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304不锈钢绿色化学机械抛光

表面技术 2022年第5期51卷 325-335页

作者：张仁杰张振宇李玉彪徐光宏崔祥祥刘杰齐鲁工业大学机械工程学院济南250353 大连理工大学辽宁大连116024

目的采用对环境友好的抛光工艺来改善304不锈钢表面抛光质量。方法基于化学机械抛光(CMP)工艺,采用主要成分为氧化铝(Al_(2)O_(3))磨料、L-苹果酸、过氧化氢(H_(2)O_(2))、乳化剂OP-10、甘氨酸的绿色环保抛光液,设计并试验了pH值,H_(2)O... 详细信息

目的采用对环境友好的抛光工艺来改善304不锈钢表面抛光质量。方法基于化学机械抛光(CMP)工艺,采用主要成分为氧化铝(Al_(2)O_(3))磨料、L-苹果酸、过氧化氢(H_(2)O_(2))、乳化剂OP-10、甘氨酸的绿色环保抛光液,设计并试验了pH值,H_(2)O_(2)、乳化剂OP-10、甘氨酸质量分数的4因素4水平CMP正交试验。采用极差法分析了4个因素对表面粗糙度和材料去除率的影响。采用电化学工作站,通过动电位极化曲线法,分析304不锈钢在不同抛光液环境下的静态腐蚀特性。通过X射线光电子能谱(XPS),分析304不锈钢在不同抛光液环境下的表面元素和化学组分变化。结果开发了一种不含任何强酸、强碱等危化物品的新型环保化学机械抛光液。通过绿色CMP加工,在70μm×50μm范围内将304不锈钢平均表面粗糙度从CMP前的7.972 nm降至0.543 nm。与之前报道的304不锈钢抛光相比,绿色CMP抛光后的表面粗糙度最低。通过正交试验,得到了绿色CMP加工的最优抛光液参数:pH=3,0.3%H_(2)O_(2),0.3%乳化剂OP-10,1.5%甘氨酸。结论L-苹果酸与甘氨酸之间相互促进,使抛光液的腐蚀性增强;而H_(2)O_(2)的作用则相反,可使抛光液的氧化性增强,减缓抛光液对304不锈钢表面的腐蚀。

关键词： 304不锈钢化学机械抛光绿色环保正交试验化学反应机理表面粗糙度

环境友好型缓蚀剂在镁合金化学机械抛光过程中的缓蚀作用

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表面技术 2022年第5期51卷 336-344页

作者：赵仕程张振宇刘杰徐光宏李玉彪崔祥祥齐鲁工业大学机械工程学院济南250353 大连理工大学辽宁大连116024

目的研究苯甲酸钠、酒石酸钠、柠檬酸钠、甘氨酸等缓蚀剂在镁合金化学机械抛光(CMP)中的缓蚀作用。方法用苹果酸、氧化铝磨粒、去离子水及不同缓蚀剂配制不同种类的抛光液。在抛光垫的种类、抛光盘转速、抛光液流速、pH调节剂的种类等... 详细信息

目的研究苯甲酸钠、酒石酸钠、柠檬酸钠、甘氨酸等缓蚀剂在镁合金化学机械抛光(CMP)中的缓蚀作用。方法用苹果酸、氧化铝磨粒、去离子水及不同缓蚀剂配制不同种类的抛光液。在抛光垫的种类、抛光盘转速、抛光液流速、pH调节剂的种类等都相同的条件下,进行化学机械抛光试验。用3D白光干涉轮廓仪对抛光后的镁合金片进行表征,通过电化学腐蚀试验、X射线光电子能谱(XPS)分析缓蚀机理。结果通过对比试验发现,酒石酸钠和苯甲酸钠在酸性条件下的缓蚀效果最佳。酒石酸钠和苯甲酸钠均通过促进抛光液中溶解氧对镁合金表面的氧化作用形成钝化膜,从而抑制镁合金的进一步腐蚀。镁合金在含有苯甲酸钠的溶液中生成的钝化膜的腐蚀抑制性高于含有酒石酸钠的溶液中形成的钝化膜。苯甲酸钠和酒石酸钠均参与钝化膜的生成,但经XPS分析,镁合金经含有苯甲酸钠溶液浸泡后形成的表面膜中的镁含量少于经含有酒石酸钠溶浸泡后钝化膜中的镁含量。经电化学腐蚀试验发现,镁合金在含苯甲酸钠的溶液中的腐蚀电位正向移动量大于镁合金在含酒石酸钠的溶液中腐蚀电位的正向移动量,证明在相同浓度的前提下,苯甲酸钠的缓蚀效果优于酒石酸钠。结论在酸性条件下,苯甲酸钠的缓蚀效果强于酒石酸钠。在抛光压力为22 kPa、抛光转速为60 r/min、磨料为20 nmα-Al_(2)O_(3)的CMP工艺中,加入质量分数为1%的苯甲酸钠后,抛光后的表面质量最好,Ra=(3.594±0.194)nm。苯甲酸钠和酒石酸钠均为阳极缓蚀剂,能在镁合金表面形成钝化膜,腐蚀电位的升高意味着镁离子需要克服更大的势垒才能从镁合金表面转入溶液中。

关键词：镁合金苯甲酸钠酒石酸钠化学机械抛光缓蚀机理

5083铝合金绿色化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及机理分析

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表面技术 2022年第5期51卷 345-353页

作者：宋晓明张振宇刘杰李玉彪赵仕程徐光宏齐鲁工业大学机械工程学院济南250353 大连理工大学辽宁大连116024

目的为提高5083铝合金的表面质量,研制一种环境友好型化学机械抛光液,并分析5083铝合金化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及作用机理。方法使用绿色环保的化学机械抛光液对5083铝合金进行化学机械抛光。采用单因素控制变量法,分析不同... 详细信息

目的为提高5083铝合金的表面质量,研制一种环境友好型化学机械抛光液,并分析5083铝合金化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及作用机理。方法使用绿色环保的化学机械抛光液对5083铝合金进行化学机械抛光。采用单因素控制变量法,分析不同的pH调节剂类型、pH值以及过氧化氢(H_(2)O_(2))浓度对铝合金化学机械抛光后表面粗糙度的影响规律。采用电化学工作站,分析5083铝合金在不同抛光液中的静态腐蚀特性。运用X射线光电子能谱仪(XPS)分析5083铝合金在不同抛光液下表面元素化学组分的变化。结果绿色环保抛光液的主要成分为去离子水、4%(质量分数)的二氧化硅磨粒、2.0%(质量分数)的H_(2)O_(2)和柠檬酸,并调节pH至3.0。5083铝合金进行化学机械抛光后,在70μm×50μm的扫描范围内铝合金表面粗糙度最低为0.929 nm。结论电化学试验和XPS测试的分析表明,柠檬酸可加快抛光液对铝合金的腐蚀,H_(2)O_(2)使铝合金表面形成氧化层,减缓抛光液对铝合金的腐蚀。氧化层的主要成分为Al_(2)O_(3)、AlOOH和Al(OH)3。

关键词： 5083铝合金化学机械抛光绿色环保表面粗糙度机理分析电化学分析

基于“岗课赛证”融通的高职教学管理改革路径探析——以沙洲职业工学院为例

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沙洲职业工学院学报 2023年第4期26卷 36-39页

作者：徐光宏沙洲职业工学院江苏张家港215600

文章阐述了“岗课赛证”融通的内涵,高职院校可以在建立合理的“岗课赛证”融通组织机构、协调制度和管理要求的基础上,通过强化“岗课赛证”融通基础、重构课程体系和教学内容、培养综合型“双师”教学团队和加强教学管理队伍建设等改... 详细信息

文章阐述了“岗课赛证”融通的内涵,高职院校可以在建立合理的“岗课赛证”融通组织机构、协调制度和管理要求的基础上,通过强化“岗课赛证”融通基础、重构课程体系和教学内容、培养综合型“双师”教学团队和加强教学管理队伍建设等改革路径探索,提升高职教学管理能力,进一步优化高质量人才培养水平。

关键词：岗课赛证融通教学管理改革

5种输液调配的注射用尖吻蝮蛇血凝酶成品输液稳定性研究

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中国医院药学杂志 2023年第5期43卷 515-518页

作者：童彤徐光宏丁海文沈爱宗刘圣中国科学技术大学附属第一医院/安徽省立医院药学部安徽合肥230001 北京康辰药业股份有限公司北京102206

目的:探究0.9%氯化钠注射液(NS)、5%葡萄糖注射液(5%GS)、葡萄糖氯化钠注射液(GNS)、乳酸钠林格注射液(SLR)和灭菌注射用水(SW)调配注射用尖吻蝮蛇血凝酶成品输液的稳定性。方法:用上述5种输液调配注射用尖吻蝮蛇血凝酶,考察室温条件下1... 详细信息

目的:探究0.9%氯化钠注射液(NS)、5%葡萄糖注射液(5%GS)、葡萄糖氯化钠注射液(GNS)、乳酸钠林格注射液(SLR)和灭菌注射用水(SW)调配注射用尖吻蝮蛇血凝酶成品输液的稳定性。方法:用上述5种输液调配注射用尖吻蝮蛇血凝酶,考察室温条件下12 h内成品输液的外观性状(颜色、丁达尔效应)、pH值、渗透压、浊度、不溶性微粒数和紫外吸光度值的变化。结果:5种输液调配的成品输液的外观均澄清透明,未产生丁达尔效应;除GNS调配的成品输液pH在12 h为3.86,其余各组的pH值均在《中国药典》输液标准范围;除SW调配的成品输液渗透压接近0,其余各组渗透压符合相关要求;浊度变化符合要求;不溶性微粒符合《中国药典》规定;紫外吸光度值变化不超过10%。结论:注射用尖吻蝮蛇血凝酶可以使用NS、5%GS、GNS、SLR和SW调配,GNS调配的成品输液应在6 h内使用,SLR调配的成品输液应在8 h内使用。

关键词：注射用尖吻蝮蛇血凝酶丁达尔效应不溶性微粒浊度渗透压紫外吸光度值

基于AT89S52的塑料管材自动切割控制系统的设计

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基于AT89S52的塑料管材自动切割控制系统的设计

作者：徐光宏苏州大学

学位级别：硕士

建筑用给排水管道、城市规划用给排水管道以及城市燃气管道（中低压管）等范围内的塑料管材（PP-R）的需求刺激了塑料管材机械的发展,但是,国产塑料管材机械在效率、精度、稳定性方面无法与日本、欧洲的进口产品相抗衡,技术的缺失正严... 详细信息

建筑用给排水管道、城市规划用给排水管道以及城市燃气管道（中低压管）等范围内的塑料管材（PP-R）的需求刺激了塑料管材机械的发展,但是,国产塑料管材机械在效率、精度、稳定性方面无法与日本、欧洲的进口产品相抗衡,技术的缺失正严重影响着中国塑料机械产业的发展。2001年底中国加入WTO后,在先进的进口产品的冲击下,国产塑料管材机械在市场竞争力上更显劣势。在塑料工业发达的国家,数字技术、智能控制和伺服技术已经广泛应用在塑料管材机械行业中,特别是挤出成型设备生产线实现了全线联机控制,并与在线检测设备建立反馈系统。而目前国产塑料管材设备总体自动化程度较低。行业间的恶性竞争导致了高精度检测装置和先进控制技术的极少应用。本文通过对目前大多数管材生产自动控制设备应用现状的分析和研究,提出了一种单片机控制的塑料管材自动切割和接口增厚系统的设计方案。该控制系统以AT89S52单片机为控制核心,结合D/A数据转换和RS485通讯技术,实现对各种控制参数的设置、存储、显示和处理。本文从功能设计、元器件选择、硬件电路设计和软件设计等几个方面对该系统进行阐述。通过管材生产厂家的实际检验,该系统运行可靠,操作简单方便。同时该系统设计灵活、结构简单、成本低廉,易于规模化生产,可广泛应用于各种管材生产厂家。

关键词：塑料管材自动切割接口增厚单片机串口通讯

基于正交试验的碲锌镉晶片CMP参数优化及抛光机制分析

同方学位论文库评论

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润滑与密封 2022年第4期47卷 92-101页

作者：张乐振张振宇王冬徐光宏郜培丽孟凡宁赵子锋潍柴动力股份有限公司山东潍坊261061 大连理工大学高性能制造研究所精密与特种加工教育部重点实验室辽宁大连116024 中国空间技术研究院北京卫星制造厂有限公司北京100094

碲锌镉(CZT)晶片是目前制造室温下高能射线探测器最理想的半导体材料,获得高质量的CZT晶片对探测性能的提高具有十分重要的意义。基于化学机械抛光(CMP)工艺,采用绿色环保的抛光液配方,设计并进行磨粒粒径、磨粒质量分数、抛光液pH值和... 详细信息

碲锌镉(CZT)晶片是目前制造室温下高能射线探测器最理想的半导体材料,获得高质量的CZT晶片对探测性能的提高具有十分重要的意义。基于化学机械抛光(CMP)工艺,采用绿色环保的抛光液配方,设计并进行磨粒粒径、磨粒质量分数、抛光液pH值和抛光压力的4因素3水平正交CMP试验,实现200μm×200μm范围内平均粗糙度最低为0.289 nm的CMP加工。对试验结果进行均值和极差分析,探究各因素在CMP加工中的作用规律,得出pH值和磨粒质量分数对CZT晶体的CMP加工精度和去除速率影响较大,且较强的酸性条件和较大的磨粒质量分数分别有利于提高CZT晶体的化学溶解作用和机械磨削作用的结论,提出针对CZT晶片的CMP优化加工方案。通过X射线光电子能谱(XPS)表征,探究对抛光性能影响作用最大的酸度在CMP加工中所起到的化学腐蚀作用,揭示CZT晶体在CMP过程中“氧化剂氧化-酸根离子刻蚀-络合物螯合-磨粒磨削”的材料去除机制。

关键词：化学机械抛光碲锌镉晶片正交试验抛光液材料去除机制