效率(Spectral Efficiency,SE)上有着很大的优势。多维度索引调制技术相结合能够应用多种物理资源,应对无线通信系统对数据传输和系统容量的高需求,由此将SM与MMOFDM-IM系统灵活结合,构建基于空频结合的多模复合索引调制(OFDM-Multiple-Mode Space Frequency Composite Index Modulation,MM-OFDM-SFCIM)系统,保留传统子载波索引调制技术中的静默子载波,拓展新的复合系数维度,提高系统的SE和EE。针对系统的复杂特性,提出了基于符号能量及对数似然的联合检测算法(REML based on symbolic Energy and LLR,EL-REML)。仿真结果表明,MM-OFDM-SFCIM系统比传统的空频结合系统在SE上提高了约30%,并且MM-DFDM-SPCIM系统中提出的EL-REML算法比LLR算法在误码率上提高了3~4 dB,相比传统的ML算法,其计算复杂度更低。

关键词： SM MM-OFDM-IM 频谱效率计算复杂度误码率

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童话教学中的思维训练

小学语文教学 2024年第10期 4-6页

作者：朱煜上海市浦东新区建平实验小学

落实语文课程的目的是为了提升学生的核心素养,思维能力是核心素养的重要组成部分。2022年版课标对思维能力是这样论述的:“思维能力是指学生在语文学习过程中的联想想象、分析比较、归纳判断等认知表现,主要包括直觉思维、形象思维、... 详细信息

落实语文课程的目的是为了提升学生的核心素养,思维能力是核心素养的重要组成部分。2022年版课标对思维能力是这样论述的:“思维能力是指学生在语文学习过程中的联想想象、分析比较、归纳判断等认知表现,主要包括直觉思维、形象思维、逻辑思维、辩证思维和创造思维。思维具有一定的敏捷性、灵活性、深刻性、独创性、批判性。有好奇心、求知欲,崇尚真知,勇于探索创新,养成积极思考的习惯。”

关键词：核心素养联想想象思维能力童话教学敏捷性思维训练创造思维直觉思维

基于安全强化学习的电网稳控策略智能生成方法

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电力系统保护与控制 2024年第10期52卷 147-155页

作者：邱建朱煜昆张建新朱益华徐光虎涂亮中国南方电网有限责任公司广东广州510663 直流输电技术全国重点实验室(南方电网科学研究院有限责任公司) 广东广州510663 广东省新能源电力系统智能运行与控制企业重点实验室广东广州510663

新型电力系统的“双高”趋势改变了电力系统经典稳定特性,导致稳定机理更复杂,系统稳定模式更多样,因此基于典型运行方式的在线稳定控制策略面临挑战。为解决新型电力系统的功角稳定问题,提出了基于安全强化学习的稳控策略智能生成方法... 详细信息

新型电力系统的“双高”趋势改变了电力系统经典稳定特性,导致稳定机理更复杂,系统稳定模式更多样,因此基于典型运行方式的在线稳定控制策略面临挑战。为解决新型电力系统的功角稳定问题,提出了基于安全强化学习的稳控策略智能生成方法。首先,建立了电力系统稳控问题的含约束马尔可夫模型,归纳并提出了紧急控制切机动作涉及的安全约束。其次,为了提高对于电网暂态响应的时空特征提取能力,构建了基于图卷积层和长短期记忆单元的特征感知网络。然后,为了提高稳控策略智能体的训练效率,提出了基于内嵌领域知识约束的近端策略优化算法稳控策略训练框架。最后,在IEEE 39节点系统和某实际电网中进行测试验证。结果表明,所提方法能够根据系统运行状态和故障响应自适应生成切机稳控策略,其决策效果和效率均优于现有的稳控策略。

关键词：稳控策略安全强化学习时空特征领域知识

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幼小衔接教育视角下幼儿生活化课程构建策略

当代家庭教育 2024年第7期 78-80页

作者：朱煜冉安徽省芜湖市无为市无城幼儿园教育集团城南分园

幼小衔接教育视角下幼儿生活化课程备受关注，生活化课程构建十分必要。本文从幼小衔接教育出发，发现现阶段幼儿生活化课程构建误区，明确幼儿生活化课程构建的必要性和价值，并分别从身心准备、生活准备、社会准备和学习准备等方面着... 详细信息

幼小衔接教育视角下幼儿生活化课程备受关注，生活化课程构建十分必要。本文从幼小衔接教育出发，发现现阶段幼儿生活化课程构建误区，明确幼儿生活化课程构建的必要性和价值，并分别从身心准备、生活准备、社会准备和学习准备等方面着手，提出幼儿生活化课程构建策略和方案，从而提高幼儿园幼小衔接教育质量，实现幼儿由幼儿园到小学的过渡。

关键词：幼小衔接生活化课程构建策略

基于氧化物-金属多层膜固态化合方法制备MCNO薄膜

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红外与激光工程 2024年第4期53卷 223-232页

作者：赵媛媛王园园王荣新王志鹏朱煜宋贺伦向阳长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所江苏苏州215123

红外热成像技术具有高度实用性、灵敏性和可靠性等优点,在航空、医疗等多个领域发挥着重要作用。相较于其他类型的非制冷红外探测器,测微辐射热计(Microbolometer)具有工作范围宽、响应速率快且器件结构简单等优点。相较于非晶硅和氧化... 详细信息

红外热成像技术具有高度实用性、灵敏性和可靠性等优点,在航空、医疗等多个领域发挥着重要作用。相较于其他类型的非制冷红外探测器,测微辐射热计(Microbolometer)具有工作范围宽、响应速率快且器件结构简单等优点。相较于非晶硅和氧化钒等常见热敏层材料,立方尖晶石结构的过渡金属氧化物锰钴镍氧化物(Mn-Co-Ni-O,MCNO)具有更高的TCR系数。使用磁控溅射法-电子束蒸发复合法在蓝宝石(Al_(2)O_(3))衬底上制备MCNO薄膜,结合XRD、SEM和电学性能测试,分析和探讨了工艺条件对其性能的影响。研究结果表明,在450℃沉积5 h得到厚度为450 nm的MCNO薄膜样品,随后在真空腔内原位退火1 h,再使用管式退火炉在空气氛围中进行60 min 850℃后退火,MCNO薄膜呈现出良好性能,(111)晶相的XRD半峰宽为0.48,晶格常数为8.71A(1A=10^(-10) m),晶粒平均大小为81.7±24 nm。使用四探针法测试MCNO薄膜室温下电阻率为642.19Ω·cm,室温下(295 K)电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance,TCR)系数为-4.20%/K。在6~8.5μm波长范围内,最高吸光度为1.50。研究结果验证了所提出的多层复合方法用于制备MCNO薄膜的可行性,为进一步优化MCNO薄膜组份与掺杂配比以及结构-性能关系提供了新思路。

关键词：锰钴镍氧化物磁控溅射电子束蒸发逐层沉积退火温度固相合成

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半乳甘露聚糖改性制备面料用热熔胶

合成树脂及塑料 2024年第2期41卷 34-37页

作者：何红升河北科技工程职业技术大学河北邢台054000

以聚酰亚胺热熔胶为主体,掺杂10%~50%(w)半乳甘露聚糖制备了面料用热熔胶,并研究了其性能。结果表明:半乳甘露聚糖与聚酰亚胺热熔胶制备面料用热熔胶的过程较为成功,该热熔胶的拉伸剪切强度、剥离强度、熔体流动速率、低温挠性、水气透... 详细信息

以聚酰亚胺热熔胶为主体,掺杂10%~50%(w)半乳甘露聚糖制备了面料用热熔胶,并研究了其性能。结果表明:半乳甘露聚糖与聚酰亚胺热熔胶制备面料用热熔胶的过程较为成功,该热熔胶的拉伸剪切强度、剥离强度、熔体流动速率、低温挠性、水气透过率及耐热氧老化性能提升,软化温度、邵氏硬度、氧气透过率等有所下降;半乳甘露聚糖含量为40%(w)时,面料用热熔胶的拉伸剪切强度达到最大,为5.7 MPa,剥离强度为1.47 N/mm,熔体流动速率为15.9 g/10 min,软化温度为76.5℃。

关键词：面料用热熔胶半乳甘露聚糖聚酰亚胺热熔胶掺杂改性