检索结果-南通市图书馆

仪表技术与传感器 1998年第2期 14-18页

作者：赵长德徐毓娴清华大学

本文概述单片伺服加速度计的原理和基本结构，伺服电路的组成和特点，并介绍了ＡＤ公司生产的单片加速度计的性能指标和应用电路，以及信号调节的方法。给出了部分实验数据，最后说明了该加速度计的典型应用。

关键词：单片伺服加速度计电容传感器静电反馈力

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可定量测量的透射式微分干涉显微系统

清华大学学报（自然科学版） 2003年第2期43卷 149-151页

作者：徐毓娴蔡昕董小满李文江清华大学精密仪器与机械学系北京100084

为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜,CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件。介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微... 详细信息

为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜,CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件。介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微镜,改装成透射式微分干涉相衬显微镜的关键技术。利用改装好的装置对几种透明体的形貌进行了重构。结果表明:该系统较好地解决了透明体表面形貌的重构问题,在一般实验室条件下,无须采取任何隔振和环境控制措施,测量系统重复性、稳定性均优于2nm,测量范围不受半个波长的限制,有广阔的应用前景。

关键词：定量测量透射式微分干涉显微系统相移表面形貌测量原理非接触光学测量

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新型自扫描激光干涉系统

光学技术 1998年第4期24卷 75-77页

作者：徐毓娴薛实福李庆祥清华大学精密仪器与机械学系

本文介绍了一种新型自扫描激光干涉系统的原理和结构。该系统采用自扫描光电二极管列阵（以下简称ＳＳＰＤＡ）接收器件，实现对干涉仪信号的调制，使测量信号转换成交流信号，避免了直流放大器零点漂移，消除了低频干扰。实验证明，该... 详细信息

本文介绍了一种新型自扫描激光干涉系统的原理和结构。该系统采用自扫描光电二极管列阵（以下简称ＳＳＰＤＡ）接收器件，实现对干涉仪信号的调制，使测量信号转换成交流信号，避免了直流放大器零点漂移，消除了低频干扰。实验证明，该系统在采用普通器件的情况下，其分辨率优于０．０２μｍ。

关键词： SSPDA 干涉仪激光干涉系统自扫描

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对移相误差不敏感的四帧相位算法

清华大学学报（自然科学版） 2003年第8期43卷 1017-1019页

作者：惠梅王东生邓年茂李庆祥徐毓娴清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国科学院西安光学精密机械研究所西安710068

应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法。算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与... 详细信息

应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法。算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与相移误差因子无关。对标准正弦样板进行的实验验证表明,该算法有效地抑制了移相误差对形貌测量的影响,进一步提高了表面微观形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。

关键词：相移干涉术表面形貌测量相移器移相误差四帧相位算法检测原理相位提取算法

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一种适合于汽车性能测试的加速度传感器

汽车工程 1999年第5期21卷 314-317页

作者：徐毓娴赵长德申强清华大学

本文介绍微型集成加速度传感器的原理、结构、伺服电路组成和基本性能,说明了它的典型应用,特别指出它在汽车性能测试中的广阔应用前景。

关键词：加速度传感器汽车性能测试

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用特征多项式构造相移干涉相位提取算式

光学学报 2003年第7期23卷 874-878页

作者：惠梅牛憨笨李庆祥王东生徐毓娴清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

用相移干涉术测量物体表面形貌时 ,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值 ,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析 ,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、... 详细信息

用相移干涉术测量物体表面形貌时 ,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值 ,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析 ,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、对移相误差不敏感的相位提取算式。经实验验证 ,该算法有效地提高了相移干涉仪测量表面形貌的Ra 值 ,重复测量精度达 5倍以上。

关键词：特征多项式相移干涉术相位提取算式光学测量傅里叶分析移相误差

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相移干涉显微术测量表面微观形貌

光学技术 2003年第1期29卷 2-4,7页

作者：惠梅牛憨笨李庆祥徐毓娴王东生清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

在微分干涉相衬显微镜中加入偏振相移装置,实现了对干涉光强的调制,达到了相移的目的,构造了具有纳米级分辨率的相移干涉显微测量系统。编制了一套测试软件及多组数据处理软件,将测量系统的各组成部分用软件进行了连接。分析并解决了测... 详细信息

在微分干涉相衬显微镜中加入偏振相移装置,实现了对干涉光强的调制,达到了相移的目的,构造了具有纳米级分辨率的相移干涉显微测量系统。编制了一套测试软件及多组数据处理软件,将测量系统的各组成部分用软件进行了连接。分析并解决了测量过程中的技术难题,对纳米表面微观形貌进行了高精度实时自动测量。该测量系统能够准确地重构出纳米表面微观形貌,并给出了定量测量数据。

关键词：微分干涉相衬相移干涉显微术纳米表面微观形貌

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相移算法模拟实验研究

仪器仪表学报 2002年第Z2期23卷 843-845页

作者：董小满徐毓娴惠梅清华大学精密仪器系北京100084 中国科学院西安光学精密机械研究所西安710061

相移干涉技术在表面形貌定量测量中得到广泛应用。其中相移算法是影响相位测量精度的关键之一。分析比较了常用四种算法:四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法原理公式及对相位测量的影响。用计算机进行模拟实验,提出样本方... 详细信息

相移干涉技术在表面形貌定量测量中得到广泛应用。其中相移算法是影响相位测量精度的关键之一。分析比较了常用四种算法:四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法原理公式及对相位测量的影响。用计算机进行模拟实验,提出样本方差和最大偏差两个参数评价算法的优劣。得出传统四帧算法对相移误差最敏感,尽量少用,优先采用五帧算法的结论,有实用性。

关键词：相移干涉算法模拟

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图像处理技术在形貌测量中的应用

仪器仪表学报 2001年第Z2期22卷 217-218页

作者：许谊徐毓娴蔡昕清华大学精密仪器系北京100084

本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例 ,分析影响精度的各种因素 ,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术 ,对改善二维、三维图像质量。

关键词：图像处理形貌滤波

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微型零件三维几何尺寸测量系统

仪器仪表学报 1996年第S1期17卷 319-321,326页

作者：徐毓娴李庆祥白立芬于水清华大学

介绍用于纳米技术中的微型零件三维几何尺寸测量系统的原理，测量中的关键技术，对该系统进行了实测，实验结果表明：ｘ，ｙ重复测量精度为±０．００５μｍ，ｚ方向测量精度为５ｎｍ。

关键词：三维几何尺寸微型零件测量系统测量精度光学系统显微物镜纳米技术摄象机自动调焦系统显微系统