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氮化硅在集成电路铜互连中的应用研究和改善

氮化硅在集成电路铜互连中的应用研究和改善

作者：方俊峰复旦大学

学位级别：硕士

集成电路遵循摩尔定律飞速发展,器件的特征尺寸越来越小,集成度越来越高,后段金属互连对芯片工作的速度、功耗等影响也越来越大。在集成电路工艺走向0.13um开始,在后端金属互连中,由于铜的低电阻率、抗电迁移能力强等特点,取代了铝金属... 详细信息

集成电路遵循摩尔定律飞速发展,器件的特征尺寸越来越小,集成度越来越高,后段金属互连对芯片工作的速度、功耗等影响也越来越大。在集成电路工艺走向0.13um开始,在后端金属互连中,由于铜的低电阻率、抗电迁移能力强等特点,取代了铝金属;同时,双镶嵌(dual damascene)工艺的采用,解决了铜难以形成挥发性化合物的缺点,使得铜互连技术得到了飞速发展。新的工艺技术也带来了新的问题。作为铜扩散阻挡层的氮化硅,在金属互连中采用PECVD (Plasma Enhance Chemical Vapor Deposition)的方法沉积在铜CMP (Chemical Mechanical Polishing)之后的晶圆表面。在实际的应用中,氮化硅沉积工艺经常造成金属互连线之间的绝缘问题,即在WAT(Wafer Acceptable Test)测试中,出现金属线间的VBD (Voltage Breakdown)失效。本论文通过基于等离子体化学气相沉积的原理,结合实际应用中的情况,对氮化硅沉积工艺中铜的去氧化处理和沉积两方面进行研究,找到了导致VBD失效的主要原因,并通过优化去氧化步骤和改善对硅烷气体流量的控制,得到最佳的氮化硅沉积程式。另外,MIM (Metal Insulator Metal)电容凭借其低寄生电容,低接触电阻的优点,取代了传统的PIP (Poly Insulator Poly)和MIS (Metal Insulator Silicon)电容,成为射频电路和混合/模拟电路的首选工艺。随着IC集成度提升的要求,电容密度也相应提升,氮化硅(Silicon Nitride)以其较高的介电常数和工艺兼容性等优点,取代二氧化硅(Silicon Oxide),成为MIM电容的介质层材料。但是在实际的应用中,经常发生MIM电容的击穿失效问题。通过研究MIM电容失效的可能原因,设计了相应的氮化硅沉积和铜金属晶丘改善实验,找到了导致MIM电容失效的原因。通过改良氮化硅作为MIM电容绝缘层的沉积工艺,并在研究中引入相关的TDDB (Time Dependent Dielectric Breakdown)可靠性测试,加强对氮化硅的质量把控,验证了新的氮化硅沉积工艺的实用性,在产品中的应用得到了成功。

关键词：镶嵌工艺等离子体化学气相沉积氮化硅阻挡层 MIM 电容 VBD TDDB

基于AutoCAD的十堰市地下管线信息系统设计与开发

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基于AutoCAD的十堰市地下管线信息系统设计与开发

作者：方俊峰江西理工大学

学位级别：硕士

城市地下管线是城市的“生命线”，对城市的经济发展起着非常重要的作用，管理和维护好这些管线是一项非常复杂的工作。现阶段很多城市建立的城市地下管线信息系统对地下管线进行了有效地管理，而十堰市的城市地下管线的信息化管理还处... 详细信息

城市地下管线是城市的“生命线”，对城市的经济发展起着非常重要的作用，管理和维护好这些管线是一项非常复杂的工作。现阶段很多城市建立的城市地下管线信息系统对地下管线进行了有效地管理，而十堰市的城市地下管线的信息化管理还处于初级发展阶段，为此作者基于AutoCAD平台设计开发了十堰市地下管线信息系统。论文首先介绍了现阶段城市地下管线的管理现状及存在的主要问题;其次对十堰市地下管线信息系统进行了需求分析，包括系统设计开发的可行性分析、系统功能需求分析、系统性能需求分析;然后对十堰市地下管线信息系统进行了总体结构设计和功能模块设计;另外对系统进行了数据库设计，并建立了空间数据和属性数据一体化的十堰市地下管线数据库;最后基于AutoCAD平台，采用C#语言，借助CAD二次开发组件和.NET组件开发实现了系统。系统在十堰市茅箭区进行了试用，试用结果表明该系统不仅实现了基本图形打印输出、管线图形操作编辑等功能，而且还实现了适合十堰市地下管线自身特点的管线辅助设计、管线信息查询、管线横断面分析、管线数据导入、自动生成Excel、DWG成果表等功能。因此十堰市地下管线信息系统不仅能为管线管理相关部门提供良好的服务，而且能为城市规划设计、管线施工等提供辅助决策依据，具有一定的实用价值。

关键词： AutoCAD C# 地下管线信息系统十堰市

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生物陶粒处理深圳水库水的试验研究

环境科学 1998年第6期19卷 60-62页

作者：黄晓东曹天洪谭为民吴为中方俊峰王占生清华大学环境科学与工程系深圳莲塘供水公司太原工业大学环境工程系

利用生物陶粒对深圳水库水进行了生物预处理现场试验研究．试验结果表明，生物陶粒能有效地降低水中的ＮＯ２－Ｎ、ＮＨ３－Ｎ、ＯＣ、浊度、色度、Ｍｎ和藻类，在工作滤速为４ｍ／ｈ，气水比为１∶１的条件下平均去除率分别为９０．８... 详细信息

利用生物陶粒对深圳水库水进行了生物预处理现场试验研究．试验结果表明，生物陶粒能有效地降低水中的ＮＯ２－Ｎ、ＮＨ３－Ｎ、ＯＣ、浊度、色度、Ｍｎ和藻类，在工作滤速为４ｍ／ｈ，气水比为１∶１的条件下平均去除率分别为９０．８％、８４％、２１．４％、６２％、４７％、８９％和６８％。

关键词：生物预处理生物陶粒水源水库污染处理

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生活饮用水二次供水设施清洗消毒技术探讨

中国农村水利水电 2004年第1期 11-12页

作者：赵彬斌赖举伟方俊峰广东省深圳市水务局广东深圳518001

详细介绍二次供水设施清洗消毒操作流程 ,总结二次供水设施清洗的技术要点及各种消毒方式和相应的消毒操作要点 ,指出目前二次供水设施清洗消毒过程中存在的问题并提出相应的改进措施。同时对加强二次供水设施管理进行了探讨。

关键词：生活饮用水二次供水清洗消毒

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圆形堆取料机在水泥生产中的应用

四川水泥 2002年第2期 27-28页

作者：方俊峰黑龙江牡丹江水泥集团 157041

0 引言生料均化成为改善水泥产品质量稳定性的重要方法.牡丹江水泥集团股份有限责任公司先后采用条形均化库和圆形均化库对主要原料石灰石进行均化,起到了稳定原料质量的效果.条形均化库和圆形均化库在取料形式上较接近,在布料形式上则... 详细信息

0 引言生料均化成为改善水泥产品质量稳定性的重要方法.牡丹江水泥集团股份有限责任公司先后采用条形均化库和圆形均化库对主要原料石灰石进行均化,起到了稳定原料质量的效果.条形均化库和圆形均化库在取料形式上较接近,在布料形式上则各有千秋,圆形均化库的混匀堆取料机采用了PLC(可编程逻辑控制器)控制技术,使整个堆取料机系统的稳定性和可靠性大大增强,减少了日常的维护工作量,同时,实现了机上无人的远距离控制.本文就圆形均化库的堆取料机作一些介绍.

关键词：圆形堆取料机水泥生产稳定性可靠性生料均化

小面积地形图控制点重新定位方法研究——以南康市龙华乡为例

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软件导刊 2011年第10期10卷 133-135页

作者：方俊峰江西理工大学建筑与测绘工程学院江西赣州341000

以南康市龙华乡集贸商住小区修建性详细规划项目为例,研究一种控制点重新定位的方法。实验以精度较高的参照点为依据,将假定坐标系交会出的参照点转换到原坐标系,从而实现了控制点的重新定位。同时,主要通过该项目的实际情况,结合测角... 详细信息

以南康市龙华乡集贸商住小区修建性详细规划项目为例,研究一种控制点重新定位的方法。实验以精度较高的参照点为依据,将假定坐标系交会出的参照点转换到原坐标系,从而实现了控制点的重新定位。同时,主要通过该项目的实际情况,结合测角前方交会观测的角度,然后由新的控制点坐标计算出的参照点坐标与原始参照点坐标进行比较、分析,证明了该方法是切实可行的。

关键词：控制点前方交会角度参照点

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浅谈定量给料机

应用能源技术 2002年第1期 12-13页

作者：方俊峰牡丹江新材料股份有限责任公司计控处

通过对牡丹江新材料股份有限责任公司新建1＃窖生料系统选用的定量给料机系统进行综合论述,阐述一般定量给料机系统的工作原理。

关键词：计量原理给料控制水泥生产定量给料机输入输出计量技术应用

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CAI课件素材的获取与处理技巧

安庆师范学院学报（自然科学版） 2003年第4期9卷 96-97页

作者：方俊峰安庆市电教馆安徽安庆246011

根据素材文件格式的不同,课件素材大致有文本(Text)、图像(Image)、声音(Sound)、视频(Video)、动画(Movie)等几种形式,课件制作中素材的获取途径与处理要运用多个软件、多种形式。

关键词： CAI 课件素材多媒体课件计算机辅助教学

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降雨及径流对西丽水库水质的影响

中国农村水利水电 2006年第2期 38-40页

作者：宗栋良方俊峰王依林深圳市水务局水质检测中心广东深圳518036

通过对西丽水库降雨前、中、后水质以及雨水和地表径流的监测，研究降雨和径流对西丽水库水质的影响。结果表明，雨水和地表径流中均含有严重超标污染物；降雨时，水库各项污染指标全面上升，总体水质从Ⅱ～Ⅲ类恶化至Ⅳ～Ⅴ类，增加幅... 详细信息

通过对西丽水库降雨前、中、后水质以及雨水和地表径流的监测，研究降雨和径流对西丽水库水质的影响。结果表明，雨水和地表径流中均含有严重超标污染物；降雨时，水库各项污染指标全面上升，总体水质从Ⅱ～Ⅲ类恶化至Ⅳ～Ⅴ类，增加幅度最大的污染指标是总氮、含铁量和浊度；雨后0．5h，水库水体出现一定程度的自净作用，但含铁量在整个水库继续增加，其他部分指标在不同区域也在继续上升。

关键词：降雨径流水库水质