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从美国ASTeX　Inc．公司的发展看微波等离子体在高新技术领域的应用前景

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真空电子技术 1996年第1期9卷 28-32页

作者：季天仁电子科技大学高能所七室

本文就美国“应用科学技术公司ＡＳＴｅＸＩｎｃ．”近几年来在研制、生产和销售先进的微波源，系列反应腔和成套微波等离子体加工设备等方面的快速发展状况，说明微波等离子体在新材料、微电子等高新科技领域的应用前景，并对比分析我... 详细信息

本文就美国“应用科学技术公司ＡＳＴｅＸＩｎｃ．”近几年来在研制、生产和销售先进的微波源，系列反应腔和成套微波等离子体加工设备等方面的快速发展状况，说明微波等离子体在新材料、微电子等高新科技领域的应用前景，并对比分析我国的现状和发展方向。

关键词：微波等离子体化学汽相沉积电子回旋谐振

用于半导体加工的腔耦合－磁多极型ECR源的研究

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核聚变与等离子体物理 1996年第2期16卷 50-55页

作者：徐茵顾彪丛吉远季天仁大连理工大学电磁工程系电子科技大学高能电子所

本实验室研制出一台谐振腔耦合一多极场位形的电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源（ＭＥＰ）。采用朗谬探针和离子能量分析器，测量了ＭＥＰ中Ａｒ等离子体的放电特性。实验结果表明．ＭＥＰ能在很宽的运行参数范围，高效率地产生具... 详细信息

本实验室研制出一台谐振腔耦合一多极场位形的电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源（ＭＥＰ）。采用朗谬探针和离子能量分析器，测量了ＭＥＰ中Ａｒ等离子体的放电特性。实验结果表明．ＭＥＰ能在很宽的运行参数范围，高效率地产生具有较高密度、较低离子温度和空间电位的大面积均匀等离子体，特别适合于半导体加工应用研究。

关键词：腔耦合多极场电子回族共振微波等离子体

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高稳定微波等离子体系统

真空电子技术 1989年第6期2卷 22-25页

作者：季天仁李泱刘华国光电子管总厂微波所

本文介绍我们正在研制的一套微波等离子体系统。其输出功率稳定度高,微波传输系统的设计根据应用要求作了多方面考虑。针对不同的应用目的,可与不同的等离子体作用腔方便地连接,以供沉积各种新型薄膜材料参考选用。

关键词：徽波等离子体系统应用

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微波炉的中西餐制作大全版

微波炉的中西餐制作大全

1999年

作者：张兆镗季天仁编

本书由两部分内容组成。第一部分介绍中西餐的微波炉烹饪技术，分凉菜、鸡鸭、鱼虾、猪牛肉、蔬菜、豆类、蛋类、汤类、主食和西餐等，重点在于各种菜肴的配料（以川菜为主）以及具体的微波炉操作过程，使用、初学者有一个入门之道。读... 详细信息

ISBN: (纸本)7536440588

本书由两部分内容组成。第一部分介绍中西餐的微波炉烹饪技术，分凉菜、鸡鸭、鱼虾、猪牛肉、蔬菜、豆类、蛋类、汤类、主食和西餐等，重点在于各种菜肴的配料（以川菜为主）以及具体的微波炉操作过程，使用、初学者有一个入门之道。读者可在此基础上积累经验，推陈出新。第二部分为微波炉的实用问答，深入浅出地介绍微波加热原理等等……

关键词：菜谱制作各国

来源：汇雅图书（南通市图书馆... 评论

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汇雅图书（南通市图书馆）

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微波等离子体栅的特性研究

材料导报 2007年第S2期21卷 175-177页

作者：李伟赵勇季天仁徐跃民清华大学自动化系检电所北京100084 电子科技大学物理电子学院成都610054 中科院空间中心北京100080

研究了微波等离子体在质动力位作用下形成等离子体的密度调制和等离子体密度栅对电磁波的控制,还对电子注-波以及等离子体栅三者间的相互作用进行了理论研究。从光子晶体理论出发,认为等离子体栅实际就是一种光子晶体。

关键词：等离子体栅质动力位光子晶体

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大功率微波促进丙二酸二乙酯烷基化反应

应用化学 1998年第4期15卷 111-112页

作者：谢扩军季天仁王玉良电子科技大学高能所成都610054 中国科学院成都有机化学所

Irradiation alkylation of diethyl malonate has been carried out with a high powerstability program-control microwave "5 kW/2450 MHz" made in our laboratory. The microwave has advantages of accelerating synthesis, shor... 详细信息

关键词：丙二酸二乙酯微波辐照烷基化

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多功能微波等离子体应用基础研究设备

电子科技大学学报 1996年第4期25卷 403-407页

作者：谢扩军季天仁刘盛纲成都电子科技大学高能电子所

介绍自行研制的多功能、多用途、计算机控制的大型微波等离子体应用与诊断设备，该设备包括一台高稳定１．５ｋＷ／２４５０ＭＨｚ微波源，微波传输与微波耦合系统，ＥＣＲ微波反应腔，大容积等离子体反应腔，真空获得系统，八路气体供... 详细信息

介绍自行研制的多功能、多用途、计算机控制的大型微波等离子体应用与诊断设备，该设备包括一台高稳定１．５ｋＷ／２４５０ＭＨｚ微波源，微波传输与微波耦合系统，ＥＣＲ微波反应腔，大容积等离子体反应腔，真空获得系统，八路气体供给与控制系统，八探头等离子体诊断系统（包括径向和轴向朗缪探针，法拉第筒，能量分析器和等离子体鞘层探测器），多通道瞬态数据采集系统和计算机总控制系统，能较好满足微波等离子体基础研究和应用研究的多种要求和需要。

关键词：电子回旋共振微波等离子体应用设备基础研究

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微波能应用正高速走向高科技领域

真空电子技术 1992年第1期5卷 53-57,10页

作者：季天仁李泱刘世程谢扩军四川省成都市776厂 610051

越来越多的信息和人们的实践表明:微波作为一种崭新的能源,经过20多年在工业、农业、医疗以及家庭等领域十分成功的应用之后,正在以比人们预料要快得多的速度步入化工、新材料及高科技领域。特别是80年代后期,微波能以其独特的优点,神... 详细信息

越来越多的信息和人们的实践表明:微波作为一种崭新的能源,经过20多年在工业、农业、医疗以及家庭等领域十分成功的应用之后,正在以比人们预料要快得多的速度步入化工、新材料及高科技领域。特别是80年代后期,微波能以其独特的优点,神奇的作用为新材料、高技术的发展注入了更强的生命力。在国外,对这一应用的科学研究。

关键词：微波能高科技应用

现代家庭的理想电子炊具（连载）：家用微波炉

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电子天府 1989年第3期 62-70页

作者：季天仁