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检索条件"作者=崔天宏"
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硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究
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仪表技术与传感器 1998年 第8期 10-13页
作者: 崔天宏 周兆英 王晓浩 叶雄英 杨岳 清华大学精密仪器系
本文提出了一种新结构的硅微热致动泵,着重对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究,可为国内相关领域的研究提供一定的参考。
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微机械中超声微电机的研究
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仪器仪表学报 1995年 第S1期16卷 275-278页
作者: 崔天宏 王立鼎 吕琼莹 中国科学院长春光学精密机械研究所
作为微机械的动力源,超声微电机具有诸多优良性能,一直是微机械研究的热点技术之一。首先,本文类比了几种微机械意义上的微电机,指出了超声微电机的独特优点,提出了研究超声微电机的重大意义。接着,作者运用粗糙度理论,对广义瑞... 详细信息
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压电微马达的动力学原理及实验研究
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仪器仪表学报 1996年 第S1期17卷 330-333页
作者: 崔天宏 王立鼎 吕琼莹 中国科学院长春光机所
本文以接触力学为基础,首次提出压电微马达的广义赫兹接触动力学基本原理,在此基础上进行了压电微马达的模型实验研究,理论与实验结果基本上一致,从而验证了压电微马达动力学原理的正确性。
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压电微电机压电振子特性分析
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仪器仪表学报 1996年 第S1期17卷 280-283页
作者: 马建旭 王立鼎 崔天宏 吕琼莹 中国科学院长春光学精密机械研究所
本文对行波式压电微电机定子的圆片形压电振子进行了研究,分析其振动特性和该振子中传动波的形成机理。以上研究为全面研究压电微电机提供了必要的理论基础。
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无源压力传感器Q值对信号传输性能的影响(英文)
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纳米技术与精密工程 2012年 第5期10卷 429-433页
作者: 熊继军 杨芳 梁庭 牛坤旺 李叶 王凯 崔天宏 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室 太原030051 美国明尼苏达大学机械工程系 双城市55455
为了解决无源压力传感器的无线信号传输性能问题,采用环氧树脂基底制作无源压力传感器模拟结构.传感器无线测试装置由共振电容空腔和感应线组成,内部无需有源器件、电池等.通过改变压力敏感结构电感线的金属层厚度和线宽等因素来研... 详细信息
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基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片
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压电与声光 2006年 第3期28卷 335-337,340页
作者: 佟建华 刘梦伟 王兢 崔天宏 王立鼎 大连理工大学微系统研究中心 辽宁大连116023 大连理工大学电子与信息工程学院 辽宁大连116023 Dept. of Mechanical Engineering University of Minnesota
为了测量毫克级的微小力,设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了厚度不同(300-800nm)的锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)薄膜,薄膜表面均匀,无裂纹。通过... 详细信息
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微型机械研究的现状及展望
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科技导报 1993年 第12期11卷 42-45页
作者: 王立鼎 崔天宏 吕琼莹 中国科学院长春光学精密机械研究所 长春130022
微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。
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IH工艺在微机械中的应用
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光学精密工程 1994年 第6期2卷 18-23页
作者: 崔天宏 王立鼎 吕琼莹 汪洪涛 中国科学院长春光学精密机械研究所 吉林工业学院材料系
介绍了微机械加工中的一项崭新技术——IH工艺,即集成聚合物固化立体光刻。这一技术是具有大纵横比的真三维立体加工工艺,而且可以加工聚合物和金属等多种材料。最后作者把IH工艺同LIGA工艺等传统工艺方法加以类比,提出了I... 详细信息
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电活性聚合物薄膜柔性结构的动态特性分析与实验
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光学精密工程 2012年 第12期20卷 2728-2736页
作者: 张冬至 崔天宏 中国石油大学(华东)信息与控制工程学院 山东青岛266580 明尼苏达大学机械工程系 美国明尼阿波利斯55455
针对用电活性聚合物(EAP)薄膜制造柔性智能器件提出的理论模型和性能要求,采用一种铁电高分子聚合物薄膜制作了柔性结构器件,建立了它的动力学方程、振动行为模型及其机电性能描述。研究了预张力-抗弯刚度、驱动电压、器件几何参数对柔... 详细信息
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纳米级定位技术
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光机电世界 1993年 第2期10卷 7-11,29页
作者: 崔天宏 王立鼎
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