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胶体液流动压空化射流抛光流场数值模拟及实验研究

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胶体液流动压空化射流抛光流场数值模拟及实验研究

作者：张玲花哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

随着现代光学、薄膜与集成电路技术的高速发展,光学零件与电子器件对表面质量的要求越来越高,很多要求达到超光滑表面。传统的机械研磨与抛光方法难以避免机械接触带来的亚表面损伤,为此,各国学者都致力于寻求并发展基于新原理的超光滑... 详细信息

随着现代光学、薄膜与集成电路技术的高速发展,光学零件与电子器件对表面质量的要求越来越高,很多要求达到超光滑表面。传统的机械研磨与抛光方法难以避免机械接触带来的亚表面损伤,为此,各国学者都致力于寻求并发展基于新原理的超光滑表面加工方法。本文对纳米颗粒胶体液流动压空化射流这种高效绿色超光滑表面加工方法进行了探索性研究。首先,对普通射流、旋转射流与空化射流的相关理论进行了分析。研究了淹没与非淹没射流、普通圆柱射流与旋转射流流场的结构特性,对空化射流的产生条件以及空化射流中的空化作用进行了研究。运用有限体积法针对淹没射流与非淹没射流分别建立了流场分析理论模型,为后面的流场仿真与实验探索提供了理论基础。其次,对纳米颗粒胶体射流流场进行了仿真分析研究。针对采用锥形射流喷嘴和旋转射流喷嘴的淹没冲击射流流场进行分析,重点讨论了流场整体速度与压力分布、工件表面处的速度与压力分布、流场紊流强度与空化区分布规律。对旋转射流喷嘴非淹没冲击射流进行了分析,比较了淹没射流与非淹没射流流场中的不同特征。最后,应用纳米颗粒胶体液流动压空化射流加工方法抛光K9试件光学玻璃表面,进行了抛光实验的探索。对三种不同喷嘴的射流形态与抛光效果进行比较寻找合适的抛光喷嘴形式。对实验结果分析,表明纳米颗粒胶体液流动压空化射流抛光去除效果明显,但抛光后工件表面出现了白色凸起和麻点;换用不同粒径的纳米颗粒胶体液进行抛光,发现表面白色凸起减少但麻点依然存在,证实白色凸起为纳米颗粒粘附所致。用水射流进行对比抛光后麻点仍然存在,表明高压下空化作用对玻璃表面的破坏作用较大;用低压水射流抛光发现工件表面麻点消失,表征低压下空化作用对表面的破坏作用较弱,在低压下换用抛光液得到了比较好的抛光表面,验证了纳米颗粒胶体液流动压空化射流抛光用于加工高质量表面的可行性。

关键词：纳米颗粒胶体数值模拟流场分布液流动压空化

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依法治国：中国共产党的必然性选择

依法治国：中国共产党的必然性选择

作者：张玲花南京理工大学

学位级别：硕士

十一届三中全会后,中国共产党历届领导集体都重视民主法治建设。习近平总书记上台后高度重视法治问题,特别是在对待腐败的问题上采取零容忍的态度,"苍蝇"和"老虎"纷纷相继落马。中共十八大对依法治国作出全面部署,中共十八届四中全会以... 详细信息

十一届三中全会后,中国共产党历届领导集体都重视民主法治建设。习近平总书记上台后高度重视法治问题,特别是在对待腐败的问题上采取零容忍的态度,"苍蝇"和"老虎"纷纷相继落马。中共十八大对依法治国作出全面部署,中共十八届四中全会以"全面依法治国"为主题。由此可见,中国共产党对依法治国的重视。本文主要分为三大部分。第一部分是简要地分析了中国共产党与依法治国的联系,坚持党的领导是依法治国的前提,依法治国有利于加强和改善党的领导,党的领导、人民当家作主和依法治国三者是有机统一的。第二部分梳理了建国后中国法治建设的历史进程以及中国历代领导集体在这个历史进程中作出的主要贡献。在梳理法治建设历史进程的基础上,总结了我国法治建设的几点基本经验。第三部分是本文的主要内容,紧扣"必然性",从历史发展趋势、历史经验教训、中国特色社会主义事业蓬勃发展以及经济全球化和全球法治化的浪潮这四个角度进行深入分析,最终得到"依法治国是中国共产党的必然性选择"这个结论。

关键词：依法治国中国共产党必然选择

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光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

光电工程 2015年第6期42卷 50-56页

作者：陈华男郭抗张玲花刘健尚红波中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130033

X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计... 详细信息

X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计。进一步,运用有限元分析法,分析了该X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明,该机构调节行程大于±20μm,机构位移输入?输出关系稳定,传动比约11.9,理论调节精度约8.4 nm,机构单方向驱动刚度为0.473μm/N;机构开环单轴运动时,耦合误差与主运动比值为7.1%;机构1阶模态频率大于200 Hz。该X-Y向柔性调节机构能够应用到光刻投影物镜中。

关键词：光刻投影物镜 X-Y向柔性调节机构减速机构柔性铰链

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球面镜数控加工中安装误差在线检测及补偿

电子测量与仪器学报 2013年第7期27卷 676-682页

作者：刘健王绍治张玲花中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130033

在光学元件的数控加工中,面形精度是工艺流程的关键指标,而工件的安装误差是影响面形精度的重要因素。基于数控机床的在线检测功能研究了球面光学元件的安装倾斜误差自动补偿问题。首先,基于球面工件安装倾斜的几何模型,将误差的补偿问... 详细信息

在光学元件的数控加工中,面形精度是工艺流程的关键指标,而工件的安装误差是影响面形精度的重要因素。基于数控机床的在线检测功能研究了球面光学元件的安装倾斜误差自动补偿问题。首先,基于球面工件安装倾斜的几何模型,将误差的补偿问题转化为工件的球心位置检测问题。然后,根据球面工件测点的同心圆布置算法以及法向探测方式实现球面检测,进而应用最小二乘拟合算法计算球心位置。最后,在口径为280 mm,曲率半径为519.796 mm的凹球面光学元件上进行了验证实验,补偿前后表面最大偏移误差由621.6μm降低至2.8μm。实验结果表明:应用所述算法,可以高效地实现球面安装误差高精度自动补偿。

关键词：光学制造在线检测安装误差数控加工

纳米颗粒胶体动压空化射流抛光技术初探(英文)

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纳米技术与精密工程 2011年第6期9卷 483-487页

作者：王星张勇张飞虎张玲花周明哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨150001

为了高效加工优质的超光滑表面,提出了一种超光滑表面加工的新方法:纳米颗粒胶体动压空化射流抛光(HCJP).此法利用纳米颗粒与工件表面之间的界面化学反应实现工件表面的原子级去除,并且利用空化射流中的水力空化现象强化加工过程中的机... 详细信息

为了高效加工优质的超光滑表面,提出了一种超光滑表面加工的新方法:纳米颗粒胶体动压空化射流抛光(HCJP).此法利用纳米颗粒与工件表面之间的界面化学反应实现工件表面的原子级去除,并且利用空化射流中的水力空化现象强化加工过程中的机械与化学作用以提高加工效率.设计了HCJP原型装置,并在此基础上对HCJP技术进行了初步实验.结果表明,较低的系统压力有利于得到优质的表面,使用该方法能在K9玻璃上得到粗糙度值在1 nm左右的超光滑表面,证明此技术可以广泛应用于超光滑表面的加工.

关键词：动压空化射流抛光纳米颗粒胶体超光滑表面