检索结果-南通市图书馆

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

氮化硼薄膜的微结构及光学性能研究

氮化硼薄膜的微结构及光学性能研究

作者：张子昌电子科技大学

学位级别：硕士

氮化硼属于人工合成的III-V族半导体材料,而六方氮化硼作为良好的热导体和绝缘体的同时,与石墨烯的晶格也十分匹配,使其可以作为石墨烯器件的衬底或绝缘栅材料,在深紫外光电器件与大功率微电子器件领域有很广阔的应用前景。因此,近年来... 详细信息

氮化硼属于人工合成的III-V族半导体材料,而六方氮化硼作为良好的热导体和绝缘体的同时,与石墨烯的晶格也十分匹配,使其可以作为石墨烯器件的衬底或绝缘栅材料,在深紫外光电器件与大功率微电子器件领域有很广阔的应用前景。因此,近年来,高质量六方氮化硼薄膜的生长与制备成为了研究热点,但是由于生长条件苛刻,较难获得表面平整,且高纯度、高结晶质量的厚六方氮化硼薄膜。此外,目前对物理气相沉积法制备的六方氮化硼薄膜稳定性和微结构的研究较少。本文通过射频磁控溅射的方法,在Si(100)基片上制备六方氮化硼薄膜,分别改变溅射时间、衬底温度、溅射功率、衬底负偏压和溅射气体中的氮氩比,利用傅里叶红外光谱仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪和X射线衍射仪等设备仪器对六方氮化硼薄膜样品的光学性质、结晶质量、形貌特点、元素组分等进行测试表征,得到不同工艺参数对六方氮化硼薄膜相关性能可能产生的影响。制备得到了高质量六方氮化硼薄膜,主要工作包括以下几个部分:1.对比不同制备工艺对六方氮化硼薄膜稳定性的影响:(1)在制备薄膜之前通过提前高温烘烤真空腔体可以有效提高薄膜样品的稳定性,样品在空气中暴露72h后依然为较纯的六方氮化硼;(2)通过此方法制备出的样品都具有高度c轴择优取向性,特征峰峰值位于26.8°。2.改变靶材进行溅射的时间(30 min20 min),随着溅射时间的增加:(1)薄膜样品红外特征峰的强度越来越大,晶化质量越来越好,且在溅射初期,主要形成了c轴垂直于衬底的六方氮化硼薄膜;(2)薄膜样品的表面粗糙度越来越大,120min时柱状颗粒的高度起伏最大,为8.3 nm;(3)薄膜样品的厚度呈线性增长,沉积速率在6 nm/min左右。3.改变衬底的沉积温度(100℃00℃),随着衬底温度的上升:(1)薄膜样品红外特征峰的半高宽越来越小,晶化质量增强;(2)表面粗糙度越来越大,400℃时RMS值为3.265 nm,柱状颗粒的高度起伏达到最大值10.46 nm。4.改变靶材的溅射功率(100 W00 W),随着溅射功率的增大:(1)薄膜样品红外特征峰的强度不断增大,晶化质量不断提高;(2)薄膜表面的柱状颗粒越来越大,高度起伏也随之增大,300 W时高度起伏达12.66 nm,粗糙度增大至2.1 nm;(3)薄膜厚度从315.7 nm增大到937.4 nm,300 W时沉积速率最大,为7.81 nm。5.改变衬底的负偏压(0 V150 V),随着负偏压的不断增大:(1)样品红外特征峰的强度先增大后减小,说明晶化质量先增强,后减弱,-45 V时晶化质量最好,同时,特征峰的位置不断向高波数偏移,说明内应力越来越大;(2)薄膜的表面粗糙度不断增大,-150 V时RMS值达最大值22.8 nm,生长模式由层状生长转变为岛状生长,当负偏压过大时样品内应力过大,薄膜出现开裂和脱层的现象。6.改变气体组分中的氮氩比(60:0:1),随着氮气含量的不断上升:(1)薄膜样品红外特征峰的强度不断增大,并且少量的氮气组分就可以明显改善薄膜的晶化质量;(2)薄膜的表面粗糙度越来越大,最大值达2.56 nm;(3)薄膜样品的厚度先增大后减小,氮氩比为1:3时沉积速率最大,达6.76 nm;(4)溅射气体中的氮气比例的增大有助于抑制氧元素含量,同时也会平衡薄膜样品内的硼氮比,使其化学计量比更接近于1:1。

关键词：射频磁控溅射六方氮化硼薄膜表面形貌晶化质量

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

基于模型预测控制的潜艇水平面航迹控制算法

中国舰船研究 2019年第3期14卷 172-178页

作者：张子昌林莉徐雪峰赵光天津航海仪器研究所九江分部

[目的]为解决潜艇在水平面运动中的航迹控制问题,[方法]首先建立潜艇的水平面动力学和运动学模型,然后通过视线导航法(LOS)建立潜艇的水平面航迹控制误差模型,将水平面的航迹控制问题转化为跟踪动态的期望艏向角问题,最后针对该问题设... 详细信息

[目的]为解决潜艇在水平面运动中的航迹控制问题,[方法]首先建立潜艇的水平面动力学和运动学模型,然后通过视线导航法(LOS)建立潜艇的水平面航迹控制误差模型,将水平面的航迹控制问题转化为跟踪动态的期望艏向角问题,最后针对该问题设计基于状态空间形式的模型预测控制算法。[结果]仿真结果表明,提出的LOS与预测控制算法结合的航迹控制算法能够有效解决潜艇的航迹控制问题,且通过模型预测控制算法可解决潜艇方向舵舵角与舵速受约束的问题。[结论]设计的潜艇航迹控制算法对后续航迹控制系统的开发具有参考意义。

关键词：潜艇航迹控制视线导航法模型预测控制

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

光电量子器件研究进展(封面文章·特邀)

红外与激光工程 2024年第1期53卷 1-16页

作者：宋海智张子昌周强邓光伟代千王浟西南技术物理研究所量子研究中心四川成都610046 电子科技大学基础与前沿研究院四川成都611731 长春理工大学高功率半导体激光器实验室吉林长春130013

量子科技的发展多年来得到了光电技术的有力支撑,笔者团队由此进行了一系列光电量子器件的研究和开发。为在光纤量子通信中实现单光子信号的按需产生,笔者设计了几种微纳柱型光腔-量子点单光子源;发展了频分复用技术,研制了高纯度、高... 详细信息

量子科技的发展多年来得到了光电技术的有力支撑,笔者团队由此进行了一系列光电量子器件的研究和开发。为在光纤量子通信中实现单光子信号的按需产生,笔者设计了几种微纳柱型光腔-量子点单光子源;发展了频分复用技术,研制了高纯度、高全同的宣布式单光子源;利用GaN缺陷的单光子特性,制备了室温量子随机数发生器。笔者优化周期极化铌酸锂的级联波导结构设计,大幅提升了通信波段量子纠缠光源性能,使保真度高于97%,噪声特性提高10倍;设计和制备Si3N4微环腔纠缠源器件,实现了99%的干涉可见度,展示了芯片集成量子光源的技术可行性;应用所制备的纠缠光源,实现了数十千米光纤基量子密钥分发和量子隐形传态。笔者发展了单光子探测器制造工程,研制了用于太阳光谱量子测量的低噪声高速雪崩单光子探测器和用于量子成像的128×32及以上规模的雪崩焦平面单光子探测器。笔者制备了光纤基量子存储器,实现了1 650个光子模式的有效存储;研究了光机械量子器件的原理机制,探索了纳米光机电系统用于量子精密测量的技术前景。希望以上综述为未来量子信息网络的发展提供研究参考和技术储备。

关键词：光电子学量子器件量子信息单光子量子纠缠量子网络

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

农村学生语文阅读能力提升对策探微

成才之路 2020年第11期 60-61页

作者：张子昌甘肃省永昌县第三中学甘肃永昌737200

语文阅读能力是学习其他学科的基础,是每个人终身学习和发展的前提。提高学生的语文阅读能力,既是时代发展的需要,也是学生成长的需要。农村学校有些学生存在阅读能力相对低下的现象。文章针对农村学生阅读能力低下的原因进行分析,并提... 详细信息

语文阅读能力是学习其他学科的基础,是每个人终身学习和发展的前提。提高学生的语文阅读能力,既是时代发展的需要,也是学生成长的需要。农村学校有些学生存在阅读能力相对低下的现象。文章针对农村学生阅读能力低下的原因进行分析,并提出提高农村学生阅读能力的相应对策。

关键词：农村学校学生阅读能力提升对策阅读课阅读习惯阅读量

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

基于MPC算法的AUV空间航迹跟踪控制

舰船科学技术 2020年第12期42卷 86-91页

作者：张子昌徐雪峰侯成刚天津航海仪器研究所九江分部江西九江332007

为了解决AUV在空间运动中的路径点跟踪控制问题,参照水下航行器的建模方法,建立AUV的六自由度动力学和运动学模型,采用水平面视线导航法计算AUV指令航向,采用垂直面制导算法计算AUV的垂直面指令深度、指令纵倾和指令深度速率。针对AUV... 详细信息

为了解决AUV在空间运动中的路径点跟踪控制问题,参照水下航行器的建模方法,建立AUV的六自由度动力学和运动学模型,采用水平面视线导航法计算AUV指令航向,采用垂直面制导算法计算AUV的垂直面指令深度、指令纵倾和指令深度速率。针对AUV的水平面和垂直面控制,设计基于状态空间形式的模型预测控制算法。通过仿真表明,所提出的空间航迹控制算法能达到较高的控制精度,采用的指令深度+指令纵倾+指令深度速率的控制方法能使AUV尽快航行至指令轨迹并跟踪垂直面航迹。设计的空间路径点跟踪控制算法对AUV后续的控制系统开发具有一定的参考意义。

关键词： AUV 路径点跟踪视线导航法模型预测控制

屏蔽技术在电磁感应蒸汽发生器中的应用与分析

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

机械制造 2018年第5期56卷 33-35,44页

作者：单体坤张子昌青岛科技大学机电工程学院山东青岛266061

论述了电磁屏蔽的基本原理、屏蔽体的结构及材料选用原则。针对屏蔽技术在电磁感应蒸汽发生器中的应用进行试验研究,确认高导磁性材料和高导电性材料复合应用能有效降低外部钣金温度,取得最优的屏蔽效果。

关键词：电磁屏蔽蒸汽发生器材料应用试验

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

6061铝合金表面激光粗化技术研究

中国激光 2024年第16期51卷 100-109页

作者：李春杜欣蔚杜宝宪张子昌马康智李婷倪立勇曾一兵航天材料及工艺研究所表面工程事业部北京100176 航天材料及工艺研究所研发处北京100176

采用激光表面处理技术对6061铝合金薄壁件进行表面粗化,并与用常规喷砂工艺处理的样品进行对比。研究了激光表面处理技术对6061铝合金表面显微形貌、物相组成和粗糙度的影响,测试了3种典型涂料在6061铝合金表面的润湿性和附着力。结果表... 详细信息

采用激光表面处理技术对6061铝合金薄壁件进行表面粗化,并与用常规喷砂工艺处理的样品进行对比。研究了激光表面处理技术对6061铝合金表面显微形貌、物相组成和粗糙度的影响,测试了3种典型涂料在6061铝合金表面的润湿性和附着力。结果表明,脉冲激光束将铝合金瞬间气化或熔融,并在其表面形成圆斑,周围的飞溅颗粒表面有薄氧化层;其表面粗糙度随处理次数的增加呈线性增加,处理次数为5次时与喷砂处理结果接近(表面粗糙度为4~5μm);不同涂料的表面接触角不同,且与激光处理次数相关;3种典型涂料在激光粗化处理后6061铝合金表面的附着力为0级或1级,结合力优异。激光表面粗化有望作为铝合金有机涂料喷涂前处理工艺来替代喷砂处理工艺。

关键词：激光技术激光表面粗化 6061铝合金润湿角附着力

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

基于DMPC的船舶航向控制算法研究

舰船科学技术 2024年第7期46卷 46-51页

作者：张子昌谌兴良孙灵远沈东欧阳盼天津航海仪器研究所天津300130

针对船舶高航速下强机动时易出现大横倾和高海况下的频繁操舵问题,采用离散型模型预测控制(DMPC)理论提出一种基于转向速率和舵角舵速约束条件下的航向机动控制策略,通过控制转向过程中的航向速率限制高速转向过程中的最大横倾。针对海... 详细信息

针对船舶高航速下强机动时易出现大横倾和高海况下的频繁操舵问题,采用离散型模型预测控制(DMPC)理论提出一种基于转向速率和舵角舵速约束条件下的航向机动控制策略,通过控制转向过程中的航向速率限制高速转向过程中的最大横倾。针对海浪干扰特性,通过忽略舵角舵速的约束条件得到线性的DMPC控制器形式并引入辅助滤波器,校正控制器在海浪干扰频率段的频响特性,达到减小无效操舵的目的。仿真数据表明,所设计的基于内环航向速率的航向控制算法能有效地解决船舶高航速机动时的大横倾问题,引入辅助滤波器之后能有效减少船舶在海浪干扰下的操舵频率,显著提高了船舶快速机动时的平稳性和安全性。

关键词：船舶航向控制模型预测控制辅助滤波器

用于量子通信的增益开关半导体激光器研究进展

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

光学学报 2022年第3期42卷 113-128页

作者：彭柏语袁晨智张瑞明沈思张子昌李加睿林毅邓光伟王浟宋海智周强电子科技大学基础与前沿研究院四川成都610054 西南技术物理研究所四川成都610041

量子通信是当前量子信息领域的研究前沿和热点。增益开关半导体激光产生技术是一种实现脉冲激光产生的成熟方法,将其与注入锁定技术结合,可以满足量子通信应用对激光脉冲的需求。系统地介绍了增益开关半导体激光器的工作原理和注入锁定... 详细信息

量子通信是当前量子信息领域的研究前沿和热点。增益开关半导体激光产生技术是一种实现脉冲激光产生的成熟方法,将其与注入锁定技术结合,可以满足量子通信应用对激光脉冲的需求。系统地介绍了增益开关半导体激光器的工作原理和注入锁定方案,以及其在量子密钥分发、量子随机数产生等方面的应用现状,着重从物理原理、实验方案和最新研究进展等方面进行阐述,并对其下一步的发展进行简要展望。

关键词：量子光学量子通信增益开关技术半导体激光器注入锁定技术