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等离子体刻蚀建模中的电子碰撞截面数据

物理学报 2024年第9期73卷 1-25页

作者：陈锦峰朱林繁中国科学技术大学近代物理系合肥230026

半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工... 详细信息

半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工艺因此面临巨大的挑战.基于低温等离子体处理技术的干法刻蚀工艺是高精细电路图案刻蚀的首选方案,借助等离子体仿真模拟,人们已经能够在很大程度上缩小实验探索的范围,在海量的参数中找到最优工艺条件.电子碰撞截面是等离子体刻蚀模型的关键输入参数,深刻影响着模型预测结果的可靠性.本文主要介绍了低温等离子体建模的基本理论,重点强调电子碰撞截面数据在数值模拟中的重要作用.与此同时,本文概述了获取刻蚀气体截面数据的理论与实验方法.最后总结了刻蚀相关原子分子的电子碰撞截面研究现状,并展望了未来的研究前景.

关键词：电子碰撞截面干法刻蚀低温等离子体等离子体建模

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自然权利、福利权与公共自主性：一个调和性的观点

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社会科学研究 2024年第5期 160-168页

作者：朱佳峰中山大学政治与公共事务管理学院

自然权利在现代政治哲学的脉络中有堪称显赫的历史，但它还有未来么？20世纪政治哲学的两大巨擘——罗尔斯和诺齐克——对此给出了截然相反的回答：前者完全抛弃自然权利，而后者将之作为“最小国家”的理论起点。谭安奎的《自然权利的... 详细信息

自然权利在现代政治哲学的脉络中有堪称显赫的历史，但它还有未来么？20世纪政治哲学的两大巨擘——罗尔斯和诺齐克——对此给出了截然相反的回答：前者完全抛弃自然权利，而后者将之作为“最小国家”的理论起点。谭安奎的《自然权利的遗产：福利权问题与现代政治秩序》无疑响应了罗尔斯的“抛弃论”；他从福利权问题入手，穿针引线，最终提出了“洛克式自然权利消解公共自主性”这一重要批评。本文的立场既不同于罗尔斯和谭安奎，也不同于洛克和诺齐克。通过细致考察对洛克式自然权利的两种理解，本文认为完备性自然权利固然会消解公共自主性，但在资源相对稀缺的境况下，我们只能辩护一种非完备性自然权利，而它与公共自主性以及福利权可被融贯地置于一个功能主义的国家理论之中。

关键词：自然权利公共自主性福利权社会基本结构罗尔斯

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共建低空智联产业科创中心

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深圳商报

作者：肖欣静曹健夫

【深圳商报讯】（记者肖欣静通讯员曹健夫）7月12日上午，龙华区人民政府与南京航空航天大学举行合作签约仪式。双方将共建“深圳-南航低空智联产业科技创新中心”，依托龙华区在经济、产业、政策等方面的优质区域资源，充分发挥南... 详细信息

【深圳商报讯】（记者肖欣静通讯员曹健夫）7月12日上午，龙华区人民政府与南京航空航天大学举行合作签约仪式。双方将共建“深圳-南航低空智联产业科技创新中心”，依托龙华区在经济、产业、政策等方面的优质区域资源，充分发挥南京航空航天大学在科技创新、人才团队、国际......

关键词：低空经济航空航天龙华区科技创新中心无人机

来源： cnki报纸评论

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石墨烯表面气体扩散系数的原子模型

中国科学：物理学、力学、天文学 2024年第2期54卷 80-89页

作者：周润峰孙成珍白博峰西安交通大学动力工程多相流国家重点实验室西安710049

石墨烯表面的气体扩散是诸多应用中的关键过程,其机制不同于一般固体表面气体扩散,反而类似分子碰撞控制的体相扩散,但对应的表面扩散系数因吸附效应低于体相理论预估.本文针对石墨烯表面气体扩散系数开展了理论和分子动力学模拟研究,基... 详细信息

石墨烯表面的气体扩散是诸多应用中的关键过程,其机制不同于一般固体表面气体扩散,反而类似分子碰撞控制的体相扩散,但对应的表面扩散系数因吸附效应低于体相理论预估.本文针对石墨烯表面气体扩散系数开展了理论和分子动力学模拟研究,基于Chapman-Enskog方程提出了一种仅依赖原子势能参数的表面气体扩散系数预测模型,弥补了该领域的缺失.首先,通过分子动力学模拟研究了不同压力、流固作用下的石墨烯表面气体扩散系数,证明了表面吸附引起的表面数密度增加是导致现有理论预估出现偏差的原因;然后,直接从原子势能参数导出气体空间密度分布,解决了石墨烯表面数密度准确估计的问题并拓展Chapman-Enskog方程建立了石墨烯表面气体扩散系数的理论预测模型;最后,对理论模型的准确性加以验证,理论模型预测值和本文模拟结果的相对误差小于10%;同时,该模型也能很好预测文献中石墨烯表面实际气体的扩散系数,进一步证明了其有效性和实用性.

关键词：扩散系数石墨烯表面吸附 Chapman-Enskog方程

安装接线盒对轻隔间墙体系统耐火极限影响研究

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建筑科学 2024年第1期40卷 59-65页

作者：王一诺张丽丽刘庆刘海静曹健北京工业职业技术学院北京100042 中国建筑科学研究院有限公司建筑安全与环境国家重点实验室北京100013 北京金隅节能保温科技(大厂)有限公司河北三河065300

本文以轻隔间墙体系统为研究对象,梳理现行规范与实际使用场景的差异,指出目前墙体耐火极限检测均以完整墙体作为试样来进行试验,但实际建筑中的墙体大多需安装插座接线盒等装置,对原本完整的墙体造成一定程度的破坏。本研究对安装接线... 详细信息

本文以轻隔间墙体系统为研究对象,梳理现行规范与实际使用场景的差异,指出目前墙体耐火极限检测均以完整墙体作为试样来进行试验,但实际建筑中的墙体大多需安装插座接线盒等装置,对原本完整的墙体造成一定程度的破坏。本研究对安装接线盒的轻隔间墙体系统进行建筑构件耐火极限试验,研究表明:背火面安装接线盒对于墙体耐火性能影响较大,耐火极限为90min的墙体在距顶部500mm处安装PVC接线盒后,耐火极限为73min,减少17min;受火面安装接线盒对于墙体的耐火极限影响相对较小;接线盒安装位置距地面越高,在火场作用下温度上升越快,越容易发生破坏,从而影响墙体的耐火极限;PVC材质接线盒比不锈钢材质接线盒更容易熔化破坏,对墙体构造产生影响,降低墙体的耐火极限。研究成果系统性的展示了接线盒安装在墙体后对其耐火极限的影响,为相关研究的拓展及补强措施的研究提供参考。

关键词：轻隔间墙体接线盒耐火极限

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建筑施工企业强化财务会计管理的实践之思

工程抗震与加固改造 2024年第3期46卷 I0004-I0004页

作者：曹健山西铁道职业技术学院

近年来,随着社会经济的不断发展,建筑行业也随之发生了翻天覆地的变化。在建筑施工企业中,财务会计管理是企业经营管理的基础,在企业发展中发挥着举足轻重的作用。建筑施工企业要在激烈的市场竞争中占有一席之地,需重视财务会计管理存... 详细信息

近年来,随着社会经济的不断发展,建筑行业也随之发生了翻天覆地的变化。在建筑施工企业中,财务会计管理是企业经营管理的基础,在企业发展中发挥着举足轻重的作用。建筑施工企业要在激烈的市场竞争中占有一席之地,需重视财务会计管理存在的问题,根据问题对症下药,才能提高企业竞争力并获得良性发展。

关键词：财务会计管理建筑施工企业企业经营管理市场竞争对症下药提高企业竞争力建筑行业良性发展

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基于点线的视觉惯性导航系统初始化方法

中国惯性技术学报 2024年第5期32卷 463-467页

作者：吴建峰程向红微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室南京210096 东南大学仪器科学与工程学院南京210096

视觉惯性导航系统在初始化阶段解算出系统初始位姿、惯性测量单元(IMU)零偏以及单目尺度因子,能极大程度上保证系统收敛。为解决视觉惯性导航系统在点特征缺失环境下初始化效果差甚至失败的问题,提出了一种基于点线的视觉惯性导航系统... 详细信息

视觉惯性导航系统在初始化阶段解算出系统初始位姿、惯性测量单元(IMU)零偏以及单目尺度因子,能极大程度上保证系统收敛。为解决视觉惯性导航系统在点特征缺失环境下初始化效果差甚至失败的问题,提出了一种基于点线的视觉惯性导航系统初始化方法。首先,通过几何方法在滑动窗口内构造了一个基于点线的结构,该结构相比于点结构具有更丰富的先验信息;其次,使用从运动中恢复结构(Sf M)的方法,恢复点线结构的运动状态;最后,以松组合的形式对齐结构的运动状态以及IMU预积分结果,求解出IMU零偏、重力加速度、速度和尺度因子等初始量。实验结果表明:在点特征缺失的公共数据集上,相较于基于点特征的初始化方法,所提方法的均方根定位误差减少6%,初始误差显著降低,同时具有更好的建图结果。

关键词：视觉惯性导航系统线特征初始化

三点弯曲载荷下岩体偏置斜裂隙的应力强度因子

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金属矿山 2024年第2期 114-122页

作者：王超伍永平赵自豪曹健段会强杨盼盼内蒙古科技大学矿业与煤炭学院内蒙古包头014010 内蒙古自治区矿业工程重点实验室内蒙古包头014010 内蒙古自治区煤炭安全开采与利用工程技术研究中心内蒙古包头014010 内蒙古煤炭绿色开采与绿色利用协同创新中心内蒙古包头014010 西安科技大学能源学院陕西西安710054

地下巷道(硐室)顶板常因弯曲离层而破断,其破断位置与裂隙几何形态和位置密切关联。为揭示裂隙对岩层断裂的影响,建立了岩体偏置斜裂隙的三点弯曲模型,定义了裂隙的偏置系数和贯通率,分析了裂隙偏置系数、倾角和贯通率三者之间的关系,... 详细信息

地下巷道(硐室)顶板常因弯曲离层而破断,其破断位置与裂隙几何形态和位置密切关联。为揭示裂隙对岩层断裂的影响,建立了岩体偏置斜裂隙的三点弯曲模型,定义了裂隙的偏置系数和贯通率,分析了裂隙偏置系数、倾角和贯通率三者之间的关系,基于力学平衡原理和σ-K关系导出了偏置斜裂隙与偏置竖裂隙应力强度因子K的关系式。同时分析了裂隙倾角、贯通率和偏置系数对应力强度因子的影响规律。该方法可为裂隙影响下巷道(硐室)顶板的张拉断裂提供判定依据。

关键词：三点弯曲应力强度因子岩体偏置斜裂隙贯通率

激光角反射器:从月球激光测距到天体探测基础设施

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宇航学报 2024年第5期45卷 661-679页

作者：严一粟郭继峰哈尔滨工业大学航天学院哈尔滨150001

激光测距已成为太阳系内检验等效原理与洛仑兹破缺、测定后牛顿参数与引力常数时变等引力与相对论物理学研究的强大工具。为此,对激光角反射器在自然天体探测中的应用与发展进行了概述与分析。简单陈述激光角反射器的历史沿革后,首先介... 详细信息

激光测距已成为太阳系内检验等效原理与洛仑兹破缺、测定后牛顿参数与引力常数时变等引力与相对论物理学研究的强大工具。为此,对激光角反射器在自然天体探测中的应用与发展进行了概述与分析。简单陈述激光角反射器的历史沿革后,首先介绍了数个有待或正在实施的包含激光角反射器部署的天体探测计划。其次,基于激光角反射器与激光测距资料的已有工程经验,描述了激光角反射器在天体探测中承担的科学任务与关键技术问题。最后,以本世纪新一代激光角反射器与收发光源革新为背景,预测了激光角反射器及其激光测距的发展趋势,并针对无人与载人月球探测,对激光角反射器在新阶段天体探测中的使用提出建议。

关键词：激光角反射器月球激光测距引力与相对论物理学天体物理学天体探测