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X射线散射法测量超光滑平面

强激光与粒子束 2011年第12期23卷 3218-3222页

作者：王永刚伏瑞敏孟晓辉徐领娣金钊北京空间机电研究所北京100076

介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的Harvey-Shack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显... 详细信息

介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的Harvey-Shack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显微镜测量结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,功率谱密度(PSD)函数的误差随频率的增加而减小。

关键词：超光滑平面 X射线散射法一级矢量微扰理论功率谱密度

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表面改性非球面碳化硅反射镜的加工

光学精密工程 2008年第12期16卷 2479-2484页

作者：张峰徐领娣范镝高劲松张学军中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033

为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si... 详细信息

为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si的改性方法。然后,采用氧化铈(CeO2)、氧化铝(Al2O3)以及二氧化硅(SiO2)等各种抛光液对离子束辅助沉积(IBAD)Si的碳化硅样片进行抛光实验。最后,在上述实验的基础上,采用计算机控制光学表面成型(CCOS)技术对尺寸为650mm×200mm的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工。实验结果表明:CeO2抛光液的抛光效率较高;使用SiO2抛光液抛光后的样片表面质量最好;表面改性离轴非球面碳化硅反射镜加工后的最终检测结果为:实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.6328μm),表面粗糙度为0.85nm(Rq值)。反射镜的加工结果满足设计技术指标的要求。

关键词：离轴非球面碳化硅反射镜计算机控制光学表面成型表面改性

微晶材质自由曲面反射镜精密超声铣磨加工技术

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光学精密工程 2019年第12期27卷 2564-2570页

作者：徐领娣房安利于建海张继友李昂北京空间机电研究所国防科技工业光学超精密加工技术创新中心(先进制造类)、中国航天科技集团有限公司光学部件制造工艺技术中心

自由曲面光学元件与球面和非球面光学元件相比能够提供更高的光学设计自由度,应用于成像光学系统有利于简化系统结构和改善系统质量,在新一代空间光学遥感领域具有广阔的应用前景。为了满足离轴反射式自由曲面空间光学遥感系统的快速、... 详细信息

自由曲面光学元件与球面和非球面光学元件相比能够提供更高的光学设计自由度,应用于成像光学系统有利于简化系统结构和改善系统质量,在新一代空间光学遥感领域具有广阔的应用前景。为了满足离轴反射式自由曲面空间光学遥感系统的快速、高精度研制需求,本文瞄准微晶材质、复杂连续曲面类自由曲面反射镜超声铣磨加工表面粗糙度和亚表面质量的提升目标,开展了主轴转速、切削深度、进给量等主要工艺参数的优化实验和研究,完成了300 mm口径自由曲面反射镜的建模分析和超声铣磨加工,最终铣磨加工表面的面形精度达8.89μm PV,亚表面损伤层深度低于18μm,实现了自由曲面光学反射镜的高精度、低损伤铣磨加工,能够有效降低后续研抛加工的材料去除总量,缩短整个加工周期。

关键词：光学加工自由曲面超声铣磨工艺参数优化表面粗糙度微晶

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固着磨料加工碳化硅反射镜的实验

光学精密工程 2009年第4期17卷 771-777页

作者：王旭张学军徐领娣裴舒刘建卓中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室中国科学院研究生院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量。在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5固着磨料丸片在特定转速... 详细信息

考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量。在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5固着磨料丸片在特定转速和压力下对碳化硅材料的去除特性。对多组去除量曲线的分析表明,此工艺不仅有着较高的去除率,而且稳定性良好。对表面粗糙度测量的结果表明,使用W7丸片即可获得粗糙度为42.758 nm rms的镜面。减小所用丸片的粒度,工件表面粗糙度随之减小,使用W1.5丸片抛光后,最终获得了粗糙度为1.591 nm rms的光滑镜面。实验结果表明,固着磨料加工碳化硅反射镜工艺在粗研、精研、粗抛等加工阶段内可以取代传统的散粒磨料加工工艺。

关键词：碳化硅反射镜固着磨料丸片去除率表面粗糙度

空间RB-SiC反射镜的表面离子辅助镀硅改性技术

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光学精密工程 2008年第12期16卷 2497-2502页

作者：徐领娣郑立功范镝张学军王加朋中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院研究生院北京100049

针对空间相机用反射镜RB-SiC材料由Si\SiC两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了表面离子辅助沉积(IAD)硅膜的改性新方案以优化RB-SiC光学表面反射率。对厚度为10±0.5μm的IAD-Si改性层的主要性能研究显示:IAD-Si膜层为非结晶结构,能... 详细信息

针对空间相机用反射镜RB-SiC材料由Si\SiC两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了表面离子辅助沉积(IAD)硅膜的改性新方案以优化RB-SiC光学表面反射率。对厚度为10±0.5μm的IAD-Si改性层的主要性能研究显示:IAD-Si膜层为非结晶结构,能够提供较好的抛光表面,在77～673K的热冲击下膜层稳定性良好。以Si膜的抛光机理为依据,对IAD-Si改性层进行了大量抛光工艺实验和表面质量测试,给出了关键的抛光工艺参数和实验结果。通过表面IAD-Si改性及本文提出的改性层超精加工技术能够在反射镜表面得到面形精度RMS值优于1/20λ(λ=632.8nm)且表面粗糙度RMS值<0.5nm的超光滑表面;与改性前相比,反射镜改性层抛光表面在360～1100nm波段的反射率提高了4.5%以上。

关键词：反应烧结碳化硅表面改性离子辅助沉积硅表面反射率

基于光子计数技术的超微弱星光模拟器校准技术

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西北工业大学学报 2018年第S1期36卷 117-122页

作者：王加朋孙红胜徐领娣张博翟思婷北京振兴计量测试研究所北京100074 北京空间机电研究所北京100076 火箭军驻三院159厂代表室北京100074

随着超微弱空间星光探测技术和星光导航技术的迅猛发展,应用于航天相机和星敏感器测试的超微弱星光的模拟器由最初的5等星发展到13等星,但是当前阶段我国仅建立了5等星以下的量值溯源链,更弱星等(大于6等星)的模拟器校准装置还处于空白... 详细信息

随着超微弱空间星光探测技术和星光导航技术的迅猛发展,应用于航天相机和星敏感器测试的超微弱星光的模拟器由最初的5等星发展到13等星,但是当前阶段我国仅建立了5等星以下的量值溯源链,更弱星等(大于6等星)的模拟器校准装置还处于空白阶段,这为我国空间探测相机/星敏感器的性能评定和量值溯源带来了极大的隐患,急需开展超微弱星光模拟器的校准技术研究。针对于此,提出了一套超微弱星光模拟器星光照度现场校准的方案,采用纠缠光子法结合极弱光光谱比较方法获得光子探测器绝对光谱量子效率,研究解决光子计数非线性问题及建立高计数率条件下的非线性修正模型,通过与现有标准的衔接及延伸,在光度、辐射度的超弱光量程实现光子计数模式的测量标准,突破现有国家标准的量程瓶颈,初步建立起具有标准光源、标准探测器组以及较为完整量值传递体系,有效解决了超微弱星光模拟器的量值溯源问题。

关键词：星光模拟器光子计数超微弱星光校准

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应用软磨料磨削的单晶硅超精密制造技术

应用软磨料磨削的单晶硅超精密制造技术

中国光学学会2011年学术大会

作者：金钊伏瑞敏张继友徐领娣康仁科北京空间机电研究所大连理工大学精密与非传统加工教育部重点实验室

在分析软磨料砂轮化学机械磨削(CMG)技术的基础上,开发研制了主料分别为Fe2O3和MgO的杯型软磨料砂轮。利用开发的两种软磨料砂轮对Ф300 mm的单晶硅光学表面进行纳米级精度的对比磨削加工,优选出最佳磨削参数,将CMG的结果与金刚石砂轮... 详细信息

在分析软磨料砂轮化学机械磨削(CMG)技术的基础上,开发研制了主料分别为Fe2O3和MgO的杯型软磨料砂轮。利用开发的两种软磨料砂轮对Ф300 mm的单晶硅光学表面进行纳米级精度的对比磨削加工,优选出最佳磨削参数,将CMG的结果与金刚石砂轮磨削结果、化学机械抛光(CMP)结果进行对比研究,并对加工后工件的表面与亚表面损伤进行检测分析。结果表明,MgO软磨料砂轮具有十分稳定的磨削性能,能够获得较好的形状精度和表面亚表面质量,采用三维表面轮廓仪和原子力显微镜测量CMG后的工件表面分别得到0.566 nm RMS和0.554 nm Rq的表面粗糙度,达到了CMP的加工效果,角度抛光法显示CMG后的工件亚表面损伤深度接近0。

关键词：硅软磨料化学机械磨削表面粗糙度亚表面损伤

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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紫外辐射计的波长定标及不确定度分析

光电工程 2008年第6期35卷 42-47页

作者：王加朋王淑荣徐领娣宋克非林雪松黄煜汪龙祺王锐张振铎李福田中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

限于常规汞灯谱线法波长定标的局限性,构建了紫外辐射计波长定标装置,研究了紫外辐射计波长定标的物理过程和测量链,并对紫外辐射计中臭氧十二个吸收波长进行了光谱定标,通过对定标影响量的分析和计算,得到定标影响量的测量不确定度和... 详细信息

限于常规汞灯谱线法波长定标的局限性,构建了紫外辐射计波长定标装置,研究了紫外辐射计波长定标的物理过程和测量链,并对紫外辐射计中臭氧十二个吸收波长进行了光谱定标,通过对定标影响量的分析和计算,得到定标影响量的测量不确定度和波长定标合成标准不确定度,其中波长定标合成标准不确定度为0.026nm,同时通过光学CAD分析和实验验证紫外辐射计的光谱带宽可以达到1.0nm。应用自行构建的紫外波长定标装置较好地完成了紫外辐射计臭氧吸收谱线的定标工作,满足了臭氧反演所需的波长精度要求和光谱带宽要求。

关键词：紫外辐射计波长定标定标不确定度 C—T单色仪漫透射器

山东高青:推动黄河滩区迁建社区档案业务规范化建设

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中国档案 2024年第3期 78-79页

作者：于领娣魏猛李晓楠山东省高青县档案馆

党的二十大报告提出:“推动黄河流域生态保护和高质量发展。”山东省高青县作为淄博市唯一的沿黄县,紧抓黄河流域生态保护和高质量发展战略重大机遇,深入推进黄河滩区迁建这一重大民生工程,常家、木李、黑里寨3个镇的17个村、1443户、5... 详细信息

党的二十大报告提出:“推动黄河流域生态保护和高质量发展。”山东省高青县作为淄博市唯一的沿黄县,紧抓黄河流域生态保护和高质量发展战略重大机遇,深入推进黄河滩区迁建这一重大民生工程,常家、木李、黑里寨3个镇的17个村、1443户、5275人全部以外迁方式进行安置。黄河滩区迁建社区档案管理作为一项重要且持续的基础性工作,能够充分记录党领导滩区人民实现“安居梦”的奋斗历程,有效推动滩区新型社区治理和集体经济发展,助力实现“致富梦”。

关键词：集体经济发展黄河滩区社区档案迁建高青县社区治理高质量发展