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超临界二氧化碳介质中晶圆清洗与选择性刻蚀研究进展

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化工学报 2024年第1期75卷 110-119页

作者：张泽欣郑伟中徐益升胡冬冬卓欣宇宗原孙伟振赵玲华东理工大学化学工程联合国家重点实验室上海200237

随着集成电路特征尺寸的逐渐减小,器件结构会要求更高的纵横比,常规湿法清洗由于表面张力很难进入晶圆深沟槽结构内部,不能满足更细线条工艺要求和高深宽比结构,直接影响沟槽内的污染物去除效果;常规湿法刻蚀各向异性差、结构坍塌严重... 详细信息

随着集成电路特征尺寸的逐渐减小,器件结构会要求更高的纵横比,常规湿法清洗由于表面张力很难进入晶圆深沟槽结构内部,不能满足更细线条工艺要求和高深宽比结构,直接影响沟槽内的污染物去除效果;常规湿法刻蚀各向异性差、结构坍塌严重、深沟槽刻蚀效果不明显;而等离子体干法刻蚀则存在刻蚀速率慢、光刻胶脱落和黏附、结构损伤、废气处理等一系列问题。超临界清洗和刻蚀技术是最具有前景的环境友好、无损伤技术,能够耦合刻蚀、清洗与干燥工艺为一体,且可以循环使用,安全环保,是晶圆制造过程中常规清洗和刻蚀的首选替代技术。综述了超临界二氧化碳中晶圆清洗与选择性刻蚀的研究进展,重点介绍了超临界二氧化碳共溶剂、微乳液体系在光刻胶剥离以及含硅基底选择性蚀刻中的应用,展望了超临界二氧化碳晶圆清洗和刻蚀存在的问题和发展趋势。

关键词：晶圆清洗晶圆刻蚀超临界二氧化碳超临界流体微乳液

肖邦《降A大调第三叙事曲》线上线下相结合钢琴教学模式探索及教学研究

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肖邦《降A大调第三叙事曲》线上线下相结合钢琴教学模式探索及教...

作者：宗原四川音乐学院

学位级别：硕士

线上教学在当今科技助力下正蓬勃发展,有关音乐和钢琴的教学活动中也加入了很多线上教学元素,使得教学活动更加灵活、内容更加丰富。肖邦降A大调第三叙事曲是一首经典钢琴作品,作为教学和演奏都有丰富的内涵可以挖掘,同样该曲目的教学... 详细信息

线上教学在当今科技助力下正蓬勃发展,有关音乐和钢琴的教学活动中也加入了很多线上教学元素,使得教学活动更加灵活、内容更加丰富。肖邦降A大调第三叙事曲是一首经典钢琴作品,作为教学和演奏都有丰富的内涵可以挖掘,同样该曲目的教学方式上也可以融合线下与线上两种模式进行教学。在疫情形式之下,传统的一对一、讲座等教学无法开展进行,单单文字又无法详细作为钢琴专业课来进行教学,于是作者进行了一些线上课程探索,找到了几种比较合适在线上进行的钢琴专业课程方式,最后对几种方式总结思考,对钢琴教学的线上课程进行探索,同时思考混合模式教学的意义与发展。

关键词：肖邦第三叙事曲（Op.47）线上教学混合模式教学

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吉祥航空交叉持股效应案例研究

吉祥航空交叉持股效应案例研究

作者：宗原沈阳工业大学

学位级别：硕士

基于MP-PIC方法的冶金硅氢氯化流化床反应器模拟

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化工学报 2022年第10期73卷 4419-4428页

作者：吴诗鸣陈皓宁宗原许志美赵玲华东理工大学化学工程联合国家重点实验室上海200237

冶金硅氢氯化流化床是目前多晶硅生产工艺中实现四氯化硅(silicontetrachloride,STC)循环利用的关键反应器。基于MP-PIC方法建立了冶金硅氢氯化流化床反应器模型。模型中反应源项采用总包反应动力学进行计算。在网格以及计算颗粒包含的... 详细信息

冶金硅氢氯化流化床是目前多晶硅生产工艺中实现四氯化硅(silicontetrachloride,STC)循环利用的关键反应器。基于MP-PIC方法建立了冶金硅氢氯化流化床反应器模型。模型中反应源项采用总包反应动力学进行计算。在网格以及计算颗粒包含的真实颗粒数量无关性检验的基础上,对反应器内三氯氢硅(trichlorosilane,TCS)初始浓度进行了无关性检验。模型验证结果表明,模拟结果与实验值符合良好。反应器特征分析结果表明:TCS产率受化学平衡与气固两相流动因素共同控制;反应器操作压力对TCS产率的影响较小;提高进口H_(2)/STC摩尔比,可以提高TCS产率但会降低H_(2)的转化率。

关键词：多晶硅氢氯化流化床反应器计算流体力学 MP-PIC

上游风力机偏航对于下游风力机气动特性的影响

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可再生能源 2024年第6期42卷 760-766页

作者：徐强徐宗原朱霄珣陈军高晓霞国网新疆电科院新疆乌鲁木齐830011 华北电力大学(保定) 河北保定071003

针对倾斜尾迹导致下游风力机受到不平衡的气动载荷,疲劳载荷显著增加的问题,文章基于FAST.Farm开源软件,研究了在NREL 5 MW风力机错列布局下,上游风力机偏航对于下游风力机气动特性的影响。研究结果表明:随着上游风力机偏航角度的增加,... 详细信息

针对倾斜尾迹导致下游风力机受到不平衡的气动载荷,疲劳载荷显著增加的问题,文章基于FAST.Farm开源软件,研究了在NREL 5 MW风力机错列布局下,上游风力机偏航对于下游风力机气动特性的影响。研究结果表明:随着上游风力机偏航角度的增加,下游风力机逐渐处于尾流风速亏损的核心区域,其风轮输出功率的减少量显著增大,风轮所承受的推力逐渐降低;相较于上游风力机未偏航的情况,当上游风力机偏航角度为40°时,下游风力机叶根处倾覆力矩的标准差增加了50.5%,波动性显著增大。该研究结果可为整场控制协同优化和偏航入流下的风力机气动特性分析提供参考。

关键词：风力机错列布局 FAST.Farm 偏航控制气动特性

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单螺杆挤出机中停留时间分布的数值模拟

华东理工大学学报（自然科学版） 2011年第6期37卷 673-678页

作者：宗原戴干策华东理工大学化学工程联合国家重点实验室上海200237

将单螺杆挤出机简化为三维方腔,利用粒子轨迹跟踪技术和有限元法研究了螺杆转速和物料弹性对挤出机内停留时间分布的影响;同时,利用"完整模型"拟合了实验数据,分别定量表征了流道中活塞流、全混流和死区所占的体积分数。结果表明,聚合... 详细信息

将单螺杆挤出机简化为三维方腔,利用粒子轨迹跟踪技术和有限元法研究了螺杆转速和物料弹性对挤出机内停留时间分布的影响;同时,利用"完整模型"拟合了实验数据,分别定量表征了流道中活塞流、全混流和死区所占的体积分数。结果表明,聚合物在螺槽中的运动以活塞流为主,并存在全混流和死区,全混流与死区之间存在混合;物料的流变性质和操作条件的改变对其流动形式有影响。

关键词：停留时间分布有限元模拟单螺杆挤出机

轻质热塑性复合片材浸渍过程中的格子Boltzmann方法模拟

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化工学报 2011年第12期62卷 3545-3553页

作者：宗原孙斌戴干策华东理工大学化学工程联合国家重点实验室上海200237

应用REV尺度的格子Boltzmann方法模拟了树脂沿轻质毡厚度方向的流动过程,考察了加压方式、载荷、温度、双钢带压机结构等对浸渍的影响,为浸渍速度和浸渍时间的预测提供了一种新方法。结果表明:与平板压机相比,双钢带压机通过施加高低交... 详细信息

应用REV尺度的格子Boltzmann方法模拟了树脂沿轻质毡厚度方向的流动过程,考察了加压方式、载荷、温度、双钢带压机结构等对浸渍的影响,为浸渍速度和浸渍时间的预测提供了一种新方法。结果表明:与平板压机相比,双钢带压机通过施加高低交替的压力更能有效地浸渍轻质毡,缩短浸渍时间。另外发现,浸渍不仅与树脂最大浸渍速度有关,还取决于片材在高压区的停留时间。通过增加载荷或升高温度均可提高树脂最大速度,而片材在高压区的停留时间则对压机辊柱直径及载荷更为敏感,仅依靠调节钢带运行速度不能达到缩短浸渍时间的目的。

关键词：格子Boltzmann方法轻质热塑性复合片材双钢带压机浸渍

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《长安三万里》:千古风韵,诗意表达

上海人大月刊 2023年第8期 55-56页

作者：宗原上海市人大教科文卫委立法监督处

进电影院的时候,《长安三万里》刚上映第二天,还是一部寂寂无名的影片。缘起也很偶然,只因前一天临睡前刷到了一条朋友圈,盛赞它是“极致浪漫的中国美学”。配图是江面一轮硕大的明月,月光皎皎,乌雀环绕,扁舟之上,立有一人。嘿,这电影... 详细信息

进电影院的时候,《长安三万里》刚上映第二天,还是一部寂寂无名的影片。缘起也很偶然,只因前一天临睡前刷到了一条朋友圈,盛赞它是“极致浪漫的中国美学”。配图是江面一轮硕大的明月,月光皎皎,乌雀环绕,扁舟之上,立有一人。嘿,这电影海报长在我的审美上啊!于是我迅速转入了购票页面,心想,国产动画,怎么也得支持一下,就算不好看,权当是陪娃消遣了。直至临开场前,我才发现这影片时长居然要接近三个小时。我有点犯愁,这满场的娃能坐得住吗?什么样的动画故事又值得三个小时的时长?所幸导演用实力给出了回答:盛唐风貌,千古文章,流光溢彩,荡气回肠。

关键词：诗意表达电影海报国产动画朋友圈长安电影院

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基于CFD的强化裂解炉管设计

化工学报 2017年第2期68卷 660-669页

作者：柏德鸿宗原赵玲化学工程联合国家重点实验室华东理工大学上海200237

通过计算流体力学(CFD)的方法,将丙烷裂解反应动力学与流动方程、能量方程耦合,考察了在普通裂解炉管中加装中空立交盘(hollow cross-disk,HCD)内构件对管内流动及裂解反应的影响。结果发现,HCD内构件通过壁面几何形状变化重布了流场结... 详细信息

通过计算流体力学(CFD)的方法,将丙烷裂解反应动力学与流动方程、能量方程耦合,考察了在普通裂解炉管中加装中空立交盘(hollow cross-disk,HCD)内构件对管内流动及裂解反应的影响。结果发现,HCD内构件通过壁面几何形状变化重布了流场结构,以合理的压力损失为代价产生径向速度,并诱导产生纵向涡剪切破坏边界层,强化了流体的湍动程度,降低热阻,提高了温度分布均匀性。相比于普通炉管,加入中空立交盘后,裂解管丙烷转化率提高7.24%,烯烃选择性提高3.67%,乙烯收率降低0.87%,但丙烯收率大幅上升16.50%,烯烃总收率上升6.94%。此外发现,纵向涡产生的径向流动促进了近壁区高温流体和管中心区相对低温流体的换位,流体温度最高下降了0.7℃;与普通炉管相比,新型裂解管出口处重组分浓度下降了28.33%,说明加入中空立交盘可防止近壁面高温区域过度裂解,有助于抑制结焦。在此基础上,结合模拟所得的场分布数据,定量分析了HCD强化传热和传质的机理,并就阻力损失和强化效果做出综合评价。

关键词：裂解炉管流场结构反应流计算流体力学