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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 摩擦学性能
  • 1 篇 晶体取向
  • 1 篇 ws2薄膜
  • 1 篇 非平衡磁控溅射

机构

  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 中国科学院兰州化...

作者

  • 1 篇 徐书生
  • 1 篇 孔良桂
  • 1 篇 郝俊英

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"作者=孔良桂"
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射频非平衡磁控溅射WS_2薄膜的结构及其摩擦学性能研究
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摩擦学学报 2015年 第4期35卷 386-392页
作者： 孔良桂 徐书生 郝俊英 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州730000 中国科学院大学 北京100049
采用射频非平衡磁控溅射技术制备了具有不同(002)择优取向程度的WS2薄膜,研究了Ar流量对薄膜成分、微观结构、力学性能和摩擦学性能的影响.研究表明:随Ar流量的增大,WS2薄膜的S/W原子比和(002)衍射峰强度均表现出先降低后升高的变化趋势... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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