检索结果-南通市图书馆

MEMS环形谐振陀螺的结构设计与振动特性分析

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中国惯性技术学报 2018年第2期26卷 275-280页

作者：寇志伟刘俊曹慧亮石云波张英杰中北大学电子测试技术国防科技重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 内蒙古工业大学呼和浩特010051

针对环形谐振陀螺谐振结构特性参数相同、检测灵敏度高、温度与抗干扰特性好等特点,提出了一种新颖的S形挠曲支撑梁的电容式环形谐振陀螺。其环形谐振子的刚度系数、固有频率等振动特性参数是陀螺结构优化、模态控制、驱动与检测电路设... 详细信息

针对环形谐振陀螺谐振结构特性参数相同、检测灵敏度高、温度与抗干扰特性好等特点,提出了一种新颖的S形挠曲支撑梁的电容式环形谐振陀螺。其环形谐振子的刚度系数、固有频率等振动特性参数是陀螺结构优化、模态控制、驱动与检测电路设计的主要理论参数。为了得到该陀螺精确的谐振子特性参数,基于角度敏感原理、谐振结构的材料力学性能与机械振动特性,推导了谐振结构的等效刚度系数与固有频率的理论模型,并且分别进行了有限元仿真分析与样机频率特性测试。结果表明该理论模型计算的固有频率与有限元分析的误差为7.0820%,与样机实际测试的误差为3.9035%,证明了理论模型的正确性,为该陀螺的进一步研究提供了理论依据。

关键词： MEMS 环形谐振陀螺结构设计振动特性固有频率

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微机电固态波动陀螺敏感结构设计与分析

内蒙古工业大学学报（自然科学版） 2023年第2期42卷 163-168页

作者：寇志伟孔哲陈苏力德卢普州内蒙古工业大学电力学院呼和浩特010051 内蒙古工业大学内蒙古自治区机电控制重点实验室呼和浩特010051

基于微机电固态波动陀螺的工作原理,设计了一种全对称的S形弹性梁环形波动陀螺敏感结构。首先设计了微机电环形固态波动陀螺的环形敏感结构,并分析了其动力学方程与角度敏感原理。其次,在有限元软件中建立了S形弹性梁环形波动陀螺敏感... 详细信息

基于微机电固态波动陀螺的工作原理,设计了一种全对称的S形弹性梁环形波动陀螺敏感结构。首先设计了微机电环形固态波动陀螺的环形敏感结构,并分析了其动力学方程与角度敏感原理。其次,在有限元软件中建立了S形弹性梁环形波动陀螺敏感结构的微机械模型,仿真分析了敏感结构的运动模态与幅频响应。模态仿真表明该S形弹性梁环形波动陀螺敏感结构的1~10阶模态中,中心频率为9.2897~9.2914 kHz的第7、8阶模态为面内的四波腹椭圆弯曲振动,可以作为环形陀螺的基础工作模态。幅频响应分析表明在0~10 kHz的频段上只有一个振动模态被激发且中心频率为9.2897、9.2914 kHz,谐振幅值为0.673μm,该模态的频率与模态分析的中心频率一致,验证了敏感结构设计的合理性,为其进一步的研究与工程化提供了必要的理论基础。

关键词：微机电固态波动陀螺敏感结构运动模态幅频响应

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新工科背景下“电磁场理论”课程研究与建设

电气电子教学学报 2023年第6期45卷 33-37页

作者：寇志伟李永亭刘利强王刚内蒙古工业大学电力学院呼和浩特010051

从新工科对“电磁场理论”课程教学改革的现实意义出发,提出了课程的新工科建设思路,实践了以学生发展为中心的线上线下深度融合的工程导向型闭环教学模式,并且在教学过程中持续动态改进了该教学模式。教学实践表明,课程的建设与教学模... 详细信息

从新工科对“电磁场理论”课程教学改革的现实意义出发,提出了课程的新工科建设思路,实践了以学生发展为中心的线上线下深度融合的工程导向型闭环教学模式,并且在教学过程中持续动态改进了该教学模式。教学实践表明,课程的建设与教学模式实施有效激发了学生的学习兴趣,提升了教学目标的达成度与课程的延伸参与度,较好地实践了新工科的建设内涵,对于新形势下新工科课程的建设与实践具有重要的意义。

关键词：电磁场理论新工科课程思政

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电容式环形微机电振动陀螺的设计

光学精密工程 2019年第4期27卷 842-848页

作者：寇志伟曹慧亮石云波张英杰刘俊中北大学电子测试技术国防科技重点实验室山西太原030051 内蒙古工业大学电力学院内蒙古呼和浩特010051

针对环形振动陀螺结构对称、模态特性参数相同与抗干扰特性好的特点,提出了一种新型的电容式环形微机电振动陀螺。设计了S形弹性支撑梁形式的硅基环形振动陀螺敏感结构,并仿真分析了陀螺的工作模态与幅频响应特性。根据环形振动陀螺的... 详细信息

针对环形振动陀螺结构对称、模态特性参数相同与抗干扰特性好的特点,提出了一种新型的电容式环形微机电振动陀螺。设计了S形弹性支撑梁形式的硅基环形振动陀螺敏感结构,并仿真分析了陀螺的工作模态与幅频响应特性。根据环形振动陀螺的动力学特性,研究了陀螺的机电接口形式与硅基电极的设置方法,建立了硅基电极的电学参数模型与陀螺的角速度敏感模型。基于深离子刻蚀技术设计了简单可行的传感器制备流程,并成功制备了陀螺的敏感结构。实验测试结果显示,该环形微机电振动陀螺驱动与检测模态的谐振频率分别为9 028.86Hz与9 036.15Hz,品质因数分别为25 051与25 026,标度因数为0.589 7mV/((°)·s^(-1))。实验结果验证了陀螺设计与研究方法的正确性,为高性能硅基微机电陀螺的研制提供了一种可行的方案。

关键词：微机电系统环形微机电陀螺敏感结构电容电极加工工艺