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光刻机运动台干涉信号相位细分的研究

光刻机运动台干涉信号相位细分的研究

作者：张紫杨桂林电子科技大学

学位级别：硕士

随着我国科技的持续发展,芯片制造设备对精度要求不断提高,其中位移测量系统的高精度测量对设备精度的影响具有关键作用。在高精度位移测量系统中,光学干涉仪有很多独特优势,但是以整周期信号代表的位移为精度是无法满足现在工业的需求... 详细信息

随着我国科技的持续发展,芯片制造设备对精度要求不断提高,其中位移测量系统的高精度测量对设备精度的影响具有关键作用。在高精度位移测量系统中,光学干涉仪有很多独特优势,但是以整周期信号代表的位移为精度是无法满足现在工业的需求。为了提高位移测量精度,对测量信号进行细分处理,将整周期信号分成多个信号,实现对信号的倍频。本文是以光栅干涉仪的测量信号为研究对象,采用小波变换提取瞬时频率的方法,研究设计了在时间领域中对信号相位细分的方案,主要的研究内容如下。第一,介绍了干涉仪测量位移的相关理论及公式,和运动在空间和时间领域中的不同概念,设计了在时间域内进行细分的相位细分方案。根据对细分点频率确定方法的不同,设计了以采样点频率为频率和在采样点间均匀分布两种相位细分方案。通过对仿真的频率函数生成的数据处理,以采样点频率为频率的细分方法得到的细分相位的相位差的平均值为2.392×10-6rad,而细分点频率按照均匀分布的细分方法得到的细分相位的相位差的平均值为2.496×10-8rad。两种方案经过比较可以发现,细分点频率按照均匀分布的细分方法的相位差更小,选择使用细分点频率在采样点均匀分布的细分方法。第二,本文选择小波变换的方法提取信号的瞬时频率,在对仿真信号进行小波变换得到信号的频率后,使用得到的信号频率计算细分时间完成对信号相位细分。使用细分点频率按照均匀分布的细分方法对信号细分,得到的细分相位的相位差的平均值为7.744×10-4rad,与对理论信号频率细分处理;后的相位差相比很大,这表示在小波变换处理信号提取瞬时频率过程有误差,需要对相关误差进行分析和优化处理。第三,针对信号处理过程中端口出现边沿效应和小波变换离散化带来的误差,分别设计了五点平滑法和延伸方法处理端口出现的边沿效应,设计了基于拟合函数的多拟合函数联合优化法对信号进行优化处理。经过优化后细分相位的相位误差为2.831 ×10--5rad,与未经优化处理得到的相位误差1.911×10-4rad相比降低了将近10倍。在选择的栅距d= 833.3nm的光栅组成的光栅干涉仪测量位移的情况下,并且细分倍数为1024倍时,单个细分位移为0.8nm,位移误差为1.870×10-3nm,达到研究的预期目标。此细分方法还能根据不同的需求变换细分倍数,并且具有很好的稳定性。本文设计的基于小波变换提取瞬时频率的相位细分方案,在经过对小波变换引入误差的优化处理后,细分的效果能达到预期标准,通过光栅干涉仪对位移测量的精度能满足实际的需求。

关键词：光栅干涉仪小波变换瞬时频率相位细分

1000～2500 nm宽波段的葡萄糖吸收光谱的测量波长优选

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纳米技术与精密工程 2017年第3期15卷 199-204页

作者：张紫杨孙迪刘冰洁孙翠迎刘瑾精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学) 天津300072

采用近红外光谱法无创测量人体血糖时,葡萄糖浓度变化引起的光强信号微弱,为了实现目标测量精度,需要选择适宜的测量波长使葡萄糖引起的吸收信号水平强于噪声信号水平.本文提出了基于最佳光程长的测量波长选择原则,可在测量灵敏度最大... 详细信息

采用近红外光谱法无创测量人体血糖时,葡萄糖浓度变化引起的光强信号微弱,为了实现目标测量精度,需要选择适宜的测量波长使葡萄糖引起的吸收信号水平强于噪声信号水平.本文提出了基于最佳光程长的测量波长选择原则,可在测量灵敏度最大的条件下,评价葡萄糖吸收光谱的测量是否可行.以葡萄糖在水溶液中的测量为例,基于最佳光程长理论,对1 000~2 500 nm的每个波长均进行光程优化,以1 mmol/L的检测浓度为目标,筛选了可行的测量波段.结果表明,即使在最佳光程长下检测,该检测目标对测量光谱的重复性信噪比要求也非常高,当SNR达到10 000∶1时,仅有4个波段满足要求,分别是:1 000~1 160 nm,1 375~1 420 nm,1 590~1 640 nm和1 870~1 910 nm.其中短波长波段1 000~1 160 nm对光谱信噪比的要求最低,且最佳光程长最长,皮肤穿透深度最大,显示了较好的应用前景.这一结果对皮肤中的葡萄糖测量的波长选择有较好的参考价值.此外,本文所提出的波长选择方法也同样适用于采用吸收光谱法对其他物质成分的测量.

关键词：近红外光谱葡萄糖测量血糖最佳光程长波长优选

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基于小波变换瞬时频率优化的相位细分方法

仪表技术与传感器 2020年第8期 108-111页

作者：张紫杨张文涛杜浩熊显名桂林电子科技大学电子工程与自动化学院广西桂林541004

为了提高光刻机运动台的位移测量的精度,需要对测量系统得到的干涉信号进行细分处理。因此提出了一种在时域中对信号相位细分的方法,根据确定细分点频率方法的不同设计了2种相位细分方案。在使用小波变换提取信号瞬时频率的过程中,为了... 详细信息

为了提高光刻机运动台的位移测量的精度,需要对测量系统得到的干涉信号进行细分处理。因此提出了一种在时域中对信号相位细分的方法,根据确定细分点频率方法的不同设计了2种相位细分方案。在使用小波变换提取信号瞬时频率的过程中,为了降低由于小波变换离散化引入的误差,设计了基于拟合函数的多拟合函数联合优化的方法,对信号进行平滑处理。仿真结果表明:经过相位细分后的单个细分相位的位移精度为0.8 nm,经优化后细分相位的相位误差降低到2.831×10^-5 rad,降低至优化前的14.8%,经过换算位移误差降到1.870×10^-3 nm,达到测量系统的预期效果,证明了相位细分方案的可行性。

关键词：光栅位移测量相位细分小波变换瞬时频率信号优化

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一种高稳定性压电驱动电源设计

压电与声光 2020年第1期42卷 104-107页

作者：张玉婷张文涛钱存张紫杨陈云桂林电子科技大学广西光电信息处理重点实验室

作为电压控制型器件,压电陶瓷驱动电源的稳定性受负载电容量变化的影响严重。针对负载等效电容在驱动电压变化下的动态特性,首次提出了一种基于容性负载的压电驱动电源。该电源采用RC前置滤波与电容超前反馈相结合,提高了系统稳定性与... 详细信息

作为电压控制型器件,压电陶瓷驱动电源的稳定性受负载电容量变化的影响严重。针对负载等效电容在驱动电压变化下的动态特性,首次提出了一种基于容性负载的压电驱动电源。该电源采用RC前置滤波与电容超前反馈相结合,提高了系统稳定性与驱动电源的鲁棒性。分析结果表明,额定负载为1.5μF的驱动电源优化后在0~3μF内具有良好的动态性能,且输出电压精度达0.7 mV。

关键词：压电驱动电源动态容性负载超前反馈稳定性分析压电控制

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光电容积脉搏波无创测量人体血液成分的评估

光学精密工程 2016年第6期24卷 1264-1271页

作者：刘瑾蔡子晋张紫杨孙迪王文天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 天津市计量监督检测科学研究院天津300192

为了评估光电容积脉搏波法在人体血液主要成分检测方面的精度水平,基于朗伯比尔定律及简化的光电容积脉搏波法测量模型,给出了物质成分测量的极限分辨浓度公式。对公式中的三个要素,即人体测量时的光强信噪比、光程、被测物质的摩尔消... 详细信息

为了评估光电容积脉搏波法在人体血液主要成分检测方面的精度水平,基于朗伯比尔定律及简化的光电容积脉搏波法测量模型,给出了物质成分测量的极限分辨浓度公式。对公式中的三个要素,即人体测量时的光强信噪比、光程、被测物质的摩尔消光系数进行了评估,获得了理论上光电脉搏波法对血红蛋白、白蛋白、血糖的极限分辨浓度。评估结果表明,光电容积脉搏波法可以测量的血红蛋白、白蛋白和血糖的极限分辨浓度水平分别约为100mg/dL,5000mg/dL以及10 000mg/dL。将该评价结果与现阶段临床需要的检测精度进行对比,可知光电容积脉搏波法能够满足需求,有望实现对血红蛋白的无创检测。

关键词：光电容积脉搏波人体无创成分检测血红蛋白白蛋白血糖

“形式”与“经验”的三重面相——迈耶·夏皮罗的艺术自律观

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浙江学刊 2024年第1期 208-217页

作者：张紫柔南京大学艺术学院南京210093

艺术自律观是现代性进程中的重要产物,历经多个世纪的理论演进而获致其现代形态。现代意义上艺术自律观以“形式”和“经验”作为要核,而这二者在迈耶·夏皮罗的艺术史论中占据显著位置。夏皮罗在专注于艺术之社会维度的同时,也分外尊... 详细信息

艺术自律观是现代性进程中的重要产物,历经多个世纪的理论演进而获致其现代形态。现代意义上艺术自律观以“形式”和“经验”作为要核,而这二者在迈耶·夏皮罗的艺术史论中占据显著位置。夏皮罗在专注于艺术之社会维度的同时,也分外尊崇艺术的本体要素,这集中体现在他对现代艺术的考察中,概述起来主要有三:其一,艺术形式和艺术经验具有一定程度的自足性和自洽性,其存在并不完全有赖于社会语境的塑形;其二,艺术形式和艺术经验可以凭借其相对独立的身份介入现实语境,并肩负着以批判性的姿态指涉外部世界,尤其是指涉社会生活的使命;其三,艺术形式既受惠于现实经验,又在其具体化的感性建构中实现着对现实经验的超越,并唤起受众对部分现实经验的重审。

关键词：迈耶·夏皮罗艺术自律形式经验现代艺术社会介入

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多层异构生物网络候选疾病基因识别

自动化学报 2024年第6期50卷 1246-1260页

作者：丁苍峰王君张紫芸延安大学数学与计算机科学学院延安716000

现有大多数用于识别候选疾病基因的随机游走方法通常优先访问高度连接的基因,而可能与已知疾病有关的不知名或连接性差的基因易被忽略或难以识别.此外,这些方法仅访问单个基因网络或各种基因数据的聚合网络,导致偏差和不完整性.因此,设... 详细信息

现有大多数用于识别候选疾病基因的随机游走方法通常优先访问高度连接的基因,而可能与已知疾病有关的不知名或连接性差的基因易被忽略或难以识别.此外,这些方法仅访问单个基因网络或各种基因数据的聚合网络,导致偏差和不完整性.因此,设计一种能控制随机游走运动方向和整合多种数据源的候选疾病基因识别方法将是一个迫切需要解决的问题.为此,首先构建多层网络和多层异构基因网络.然后,提出一种游走于多层网络和多层异构网络的拓扑偏置重启随机游走(Biased random walk with restart,BRWR)算法来识别疾病基因.实验结果表明,游走于不同类型网络上的识别候选疾病基因的BRWR算法优于现有的算法.最后,应用于多层异构网络上的BRWR算法能预测未诊断的新生儿类早衰综合征中涉及的疾病基因.

关键词：多层异构网络生物网络偏置随机游走候选基因识别

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做个漆碗

电影文学 2024年第2期 185-192页

作者：张紫晨(编剧) 北京电影学院美术学院

1.内景政府会议室日(画外音)2023年,中央一号文件公布,《中共中央国务院关于做好2023年全面推进乡村振兴重点工作的意见》是21世纪以来中共中央、国务院指导“三农”工作的第20个中央一号文件。会议室大屏幕上写着:学习贯彻2023年中央... 详细信息

1.内景政府会议室日(画外音)2023年,中央一号文件公布,《中共中央国务院关于做好2023年全面推进乡村振兴重点工作的意见》是21世纪以来中共中央、国务院指导“三农”工作的第20个中央一号文件。会议室大屏幕上写着:学习贯彻2023年中央一号文件精神。领导在台上讲话:做好2023年和今后一个时期“三农”工作,要坚持以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,全面贯彻落实党的二十大精神,深入贯彻落实习近平总书记关于“三农”工作的重要论述,坚持和加强党对“三农”工作的全面领导,坚持农业农村优先发展,坚持城乡融合发展,强化科技创新和制度创新,坚决守牢确保粮食安全、防止规模性返贫等底线,扎实推进乡村发展、乡村建设、乡村治理等重点工作,加快建设农业强国,建设宜居宜业和美乡村,为全面建设社会主义现代化国家开好局起好步打下坚实的基础。

关键词：中央一号文件习近平新时代中国特色社会主义思想乡村振兴粮食安全乡村建设规模性农业强国返贫

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中华传统文化视域下的女娲神圣形象探析

中国宗教 2024年第6期 64-65页

作者：张紫晨国家开放大学

一个民族的经典神话往往蕴涵着先民的生存智慧，其研究价值不仅在于唤起文化记忆，而且启发今人传承文化精神。关于女娲神圣形象的研究便具有这方面的典型意义。女娲又称“女阴”“娲皇”“女娲氏”，与伏羲一同被尊崇为华夏人文始祖。...

一个民族的经典神话往往蕴涵着先民的生存智慧，其研究价值不仅在于唤起文化记忆，而且启发今人传承文化精神。关于女娲神圣形象的研究便具有这方面的典型意义。女娲又称“女阴”“娲皇”“女娲氏”，与伏羲一同被尊崇为华夏人文始祖。女娲神话在《山海经》《淮南子》《史记》《汉书》等众多古籍文献中都有相关记载，其形象主要被描述为中华民族的神圣女神，在中华上古神话体系中具有重要地位。

关键词：