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静电刚度式谐振微加速度计的结构设计和制造

重庆大学学报（自然科学版） 2011年第8期34卷 36-42页

作者：刘恒张凤田何晓平苏伟张富堂重庆大学通信工程学院重庆400044 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900

基于静电刚度的谐振式微加速度计能通过加载电压来调节灵敏度,减少了灵敏度对结构工艺误差的依赖性。根据单梁谐振加速度计的动力学原理,确定了输出频率与各活动结构位移的非线性关系。对于输出频率与加速度的复杂非线性求解问题,提出... 详细信息

基于静电刚度的谐振式微加速度计能通过加载电压来调节灵敏度,减少了灵敏度对结构工艺误差的依赖性。根据单梁谐振加速度计的动力学原理,确定了输出频率与各活动结构位移的非线性关系。对于输出频率与加速度的复杂非线性求解问题,提出在谐振梁刚度远大于折叠梁刚度条件下,可以有效的得到二者的解析关系式,为结构设计提供了约束条件。对于差分结构,推导了面内低阶模态方程,提出应减少音叉梁连接端的刚度系数来减少工艺误差造成的模态扰动误差。采用ICP干法体硅工艺,在很少的工艺步骤下能实现高深宽比结构的流片。实验测试发现结构完整可动,但存在同频干扰问题,提出了高频调制开关解调的信号处理办法。理论分析和实验测试为设计新型谐振式微加速度计提供了依据。

关键词：微加速度计静电刚度模态分析灵敏度

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静电刚度式谐振微加速度计闭环驱动控制

控制理论与应用 2011年第10期28卷 1405-1412页

作者：刘恒何晓平张凤田苏伟张富堂重庆大学通信工程学院重庆400030 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900

分析了谐振微加速度计闭环驱动控制的要求,并根据要求建立了幅度和频率自适应控制的双闭环驱动分析模型.鉴于系统的高阶非线性,采用近似平均法分析了系统的稳态平衡点和稳定条件.对基于锁相技术的频率跟踪环,得到了环路频率稳定跟踪的... 详细信息

分析了谐振微加速度计闭环驱动控制的要求,并根据要求建立了幅度和频率自适应控制的双闭环驱动分析模型.鉴于系统的高阶非线性,采用近似平均法分析了系统的稳态平衡点和稳定条件.对基于锁相技术的频率跟踪环,得到了环路频率稳定跟踪的积分控制器临界条件.对基于自动增益的幅度控制环,分析表明在没有PI控制器时不能实现恒幅振动,在引入PI控制器后,振动幅度与品质因数和频率无关;同时,较小的直流参考电压能实现同样大的振幅.仿真结果有效的验证了上述结论,理论分析和仿真有助于驱动电路的设计和调试.

关键词：加速度计谐振恒幅频率跟踪平均法

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会计模拟实验教程单项实验第二版

1995年

作者：张富堂

来源：汇雅图书（南通市图书馆... 评论

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小波能量积累器在信号处理中的应用

强激光与粒子束 2000年第5期12卷 610-614页

作者：李合生毛剑琴张富堂北京航空航天大学第七研究室北京100083 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳919501信箱621900

据小波变换的多尺度分解特性 ,提出了多尺度小波能量积累器的概念 ,并给出了相应的多尺度小波能量积累算法 ,将信号在不同分解尺度上的小波能量进行积累。在此基础上设计出一种适用于各种雷达 ,尤其是微波雷达弱信号处理的小波能量检测... 详细信息

据小波变换的多尺度分解特性 ,提出了多尺度小波能量积累器的概念 ,并给出了相应的多尺度小波能量积累算法 ,将信号在不同分解尺度上的小波能量进行积累。在此基础上设计出一种适用于各种雷达 ,尤其是微波雷达弱信号处理的小波能量检测算法 ,对低信噪比信号检测进行了仿真实验。结果表明 ,该检测算法对强白噪声及强色噪声背景下的低信噪比信号的检测非常有效。

关键词：信号处理检测概率小波能量积累器

高效液相色谱法测定安神补心丸中丹参酮Ⅱ_A的含量

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中国中药杂志 2002年第8期27卷 626-627页

作者：张富堂张蕾雷留成刘乃强河南省郑州市药品检验所河南郑州450003 河南省药品检验所河南郑州450003

安神补心丸由凡参、五味子、菖蒲安神膏（取合欢皮、菟丝子、墨旱莲、女贞子、首乌藤、地黄、珍珠经水煮两次后浓缩制成的浸膏）组成，具有养心安神的功能，临床上用于阴血不足引起的心悸，失眠，晕耳鸣。为>2000年版一部收载。现行药... 详细信息

安神补心丸由凡参、五味子、菖蒲安神膏（取合欢皮、菟丝子、墨旱莲、女贞子、首乌藤、地黄、珍珠经水煮两次后浓缩制成的浸膏）组成，具有养心安神的功能，临床上用于阴血不足引起的心悸，失眠，晕耳鸣。为>2000年版一部收载。现行药典标准中仅收载了丹参的蒲层鉴别方法，未见会计师测定方法的报道。方中丹参为君药，其有效成分为丹参酮IIA，本试验利用高效液相色谱法对丹参酮IIA进行了会含量测定。

关键词：含量测定高效液相色谱法安神补心丸丹参酮ⅡA

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管理会计

管理会计

1991年

作者：王文汉张富堂

来源：汇雅图书（南通市图书馆... 评论

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微机械音叉谐振器动力学分析与仿真

传感技术学报 2009年第3期22卷 325-330页

作者：刘恒何晓平苏伟张富堂重庆大学通信工程学院重庆400030 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900

根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间。对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%)。通过模态分析和结构... 详细信息

根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间。对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%)。通过模态分析和结构参数敏感性分析提出合理的选择参数可以使工作模态频率远离高阶模态频率,减少音叉梁固接端的弹性系数有利于抑制低阶模态的扰动。结构参数敏感性分析表明工作频率随音叉梁长度增大而减小,随其宽度的减小而增大,结构厚度对频率不产生影响。

关键词：微机械电子系统微谐振器双端固定音叉谐振频率参数模型

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静电梳齿执行器分辨率和稳定性分析

传感技术学报 2009年第1期22卷 34-37页

作者：刘恒苏伟何晓平张富堂重庆大学通信工程学院重庆400030 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900

通过探讨典型的静电梳齿执行器的分辨率和稳定性的机理,揭示目前研究的典型等高度静电梳齿执行器的横向位移与驱动电压具有非线性关系,分辨率存在线性度差的问题。鉴于目前大多数通过增加梳齿结构平面复杂度来改善分辨率的方法存在的微... 详细信息

通过探讨典型的静电梳齿执行器的分辨率和稳定性的机理,揭示目前研究的典型等高度静电梳齿执行器的横向位移与驱动电压具有非线性关系,分辨率存在线性度差的问题。鉴于目前大多数通过增加梳齿结构平面复杂度来改善分辨率的方法存在的微制造困难,本文提出在不显著影响横向位移的条件下通过改变梳齿结构高度来改善分辨率的方法,事例仿真结果验证了梳齿变高度方法对改善分辨率的有效性,同时得到在梳齿变高度条件下静电梳齿执行器的稳定性有细微的下降的结论。

关键词：静电梳齿微执行器分辨率变高度非线性

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一种新的回归变量选择方法

计算机应用与软件 2006年第5期23卷 113-115页

作者：李世玲张富堂中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900

本文就多元线性回归模型,提出一种回归变量选择方法,其基本思想是利用矩阵的扫描运算和变量间的相关性分析,根据自变量(回归变量)与因变量之间相关性越强对因变量的解释作用越强的原则,选择回归变量。用本文提出的方法选择回归变量,具... 详细信息

本文就多元线性回归模型,提出一种回归变量选择方法,其基本思想是利用矩阵的扫描运算和变量间的相关性分析,根据自变量(回归变量)与因变量之间相关性越强对因变量的解释作用越强的原则,选择回归变量。用本文提出的方法选择回归变量,具有降低回归模型复杂度、提高模型精确性和可靠性、便于工程实现的优点。仿真算例证实了该方法的有效性和可行性。

关键词：多元分析多重相关性扫描运算变量选择