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位错型微机械可变光衰减器的研究

光学学报 2005年第5期25卷 717-718页

作者：谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍了一种基于微机械技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。基于波导传输理论分析确定了器件的结构参量,并通过集成电路微细加工工艺实现了器件的制作和封装。测试结果表明,该可变... 详细信息

介绍了一种基于微机械技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。基于波导传输理论分析确定了器件的结构参量,并通过集成电路微细加工工艺实现了器件的制作和封装。测试结果表明,该可变光衰减器的插入损耗小于1dB,动态范围约35dB,工作电压小于5V,偏振相关损耗小于0.1dB,体积为20mm×15mm×8mm,有望为全光网提供一种低成本,高性能的光通信器件。

关键词：光学器件全光网可变光衰减器微机械电磁驱动

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微型电磁式振动能量采集器的研究进展

振动与冲击 2007年第9期26卷 94-98,111页

作者：王佩红戴旭涵赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 安徽大学物理与材料科学学院

随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国... 详细信息

随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国内外各研究小组研制的电磁式振动能量采集器的几何模型、结构参数、输出结果和技术特点,最后简单分析电磁式振动能量采集器面临的困难、挑战和发展趋势。

关键词：微机电系统振动能量采集器电磁式

锆钛酸铅压电陶瓷PZT7的形状记忆效应研究

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功能材料 2009年第7期40卷 1108-1111页

作者：王佩红章文田中克彦戴旭涵赵小林安徽大学物理与材料科学学院安徽合肥230039 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200240 立命馆大学综合理工学研究机构草津日本525-8577

提出了一种新的方法可以使锆钛酸铅压电陶瓷PZT7具有形状记忆效应。用自制的Sawyer-Tower电路测试得到PZT7方形样品发生极化反转对应的电场强度大约为130kV/cm。当施加对称的饱和极化电压370V时,PZT7/Si(109/146μm)悬臂梁端部的变形-... 详细信息

提出了一种新的方法可以使锆钛酸铅压电陶瓷PZT7具有形状记忆效应。用自制的Sawyer-Tower电路测试得到PZT7方形样品发生极化反转对应的电场强度大约为130kV/cm。当施加对称的饱和极化电压370V时,PZT7/Si(109/146μm)悬臂梁端部的变形-电场曲线呈现典型的"蝴蝶"形状。在外电场为0时,悬臂梁端部的变形为0。如果施加不对称的极化电压,悬臂梁端部的变形——电场曲线发生明显的变化。不同的反向极化电压使悬臂梁端部产生不同的变形,而且,电压和变形是一一对应的。因此,在外电场为零时,PZT7/Si悬臂梁可以具有多个不同的稳定位置,表现出明显的形状记忆效应。实验表明,对于长度为15.5mm的PZT7/Si悬臂梁而言,当施加的反向极化电压从120V回到0时,悬臂梁端部产生的变形最大,为68.5μm。

关键词：压电陶瓷 PZT7 形状记忆效应悬臂梁极化电压

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闭锁电热微开关的制备及性能测试

功能材料与器件学报 2012年第5期18卷 345-349页

作者：张颖汪红毛胜平戴旭涵丁桂甫微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240

本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试。利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁。采用MEMS表面微加工技术完成所设计微开关器件的制备,并对其进行性能测试。结果表明,施加的脉冲电信号的最... 详细信息

本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试。利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁。采用MEMS表面微加工技术完成所设计微开关器件的制备,并对其进行性能测试。结果表明,施加的脉冲电信号的最佳占空比为10%,并测得电阻丝能承受的最大功耗为90mW,单臂梁的翘曲高度为58μm,所得结果能够满足设计的闭锁电热微开关的工作需要。将本次设计的微开关连接到外接电路中,并施加时序双脉冲电信号,测得了外接电路的导通信号。

关键词：电热驱动机械锁定 MEMS微加工工艺时序双脉冲电信号