检索结果-南通市图书馆

手机用GaAs SPDT开关的全离子注入技术

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

固体电子学研究与进展 2002年第1期22卷 49-52页

作者：钮利荣徐筱乐蒋幼泉杨端良南京电子器件研究所 210016

对移动通信用单刀双掷开关制作工艺中的 Ga As全离子注入技术进行了实验比较和讨论 ,认为 76mmGa As圆片经光片注入 Si离子后包封 40 nm Si O2 +60 nm Si N进行快速退火再进行 B离子注入隔离和器件制作的工艺方法先进、工艺简便、表面... 详细信息

对移动通信用单刀双掷开关制作工艺中的 Ga As全离子注入技术进行了实验比较和讨论 ,认为 76mmGa As圆片经光片注入 Si离子后包封 40 nm Si O2 +60 nm Si N进行快速退火再进行 B离子注入隔离和器件制作的工艺方法先进、工艺简便、表面物理性能好、产品成本低、重复性和均匀性好、成品率高及器件性能优良。

关键词：离子注入包封退火双层介质 SPDT开关手机砷化镓

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

100nm GaAsMHEMT器件研制

固体电子学研究与进展 2012年第6期32卷 548-550,589页

作者：康耀辉徐筱乐高建峰陈辰南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室南京210016

应用电子束直写技术成功制作了栅长100nm的高性能In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As GaAs MHEMT(渐变组分高电子迁移率晶体管)。从工艺角度,结合器件的小信号等效电路的理论分析,优化了器件T形栅尺寸与工艺,从而减小了器件寄生参数,达到了... 详细信息

应用电子束直写技术成功制作了栅长100nm的高性能In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As GaAs MHEMT(渐变组分高电子迁移率晶体管)。从工艺角度,结合器件的小信号等效电路的理论分析,优化了器件T形栅尺寸与工艺,从而减小了器件寄生参数,达到了较好的器件性能。最终制作的In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As MHEMT饱和电流达到460mA/mm,夹断电压-0.8V,在Vgs为-0.23V时的最大非本征跨导gm为940mS/mm,截止频率ft达到220GHz,最大振荡频率fmax大于200GHz。

关键词：渐变组分高电子迁移率晶体管 T形栅截止频率

SiC衬底AlGaN/GaN HEMT的ICP通孔刻蚀

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

Journal of Semiconductors 2008年第12期29卷 2408-2411页

作者：任春江陈堂胜柏松徐筱乐焦刚陈辰南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家重点实验室南京210016

利用ICP对研制的SiC衬底上Al GaN/GaN HEMT刻蚀获得了深度为50μm的接地通孔.器件通孔制作前首先用机械研磨的方法将衬底减薄至50μm,在背面蒸发Ti/Ni并电镀Ni至3μm作为刻蚀阻挡层;之后利用SF6/O2混合气体的电感耦合等离子体对SiC衬底... 详细信息

利用ICP对研制的SiC衬底上Al GaN/GaN HEMT刻蚀获得了深度为50μm的接地通孔.器件通孔制作前首先用机械研磨的方法将衬底减薄至50μm,在背面蒸发Ti/Ni并电镀Ni至3μm作为刻蚀阻挡层;之后利用SF6/O2混合气体的电感耦合等离子体对SiC衬底进行了刻蚀;最后将Cl2和BCl3混合气体的ICP刻蚀技术运用于Al GaN/GaN外延材料的刻蚀,完成了深度为50μm的Al GaN/GaN HEMT通孔制作,通孔侧壁具有一定的斜率,适合良好的金属覆盖以形成器件正面和背面的连接.这一技术非常适合Al GaN/GaN HEMT及其单片集成电路的研制.

关键词：碳化硅六氟化硫电感耦合等离子体刻蚀半导体器件

电子束蒸发速率对Ti/GaAs肖特基势垒特性的影响

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

固体电子学研究与进展 2015年第5期35卷 502-505 511,511页

作者：邹鹏辉黄念宁王彦硕高建峰林罡徐筱乐南京电子器件研究所南京210016

通过在不同的速率下蒸发相同厚度的Ti金属薄膜,研究电子束蒸发速率对Ti膜表面形貌和性能的影响。试验表明随着Ti蒸发速率的提高,薄膜表面没有明显差别,但薄膜的结构变得致密,相同厚度下金属薄膜方阻变小,Ti金属间结合更紧密。同时在研... 详细信息

通过在不同的速率下蒸发相同厚度的Ti金属薄膜,研究电子束蒸发速率对Ti膜表面形貌和性能的影响。试验表明随着Ti蒸发速率的提高,薄膜表面没有明显差别,但薄膜的结构变得致密,相同厚度下金属薄膜方阻变小,Ti金属间结合更紧密。同时在研究中发现不同速率蒸发的Ti膜能在一定范围内影响GaAs器件势垒高度,可以在同等条件下通过Ti蒸发速率调整来获得合适的肖特基势垒,因此Ti蒸发速率是制作GaAs器件肖特基势垒的关键因素之一。

关键词：电子束蒸发蒸发速率 Ti膜肖特基势垒

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

高温超导台阶结的研究

低温物理学报 2003年第S1期25卷 290-292页

作者：曹春海杨名杨森祖徐筱乐尤立星吉争鸣康琳许伟伟吴培亨南京210016 南京210093 南京大学电子科学与工程系南京大学电子科学与工程系南京210093 南京电子器件研究所

在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结 .采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸镧衬底上刻蚀出坡度角大于 70°陡直台阶 .结的特性与SNS结类似 .9.5GHz的微波辐照下出现Shapiro台阶 .观察到结的高频响应有一温度窗口 .

关键词：剥离技术铝酸镧金属转移掩膜高温超导微波辐照 YBCO 刻蚀速率高频响应衬底基片双晶结

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

砷化镓射频开关复合介质包封退火技术

砷化镓射频开关复合介质包封退火技术

2001年全国微波毫米波会议

作者：钮利荣徐筱乐蒋幼泉杨端良南京电子器件研究所

对手机用砷化镓射频开关制作工艺中的离子注入及其退火技术进行了实验,认为φ76mm砷化镓圆片经光片注入Si离子后包封40nm SiO+60nm SiN进行快速退火的工艺方法先进,表面物理性能好,重复性和均匀性好,成品率高,器件性能优良。

关键词：离子注入包封退火双层介质

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

肺嗜酸性粒细胞增多症病因分类及诊断

中华实用儿科临床杂志 2024年第8期39卷 617-621页

作者：徐筱蕾徐保平国家儿童医学中心国家呼吸系统疾病临床医学研究中心首都医科大学附属北京儿童医院呼吸科中国医学科学院儿童危重感染诊治创新单元儿科重大疾病研究教育部重点实验室北京100045

肺嗜酸性粒细胞增多症是一组肺部嗜酸性粒细胞增多的异质性疾病,存在多种病因,可导致单纯肺部受累,也可出现全身多系统病变。目前对肺嗜酸性粒细胞增多症所涵盖的疾病范围、分类存在争议,且不同疾病的诊治、预后存在差异。现就肺嗜酸性... 详细信息

肺嗜酸性粒细胞增多症是一组肺部嗜酸性粒细胞增多的异质性疾病,存在多种病因,可导致单纯肺部受累,也可出现全身多系统病变。目前对肺嗜酸性粒细胞增多症所涵盖的疾病范围、分类存在争议,且不同疾病的诊治、预后存在差异。现就肺嗜酸性粒细胞增多症的病因分类、诊断思路进行综述,旨在提高临床医师对相关疾病的认识。

关键词：肺嗜酸性粒细胞增多症分类临床特点诊断

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

铁电压控谐振器的研究

低温物理学报 2005年第3期27卷 251-254页

作者：曹春海徐筱乐何世明周建明刘兴钊王烨李言容李拂晓南京电子器件研究所南京电子器件研究所南京210016 成都610054 电子科技大学微电子与固体电子学院

研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GHz左右,70V偏压下的压控频率范围大于180MHz.在10;0V内,谐振频... 详细信息

研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GHz左右,70V偏压下的压控频率范围大于180MHz.在10;0V内,谐振频率与偏置电压之间呈良好的线性关系,谐振器的有载Q值为60;0.

关键词：铁电材料压控器件微波谐振器

鹤壁市农村劳动力返乡就业质量的影响因素研究

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

鹤壁市农村劳动力返乡就业质量的影响因素研究

作者：徐筱研中南林业科技大学

学位级别：硕士

近年来,我国农民返乡就业的趋势日益显著。虽然农村劳动力返乡就业规模逐年增大,但部分返乡劳动力面临工资低、收入不稳定、保障程度低等问题。为此,本文以河南省鹤壁市返乡就业农村劳动力为研究对象,分析其就业质量的影响因素,并提出... 详细信息

近年来,我国农民返乡就业的趋势日益显著。虽然农村劳动力返乡就业规模逐年增大,但部分返乡劳动力面临工资低、收入不稳定、保障程度低等问题。为此,本文以河南省鹤壁市返乡就业农村劳动力为研究对象,分析其就业质量的影响因素,并提出相关政策建议,以促进农村返乡劳动力的安家乐业和乡村振兴战略目标的实现。本文基于对鹤壁市返乡就业农村劳动力的问卷调查数据,采用熵权法与多元线性回归模型进行实证分析,得出以下结论:(1)鹤壁市农村劳动力返乡就业质量评分总体较低,部分劳动力未签订劳动合同,大部分用工单位只确保劳动力获得最基本的保险保障,并有一成劳动力没有得到任何保险保障,其多从事基础劳动工作,且工作时间偏长,有四成以上的劳动力经常面临加班的情况,并有两成左右农村劳动力被恶意拖欠工资或抵押部分工资。(2)鹤壁市农村劳动力返乡就业质量的影响因素中,受教育程度、人际交往与协调能力、培训参与次数、接受培训意愿、直系亲属在政府机关任职情况、可提供帮助的人数以及就业渠道数量因素对就业质量具有显著的正向影响,家庭人口数对就业质量具有显著负向影响。(3)通过异质性检验,发现以性别划分,受教育程度、参与政府职业技能培训次数、政府机关中有无直系亲属任职仅对男性样本的就业质量有显著正向影响;年龄、就业渠道数量则对女性样本的就业质量有显著正向影响。以年龄划分,性别对于低年龄群体就业质量有显著负向影响而对高年龄群体就业质量有显著正向影响。风险承担能力和参与政府职业技能培训次数显著正向影响低年龄群体就业质量;受教育程度和对培训的看法显著影响高年龄群体就业质量。以受教育程度划分,人际交往与协调能力、参与政府职业技能培训次数和抗风险能力显著正向影响低学历群体的返乡就业质量,年龄和就业渠道数量显著正向影响高学历群体的返乡就业质量。基于以上结论,本文提出以下建议:加强技能培训,提升返乡劳动力就业能力;搭建返乡平台,畅通返乡劳动力信息渠道;增加劳动力社会资本,增设返乡劳动力就业岗位以提高鹤壁市农村劳动力返乡就业质量。

关键词：返乡就业质量农村劳动力影响因素鹤壁市