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钴互连CMP浆料中的界面腐蚀行为研究

电化学 2022年

作者：秦凯旋常鹏飞黄钰林李明杭弢上海交通大学材料科学与工程学院

芯片互连层进行化学机械抛光（CMP）时，抛光液对互连金属的腐蚀问题是影响抛光后表面质量的重要因素。本文在含有氧化剂过硫酸钾（KPS）、络合剂甘氨酸（Gly）和缓蚀剂苯骈三氮唑（BTA）的抛光液体系中，对互连金属钴的界面腐蚀行为进...

芯片互连层进行化学机械抛光（CMP）时，抛光液对互连金属的腐蚀问题是影响抛光后表面质量的重要因素。本文在含有氧化剂过硫酸钾（KPS）、络合剂甘氨酸（Gly）和缓蚀剂苯骈三氮唑（BTA）的抛光液体系中，对互连金属钴的界面腐蚀行为进行了研究。结果显示，强氧化剂KPS在互连层抛光液中并不能使钴表面形成稳定钝化，需要进一步引入BTA以抑制过度腐蚀。静态腐蚀实验和扫描电子显微镜观察显示，BTA能有效地降低钴在抛光液中的腐蚀，提高表面质量，电化学测试计算出其缓蚀效率最高可达99.02%。电化学阻抗谱和X射线光电子能谱揭示了腐蚀过程机理： Gly的加入可以溶解钴表面的二价及三价氧化物，破坏KPS形成的钝化层，BTA的引入会大幅增加电化学腐蚀过程的电荷转移电阻，从而抑制抛光液对钴的腐蚀。

关键词：

“双减”背景下小学排球校本课程优化策略研究

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体育视野 2023年第3期 59-61页

作者：常鹏飞南京体育学院

小学排球校本课程的实施,有利于学校体育育人功能的实现。运用文献资料法和逻辑分析法,研究了小学排球校本课程在“双减”背景下开展的必要性和现实困境。结果表明,小学排球校本课程存在课堂教学开展效果差、排球社团形式化、课程缺乏... 详细信息

小学排球校本课程的实施,有利于学校体育育人功能的实现。运用文献资料法和逻辑分析法,研究了小学排球校本课程在“双减”背景下开展的必要性和现实困境。结果表明,小学排球校本课程存在课堂教学开展效果差、排球社团形式化、课程缺乏跨学科主题教学和课程机制保障不健全的问题。建议提高排球课堂教育教学质量,增强排球社团在课后服务中的育人作用,加强排球课程跨学科主题教学,建立排球课程多方保障机制。

关键词： “双减”政策小学排球校本课程

钴互连化学机械抛光浆料中的界面腐蚀行为研究

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电化学 2022年第6期28卷 81-89页

作者：秦凯旋常鹏飞黄钰林李明杭弢上海交通大学材料科学与工程学院上海200240

芯片互连层进行化学机械抛光(CMP)时,抛光液对互连金属的腐蚀问题是影响抛光后表面质量的重要因素。本文在含有氧化剂过硫酸钾(KPS)、络合剂甘氨酸(Gly)和缓蚀剂苯骈三氮唑(BTA)的抛光液体系中,对互连金属钴的界面腐蚀行为进行了研究。... 详细信息

芯片互连层进行化学机械抛光(CMP)时,抛光液对互连金属的腐蚀问题是影响抛光后表面质量的重要因素。本文在含有氧化剂过硫酸钾(KPS)、络合剂甘氨酸(Gly)和缓蚀剂苯骈三氮唑(BTA)的抛光液体系中,对互连金属钴的界面腐蚀行为进行了研究。结果显示,强氧化剂KPS在互连层抛光液中并不能使钴表面形成稳定钝化,需要进一步引入BTA以抑制过度腐蚀。静态腐蚀实验和扫描电子显微镜观察显示,BTA能有效地降低钴在抛光液中的腐蚀,提高表面质量,电化学测试计算出其缓蚀效率最高可达99.02%。电化学阻抗谱和X射线光电子能谱揭示了腐蚀过程机理:Gly的加入可以溶解钴表面的二价及三价氧化物,破坏KPS形成的钝化层,BTA的引入会大幅增加电化学腐蚀过程的电荷转移电阻,从而抑制抛光液对钴的腐蚀。

关键词：钴互连化学机械抛光腐蚀甘氨酸苯骈三氮唑

“《青春万岁》热”:20世纪50年代革命理想主义的复归与重构

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汉语言文学研究 2023年第2期14卷 20-29页

作者：常鹏飞中国海洋大学文学与新闻传播学院

既往研究对“《青春万岁》热”的认知往往带有“后见之明”。在“热”的背后,实则经由小说出版与电影改编之初的遭受“冷遇”,再到小说获奖与电影上映后引发“热议”的曲折。而通过对“左”的指摘的抗辩与对“现实意义”的伸张,革命理... 详细信息

既往研究对“《青春万岁》热”的认知往往带有“后见之明”。在“热”的背后,实则经由小说出版与电影改编之初的遭受“冷遇”,再到小说获奖与电影上映后引发“热议”的曲折。而通过对“左”的指摘的抗辩与对“现实意义”的伸张,革命理想主义亦在其时重新获得了理解与认同。同时,在对其时代逻辑的调适与更新中,也生成了能够弥合革命理想与个体需求之间结构性断裂的“新理想主义”,从而在“革命”受挫之后得以构造出新的社会想象。也正因此,重新考察“《青春万岁》热”,为我们重新认识、思考革命与理想主义乃至当代思想探索与社会实践,提供了别样的借镜和可能。

关键词：《青春万岁》革命理想主义复归重构

报告文学的德性与可能——以铁流《靠山》为中心

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中国当代文学研究 2022年第4期 160-166页

作者：温奉桥常鹏飞中国海洋大学文学与新闻传播学院

《靠山》是一部着重反映革命年代人民群众支前事迹的报告文学作品。其有意在传统的写作秩序当中另辟新路,掘发遗落的“集体记忆”,为过往留存证言,为记忆重新赋形。作品借由重构革命历史的“行为”,不仅以“在场者”的姿态重建起历史与... 详细信息

《靠山》是一部着重反映革命年代人民群众支前事迹的报告文学作品。其有意在传统的写作秩序当中另辟新路,掘发遗落的“集体记忆”,为过往留存证言,为记忆重新赋形。作品借由重构革命历史的“行为”,不仅以“在场者”的姿态重建起历史与现实的关联,更得以生成一种返观历史、理解当下的“认识性装置”。因而,《靠山》亦是考察报告文学的一个样本,显示出当下报告文学创作的德性与可能。

关键词：铁流《靠山》行动民间立场

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智能化指挥控制系统发展研究

计算机应用文摘 2022年第10期38卷 91-93页

作者：常鹏飞北京总队北京100027

随着信息技术高速发展,指挥控制系统经历了C^(2)系统、C^(3)I系统、C^(4)I系统、C^(4)ISR系统、C^(4)ISRK系统的迭代升级。文章对智能化指挥控制系统进行了研究和分析,预测了智能化发展趋势,希望为信息技术的发展提供参考。

关键词：智能化信息技术指挥控制系统效能评估

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新能源电力系统分布式模型预测负荷频率控制

电气传动 2022年第20期52卷 70-75页

作者：张怡常鹏飞华北理工大学电气工程学院河北唐山063210

随着大规模风电、光伏发电在电网中的不断渗透,新能源机组参与到负荷频率控制中已成必然。然而,由于风电和光伏发电出力不稳定,并入电网后会影响电网的有功平衡,进而引起频率不稳定。针对含有常规机组、风电机组和光伏机组的新能源电力... 详细信息

随着大规模风电、光伏发电在电网中的不断渗透,新能源机组参与到负荷频率控制中已成必然。然而,由于风电和光伏发电出力不稳定,并入电网后会影响电网的有功平衡,进而引起频率不稳定。针对含有常规机组、风电机组和光伏机组的新能源电力系统研究提出了一种基于分布式模型预测的负荷频率控制方法。该控制器通过系统中的状态信息和预测数据,同时考虑相邻控制区域的信息和系统约束,求解得到各区域控制量以实现局部目标的有效协调。仿真对比结果表明采用该方法的系统动态响应性能表现更佳。

关键词：负荷频率控制分布式模型预测控制风电光伏

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少儿期刊如何逆流而上,顺势而为

采写编 2022年第1期 134-135页

作者：常鹏飞读者出版传媒股份有限公司《故事作文》

期刊发展的形势越来越严峻,我们如何应对如此恶劣的大环境,让自己不断壮大?首先,要利用对自己有利的客观条件,比如国家、儿童家长对儿童使用电子产品的限制,比如利用国家提倡全民阅读的时机,比如利用中高考对语文的重视。其次,要发挥主... 详细信息

期刊发展的形势越来越严峻,我们如何应对如此恶劣的大环境,让自己不断壮大?首先,要利用对自己有利的客观条件,比如国家、儿童家长对儿童使用电子产品的限制,比如利用国家提倡全民阅读的时机,比如利用中高考对语文的重视。其次,要发挥主观能动性。最后,要利用各种手段顺势而为。

关键词：少儿期刊逆流而上转型升级

基于AHP-TOPSIS组合模型的黄河流域水利风景区景观质量评价

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