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InSb红外探测器芯片金丝引线键合工艺研究

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红外与激光工程 2013年第1期42卷 46-50页

作者：朱炳金林磊宋开臣王晶中国空空导弹研究院河南洛阳471009

InSb红外探测器芯片镀金焊盘与外部管脚的引线键合质量直接决定着光电信号输出的可靠性,对于引线键合质量来说,超声功率、键合压力、键合时间是最主要的工艺参数。从实际应用出发,采用K&S公司4124金丝球焊机实现芯片镀金焊盘与外部管脚... 详细信息

InSb红外探测器芯片镀金焊盘与外部管脚的引线键合质量直接决定着光电信号输出的可靠性,对于引线键合质量来说,超声功率、键合压力、键合时间是最主要的工艺参数。从实际应用出发,采用K&S公司4124金丝球焊机实现芯片镀金焊盘与外部管脚的引线键合,主要研究芯片镀金焊盘第一焊点键合工艺参数对引线键合强度及键合区域的影响,通过分析键合失效方式,结合焊点的表面形貌,给出了适合InSb芯片引线键合质量要求的最优工艺方案,为实现InSb芯片引线键合可靠性的提高打下了坚实的基础。

关键词：引线键合超声功率键合压力键合时间

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六硼化镧薄膜的制备及发射特性的研究

六硼化镧薄膜的制备及发射特性的研究

作者：朱炳金电子科技大学

学位级别：硕士

阴极是电子源的核心部件。随着电子源在各领域的广泛应用,对电子源的要求越来越高,相应地,对阴极的要求也越来越苛刻。如要求发射电流密度大、束流品质好的电子源,以获得很高亮度的电子束。目前阴极的实现方案很多,其中在材料基底上敷... 详细信息

阴极是电子源的核心部件。随着电子源在各领域的广泛应用,对电子源的要求越来越高,相应地,对阴极的要求也越来越苛刻。如要求发射电流密度大、束流品质好的电子源,以获得很高亮度的电子束。目前阴极的实现方案很多,其中在材料基底上敷膜的薄膜阴极的方法既可利用基底本身的物理、结构特性,又可利用膜材料的物理化学性能,是一种有效的提高阴极性能的方法。薄膜阴极就是在阴极表面上沉积其他材料的薄膜,以进一步的降低阴极表面功函数。因此薄膜材料的选择至关重要,主要考虑材料的功函数、电导率、密度、热稳定性、化学稳定性等各种因素,而六硼化镧作为一种高熔点、耐离子轰击、抗氧化、导热、导电、化学和物理稳定性极好的优质阴极电子发射材料,使之成为薄膜阴极实现方案中理想的薄膜材料。本文通过电泳法和电子束蒸发法分别在金属铼和硅尖锥阵列上实现六硼化镧薄膜的制备,研究适合于热阴极和冷阴极不同要求的LaB6薄膜阴极制备工艺。论文围绕这两个部分,分别对六硼化镧薄膜的电泳制备工艺、电子束蒸发制备工艺、硅尖锥阵列的制备工艺进行了重点研究,获得了比较理想的工艺参数。最终成功制备了多晶六硼化镧薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对薄膜的表面形貌和结构进行了分析,结果表明:电泳沉积薄膜的退火后,薄膜表面相对平整,结晶程度明显提高;而电子束蒸发沉积薄膜的晶粒均匀、致密,膜表面非常平整,面有择优生长现象,晶粒尺寸随着基底温度的升高而增大,结晶度逐步升高。论文对铼基底的六硼化镧薄膜阴极及硅阵列薄膜阴极分别进行了热发射特性和场发射特性测试,并对测试结果进行了详细的分析和讨论。铼基底的薄膜阴极热电子发射特性及电流发射稳定性的测试表明:薄膜阴极在2×10-4Pa的真空度下,薄膜阴极温度为1200℃时,可以得到0.44A/cm2的电流密度,发射寿命达到40小时。热发射稳定性测试中发现:真空度对LaB6薄膜的热电子发射能力有一定的影响,随着真空度的降低,阴极发射电流逐渐减小,而且,发射电流波动幅度增大。根据Richardson直线法,得到六硼化镧薄膜的功函数为2.56eV,在六硼化镧功函数理论范围内。而硅尖锥及不同的真空度下阵列薄膜的场致发射I-V特性及电流发射稳定性的测试结果表明:真空度为8×10-5Pa,阳极电压为1650V时,沉积LaB6的薄膜阴极阵列的发射电流总发射电流达到125μA,是相同条件下纯硅尖锥阵列125倍,可以得到电流密度为3.1mA/cm2的场发射电流。测试中硅阵列六硼化镧薄膜具有良好的场发射稳定性:30分钟测试时间段内除了开始阶段波动较大,发射电流基本稳定在18～24μA,并最终稳定在20μA左右。通过对六硼化镧薄膜阵列场发射的分析,结果表明,硅尖阵列硼化镧薄膜冷阴极具有高发射电流、高稳定性的特点,是一种较为理想的冷阴极实现方案。

关键词：薄膜阵列六硼化镧硅尖锥阵列薄膜阴极电泳法电子束蒸发

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大电流密度碳纳米管场致发射阴极阵列的研制

强激光与粒子束 2006年第12期18卷 2070-2073页

作者：陈泽祥曹贵川张强朱炳金林祖伦电子科技大学光电信息学院成都610054

设计了一种由TiN,Al,Fe和牺牲层构成的堆栈式催化剂层结构,采用微波等离子体化学气相沉积法实现碳纳米管阵列高速笔直生长。SEM和TEM结果表明,生长出来的碳纳米管为典型的多壁碳纳米管,长度和直径均匀,排列整齐并垂直于基底,生长速率大... 详细信息

设计了一种由TiN,Al,Fe和牺牲层构成的堆栈式催化剂层结构,采用微波等离子体化学气相沉积法实现碳纳米管阵列高速笔直生长。SEM和TEM结果表明,生长出来的碳纳米管为典型的多壁碳纳米管,长度和直径均匀,排列整齐并垂直于基底,生长速率大于5μm/min,晶格缺陷少。场致发射测试结果表明:碳纳米管的发射阵列具有良好的电流发射稳定性,最大电流密度大于6 A/cm2。紫外光电子能谱法(UPS)测试出碳纳米管的功函数为4.59 eV,则相应的场致发射陈列的场增强因子大于1 400。

关键词：碳纳米管化学气相沉积法场致发射加速器

电感耦合等离子体刻蚀InSb芯片工艺的研究

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红外技术 2009年第8期31卷 467-470页

作者：朱炳金张国栋张向锋中国空空导弹研究院光电器件研究所河南洛阳471009

随着InSb红外焦平面阵列探测器的发展,焦平面阵列规模不断增大,像元面积越来越小。湿法刻蚀因为其各向同性刻蚀的特点,导致像元的钻蚀严重,已经难以满足大规格InSb焦平面器件的要求。采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀大规格InSb阵列芯片,... 详细信息

随着InSb红外焦平面阵列探测器的发展,焦平面阵列规模不断增大,像元面积越来越小。湿法刻蚀因为其各向同性刻蚀的特点,导致像元的钻蚀严重,已经难以满足大规格InSb焦平面器件的要求。采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀大规格InSb阵列芯片,研究不同腔体压力对刻蚀速率、表面形貌的影响及InSb表面残留聚合物的去除方法。

关键词： InSb焦平面阵列各向同性表面形貌电感耦合等离子体(ICP)

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碳纳米管场致发射中的空间电荷效应

发光学报 2008年第3期29卷 567-572页

作者：张强陈泽祥朱炳金王小菊于涛电子科技大学光电信息学院四川成都610054

采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法成功制备以碳纳米管束为单元的场致发射阵列,获得很好的场致发射电流发射特性,在电流密度较大时,发现I-V特性偏离由Fowler-Nordheim公式计算出的结果。采用Electron Beam Simulation(EBS)软件... 详细信息

采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法成功制备以碳纳米管束为单元的场致发射阵列,获得很好的场致发射电流发射特性,在电流密度较大时,发现I-V特性偏离由Fowler-Nordheim公式计算出的结果。采用Electron Beam Simulation(EBS)软件进行模拟分析发现:在电流密度较低时,I-V特性能很好与F-N公式吻合。但碳纳米管尖端电流密度大于106A/cm2时,碳纳米管尖端处的有效电场强度受空间电荷的影响比较明显,进而对碳纳米管的场致发射特性显现出不可忽略的影响,此时碳纳米管的发射电流密度开始受到空间电荷的限制。

关键词：空间电荷效应碳纳米管场致发射微波等离子体化学气相沉积

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六硼化镧薄膜场致发射的特性

发光学报 2008年第3期29卷 561-566页

作者：朱炳金陈泽祥张强王小菊于涛电子科技大学光电信息学院四川成都610054

阵列薄膜是在制备好的尖锥阵列上沉积其他材料的薄膜,以提高场发射阴极性能,它是一种有效的提高场发射阴极性能的方法。在n型硅片上先后采用氧化、光刻、干法刻蚀、氧化削尖等工艺,制备出曲率半径很小的硅尖锥场发射阵列,硅阵列中每个... 详细信息

阵列薄膜是在制备好的尖锥阵列上沉积其他材料的薄膜,以提高场发射阴极性能,它是一种有效的提高场发射阴极性能的方法。在n型硅片上先后采用氧化、光刻、干法刻蚀、氧化削尖等工艺,制备出曲率半径很小的硅尖锥场发射阵列,硅阵列中每个硅尖锥的底半径约2μm,锥高约1.04μm,每个硅尖之间间隔6μm,尖端的曲率半径约50nm,锥角约56°,尖锥阵列的密度约106/cm2。为了降低硅尖锥的功函数及提高抗离子轰击能力,通过电子束蒸发在硅尖阵列上沉积六硼化镧(LaB6)薄膜,薄膜的厚度大约50nm,锥尖曲率半径变为约111nm。X射线衍射(XRD)分析结果表明,电子束沉积在硅尖端的LaB6具有良好的结晶特性。硅尖锥及不同的真空度下阵列薄膜的场致发射I-V特性及电流发射稳定性的测试结果表明:沉积LaB6的薄膜阴极阵列的总发射电流达到125μA,是纯硅尖锥阵列125倍。并且硅阵列六硼化镧薄膜具有良好的场发射稳定性,是一种理想的薄膜场发射阵列。

关键词：六硼化镧硅尖锥阵列电子束蒸发场致发射阵列薄膜

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小学语文教学中“晨诵”的有效实施

小学语文教学中“晨诵”的有效实施

普通高中多样化发展研讨会暨第十期行知纵横教研论坛研讨会

作者：朱炳金山东省泰安市宁阳县磁窑镇兴隆小学

当前,各地中小学都将晨诵列为教学重点之一,并积极展开相关活动,各学校发挥自身优势,不断丰富创新晨诵内容及形式,让晨诵变得更有趣味性。但在晨诵逐渐系统化的过程中,也显露出了一些问题,这些问题应该如何得到解决,从而能够发挥晨诵的...

当前,各地中小学都将晨诵列为教学重点之一,并积极展开相关活动,各学校发挥自身优势,不断丰富创新晨诵内容及形式,让晨诵变得更有趣味性。但在晨诵逐渐系统化的过程中,也显露出了一些问题,这些问题应该如何得到解决,从而能够发挥晨诵的最大价值,这是需要每位教育工作者需要思考的。

关键词：

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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LaB_6薄膜的制备工艺研究

真空 2008年第1期45卷 37-40页

作者：朱炳金陈泽祥张强电子科技大学光电信息学院

分别用电子束蒸发和电泳的方法在不同的衬底上制备出了LaB6薄膜,用扫描电镜(SEM)对样品表面形貌进行了分析,同时利用x射线衍射(XRD)分析了成膜参数衬底温度以及退火处理对LaB6薄膜结晶性能的影响。结果表明,所得样品为LaB6多晶薄膜,合... 详细信息

分别用电子束蒸发和电泳的方法在不同的衬底上制备出了LaB6薄膜,用扫描电镜(SEM)对样品表面形貌进行了分析,同时利用x射线衍射(XRD)分析了成膜参数衬底温度以及退火处理对LaB6薄膜结晶性能的影响。结果表明,所得样品为LaB6多晶薄膜,合适的衬底温度和退火处理能够提高LaB6薄膜的结晶质量。并对两种成膜方式进行了比较。

关键词：电子束蒸发电泳 LaB6薄膜多晶 XRD

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查庄煤矿选煤厂技术改造方案

山东煤炭科技 2003年第5期21卷 11-12页

作者：杨华朱炳金肥城矿业集团公司查庄煤矿

该文主要围绕对现有停产洗煤厂如何恢复生产及技术改造进行探讨 ,重点是如何降低入洗下限 ,增加入洗量和对煤泥水处理系统工艺进行改造 ,对选煤厂恢复运行前后的经济效益进行对比 ,论证其可行性。

关键词：选煤技术改造恢复运行投资估算