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具有低噪声及高线性度的高性能MOCVD-SiN_(x)/AlN/GaN毫米波MIS-HEMTs

红外与毫米波学报 2024年第2期43卷 200-206页

作者：袁静景冠军王建超汪柳高润华张一川姚毅旭魏珂李艳奎陈晓娟中国科学院微电子研究所高频高压器件与集成研发中心北京100029 中国科学院大学北京100029

文章在超薄势垒AlN/GaN异质结构上采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)原位生长SiN_(x)栅介质,成功制备了高性能的SiN_(x)/AlN/GaN金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管(MIS-HEMTs)。深能级瞬态谱(DLTS)技术测试SiN_(x)/AlN的界面信息,显... 详细信息

文章在超薄势垒AlN/GaN异质结构上采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)原位生长SiN_(x)栅介质,成功制备了高性能的SiN_(x)/AlN/GaN金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管(MIS-HEMTs)。深能级瞬态谱(DLTS)技术测试SiN_(x)/AlN的界面信息,显示其缺陷能级深度为0.236 eV,俘获截面为3.06×10^(-19)cm^(-2),提取的界面态密度为10^(10)~10^(12)cm^(-2)eV^(-1),表明MOCVD原位生长的SiN_(x)可以有效降低界面态。同时器件表现出优越的直流、小信号和噪声性能。栅长为0.15μm的器件在2 V的栅极电压(Vgs)下具有2.2 A/mm的最大饱和输出电流,峰值跨导为506 mS/mm,最大电流截止频率(fT)和最大功率截止频率(fMAX)分别达到了65 GHz和123 GHz,40 GHz下的最小噪声系数(NFmin)为1.07 dB,增益为9.93 dB。Vds=6 V时对器件进行双音测试,器件的三阶交调输出功率(OIP3)为32.6 dBm,OIP3/Pdc达到11.2 dB。得益于高质量的SiN_(x)/AlN界面,SiN_(x)/AlN/GaN MISHEMT显示出了卓越的低噪声及高线性度,在毫米波领域具有一定的应用潜力。

关键词： SiN_(x)栅介质 MOCVD MIS-HEMTs 界面态低噪声线性度毫米波

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绛县突出特色推动三次产业齐发展 001

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作者：景冠军

本报讯　为构建现代产业体系、抢占经济发展的制高点,今年年初以来,绛县积极采取措施,不断提升三次产业的竞争力,取得了明显成效。截至目前,该县完成全社会固定资产投资5.4亿元,同比增长165.8%；完成社会消费品零售总额5.74亿元,同比增...

本报讯　为构建现代产业体系、抢占经济发展的制高点,今年年初以来,绛县积极采取措施,不断提升三次产业的竞争力,取得了明显成效。截至目前,该县完成全社会固定资产投资5.4亿元,同比增长165.8%；完成社会消费品零售总额5.74亿元,同比增长36.9%；城镇居民人均可支配收入6023元,?

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绛县“4+2”思路推进文化强县建设 002

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作者：郭雷生景冠军

本报讯 (特约通讯员郭雷生通讯员景冠军) 去年年初以来，绛县紧紧围绕“转动文化事业、文化产业两个轮子”的工作思路，大力推进文化强县建设，使该县呈现文化事业繁荣兴旺、文化产业蓬勃发展的景象。 2008年，该县启动了投资500万元...

本报讯 (特约通讯员郭雷生通讯员景冠军) 去年年初以来，绛县紧紧围绕“转动文化事业、文化产业两个轮子”的工作思路，大力推进文化强县建设，使该县呈现文化事业繁荣兴旺、文化产业蓬勃发展的景象。 2008年，该县启动了投资500万元的文化馆、灯光体育场改造工程，

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绛县大力开展文明和谐创建活动 002

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作者：郭雷生景冠军

本报讯 (特约通讯员郭雷生通讯员景冠军) 为在全县形成共创文明、共促和谐的良好局面，近期以来，绛县开展了以“突出和谐理念、培育和谐精神、倡导和谐风尚”为主要内容的文明和谐创建活动。活动中，该县在机关单位大力倡导“爱国...

本报讯 (特约通讯员郭雷生通讯员景冠军) 为在全县形成共创文明、共促和谐的良好局面，近期以来，绛县开展了以“突出和谐理念、培育和谐精神、倡导和谐风尚”为主要内容的文明和谐创建活动。活动中，该县在机关单位大力倡导“爱国守法、明礼诚信、团结友善、勤俭

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火红樱桃带来红火日子 001

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运城日报

作者：郭雷生景冠军

市长王安庞今年夏天到绛县南樊镇史村调研时，对该村大樱桃产业的发展予以肯定。他说，一个村有一个好的带头人、一个好的领导班子、一个支柱产业，就能走上富裕之路，农业产业结构调整就能取得实效。史村有1860口人，耕地面积3800亩...

市长王安庞今年夏天到绛县南樊镇史村调研时，对该村大樱桃产业的发展予以肯定。他说，一个村有一个好的带头人、一个好的领导班子、一个支柱产业，就能走上富裕之路，农业产业结构调整就能取得实效。史村有1860口人，耕地面积3800亩。改革开放之初.该村的经济比较落

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绛县构建交通网络推动经济发展 008

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山西经济日报

作者：郭雷生景冠军

本报讯 “高速公路环绕、一级公路贯穿、县乡公路升级、村通公路到户的交通格局即将形成……”前不久，绛县县长梁潞阳在闻(喜)垣(曲)高速公路绛县连接线现场会上向人们描绘的这幅该县交通蓝图即将变为现实。近年来，特别是2003年以来...

本报讯 “高速公路环绕、一级公路贯穿、县乡公路升级、村通公路到户的交通格局即将形成……”前不久，绛县县长梁潞阳在闻(喜)垣(曲)高速公路绛县连接线现场会上向人们描绘的这幅该县交通蓝图即将变为现实。近年来，特别是2003年以来，为了改善交通落后的状况，在县

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绛县129个合作社带动1500余农户致富 001

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运城日报

作者：郭雷生景冠军

本报讯(特邀通讯员　郭雷生　通讯员　景冠军)截至目前,绛县成立农民专业合作社129个。其中,从事养殖业的有59个、从事种植业的有50个、从事加工业的有4个、从事服务业的有16个。这些专业合作社拥有社员832人,农民社员出资总额达8329.4...

本报讯(特邀通讯员　郭雷生　通讯员　景冠军)截至目前,绛县成立农民专业合作社129个。其中,从事养殖业的有59个、从事种植业的有50个、从事加工业的有4个、从事服务业的有16个。这些专业合作社拥有社员832人,农民社员出资总额达8329.4万元,辐射带动1500余农户致富。

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绛县“双轮驱动”经济发展态势良好 001

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运城日报

作者：郭雷生景冠军

本报讯(特约通讯员　郭雷生　通讯员　景冠军)近日,笔者从绛县统计局了解到,今年1月—7月,该县累计完成全社会固定资产投资3.1亿元,同比增长50.6%；实现社会消费品零售额5.9亿元,同比增长39.5%。投资的有力支撑和消费的强力拉动,使绛县...

本报讯(特约通讯员　郭雷生　通讯员　景冠军)近日,笔者从绛县统计局了解到,今年1月—7月,该县累计完成全社会固定资产投资3.1亿元,同比增长50.6%；实现社会消费品零售额5.9亿元,同比增长39.5%。投资的有力支撑和消费的强力拉动,使绛县经济呈现良好的发展态势。　　　　在绛?

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构筑兴绛富民“快车道” 002

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运城日报

作者：郭雷生景冠军

“中条山下大道连南北谱写古绛开放，涑水河畔长虹贯东西铸就县域发展。”这副对联，描述的是绛县近年来道路交通建设发展的概况。近年来，为改善交通落后状况，绛县县委、县政府带领全县人民掀起了公路建设的高潮，先后完成了省道沁...

“中条山下大道连南北谱写古绛开放，涑水河畔长虹贯东西铸就县域发展。”这副对联，描述的是绛县近年来道路交通建设发展的概况。近年来，为改善交通落后状况，绛县县委、县政府带领全县人民掀起了公路建设的高潮，先后完成了省道沁东线垣址坪至二里半段、横水至东?

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荡起创新进取的春风 002

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运城日报

作者：郭雷生景冠军

“吃完晚饭,上咱村的文化活动中心溜一会儿,和老伙计们聊聊天,日子过得就是舒服。”5月19日傍晚,绛县郝庄乡中董村休闲广场上一老农说。该村休闲广场上,有的青年人在玩篮球、有的老年人在健身,一派悠闲和谐的景象。　　　　随着学习实...

“吃完晚饭,上咱村的文化活动中心溜一会儿,和老伙计们聊聊天,日子过得就是舒服。”5月19日傍晚,绛县郝庄乡中董村休闲广场上一老农说。该村休闲广场上,有的青年人在玩篮球、有的老年人在健身,一派悠闲和谐的景象。　　　　随着学习实践科学发展观活动的深入开展,绛县荡起开?

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