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6.X nm下一代极紫外多层膜技术研究进展

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中国激光 2024年第7期51卷 151-163页

作者：李笑然唐何涛赵娇玲李丰华上海大学微电子学院上海200072 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室上海201800

集成电路的生产主要依靠光刻技术为主的工艺体系,采用波长为13.5 nm光源的极紫外光刻是当前最先进的商用规模量产光刻技术,为集成电路的发展带来前所未有的进步。根据瑞利判据,为进一步提高分辨率,以波长6.X nm为光源的下一代“超越极... 详细信息

集成电路的生产主要依靠光刻技术为主的工艺体系,采用波长为13.5 nm光源的极紫外光刻是当前最先进的商用规模量产光刻技术,为集成电路的发展带来前所未有的进步。根据瑞利判据,为进一步提高分辨率,以波长6.X nm为光源的下一代“超越极紫外”光刻成为研究热点。多层膜反射镜是极紫外光刻机光学系统中的关键器件,其反射率和寿命决定光刻机的曝光效率与成像质量。综述了6.X nm多层膜的研究进展,对近年来6.X nm波段的极紫外光源以及多层膜的设计、制备和表征等方面进行了介绍和分析。重点阐述了6.X nm多层膜的界面优化方法,并讨论了多层膜在工程应用中的老化和性能衰减等问题,对面向未来商业应用的方向做出了展望。旨在为我国从事先进光刻等相关研究工作的学者、工程师等提供重要参考。

关键词：先进光刻超越极紫外多层膜反射率界面工程

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非隔离单相半桥UPQC直流纹波分析及其影响抑制

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电机与控制学报 2024年第3期28卷 33-42页

作者：唐岑向诗彪孟令辉朱唯伟舒泽亮西南交通大学电气工程学院四川成都610031 美亚光电安徽合肥230093

非隔离单相半桥统一电能质量调节器(UPQC)两侧变换器的脉动功率差将在直流电容及分电容上产生复杂的多倍频电压纹波,各次电压纹波会对串联侧变换器的补偿电压有不同的影响,降低串联侧变换器的补偿效果。为了抑制直流电压纹波影响,利用... 详细信息

非隔离单相半桥统一电能质量调节器(UPQC)两侧变换器的脉动功率差将在直流电容及分电容上产生复杂的多倍频电压纹波,各次电压纹波会对串联侧变换器的补偿电压有不同的影响,降低串联侧变换器的补偿效果。为了抑制直流电压纹波影响,利用等效电容电流模型计算直流电容电压表达式,分析直流纹波及非线性负载对补偿电压的影响路径,并仿真验证其正确性。针对分电容电压纹波和非线性负载对电压补偿效果的影响,提出一种抑制多倍频纹波影响的补偿电压特定次谐波控制策略。最后,基于SiC器件建立了非隔离单相半桥UPQC实验平台进行实验验证,实验结果表明在非线性工况下,所提控制策略将补偿电压THD从12.2%降低至2.4%,相比于传统控制可以减少约70%的直流电容需求。

关键词：电能质量统一电能质量调节器分电容电压纹波纹波影响抑制补偿电压特定次谐波控制

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富水断层破碎带隧道防突岩盘厚度计算与模型试验验证

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岩石力学与工程学报 2024年第8期43卷 1883-1892页

作者：钟祖良申卓李亚朋乔红彦唐腾龙重庆大学土木工程学院重庆400045 中铁十一局集团第五工程有限公司重庆400037

针对现有富水断层破碎带力学模型及隧道防突岩盘厚度计算公式考虑因素不全、计算误差大等问题,基于Janssen理论,引入隧道轴线与断层破碎带面水平夹角、断层倾角及地下水埋深等参数,推导隧道穿越富水断层破碎带的防突岩盘厚度修正公式并... 详细信息

针对现有富水断层破碎带力学模型及隧道防突岩盘厚度计算公式考虑因素不全、计算误差大等问题,基于Janssen理论,引入隧道轴线与断层破碎带面水平夹角、断层倾角及地下水埋深等参数,推导隧道穿越富水断层破碎带的防突岩盘厚度修正公式并进行模型试验验证,揭示破碎带分布范围、断层破碎带倾向倾角、水压等因素对隧道防突岩盘厚度的影响规律。结果表明:基于Janssen理论,引入隧道轴线与断层破碎带面水平夹角、断层倾角、地下水埋深等参数,推导出断层破碎带相对于防突岩盘内倾和外倾2种工况下的隧道防突岩盘厚度计算公式具有良好的适用性;隧道防突岩盘厚度随断层破碎带分布范围、水压、隧道断面及埋深的增大而增大,随断层破碎带倾角、普通围岩强度及隧道轴线和断层破碎带交角的增大而减小。研究成果可为类似隧道工程防突安全计算提供理论参考。

关键词：隧道工程富水断层破碎带 Janssen理论防突岩盘厚度影响因素

“三权”分置背景下乡村社会结构变化及其治理主体结构重塑

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农业经济 2024年第6期 81-83页

作者：潘虹裴杰唐彰元玉林师范学院广西玉林537000

在土地“三权”分置改革的价值内涵和制度构建的背景下,乡村社会结构的动态演变,为乡村治理主体结构重塑提供了新的发展思路。农村社会治理结构的实质是论述农村社会关系和社会管理互动发展的具体实践模式,农地“三权”分置不仅改变了... 详细信息

在土地“三权”分置改革的价值内涵和制度构建的背景下,乡村社会结构的动态演变,为乡村治理主体结构重塑提供了新的发展思路。农村社会治理结构的实质是论述农村社会关系和社会管理互动发展的具体实践模式,农地“三权”分置不仅改变了农村的社会结构,也在其政策贯彻推进的过程中,使一些农民家庭彻底离开了乡村,并通过外部引入和内部孕育塑造了更多新的主体,补齐农业农村的发展短板。因此,重塑农地“三权”分置背景下的乡村治理主体结构,不仅需要利用好乡村治理资源优势,总结和提升乡村治理经验,更需要通过政策创新建立有效的承包地退出机制,赋予相关主体治理资格和治理权限,打造各类主体共治、共建、共享的乡村治理新格局。

关键词： “三权”分置乡村社会结构治理主体结构重塑

新中国民主建政探索中的妇女角色——以石家庄市首届人民代表大会为例

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济南大学学报（社会科学版） 2024年第3期34卷 66-78,178页

作者：姬丽萍唐锡康南开大学马克思主义学院天津300350

石家庄市首届人民代表大会,是新中国成立前夕召开的第一个市级人民代表大会,在新中国成立前后共召开了5次会议,是探索建立地方人民代表大会制度的开拓之举。多个领域的妇女代表在地方人民民主建政决策机构中首次亮相,所提提案涉及保护... 详细信息

石家庄市首届人民代表大会,是新中国成立前夕召开的第一个市级人民代表大会,在新中国成立前后共召开了5次会议,是探索建立地方人民代表大会制度的开拓之举。多个领域的妇女代表在地方人民民主建政决策机构中首次亮相,所提提案涉及保护女性权利、恢复经济生产、关注市政建设等内容,不仅具有鲜明的女性视角,对经济生产、市政建设提出了建设性意见,同时也颇具实践价值。妇女参政议政在地方人大的制度创设,作为一种制度安排纳入此后全国人大和各级人大的运作程序中,使妇女解放与平等追求呈现出制度安排超前与经济地位逐步提升并行的中国特色,不仅具有象征意义,对于破除传统社会化进程中固化男女角色的价值观、保证妇女权益、提升妇女地位、调动广大妇女参加新中国生产和建设的积极性,均具有开拓意义,影响深远。

关键词：石家庄市首届人民代表大会民主建政妇女参政议政新中国

疫情后深圳市生活垃圾产生量的预测及变化分析

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环境卫生工程 2024年第1期32卷 94-98页

作者：唐圣钧侯斌深圳市城市规划设计研究院有限公司广东深圳518000

疫情后针对生活垃圾产生量的变化,开展预测并对结果进行分析,是地方政府科学制定相关规划、合理布局环卫设施建设的重要依据。因此,立足深圳市疫情前后数据,结合灰色关联度模型、多元线性回归等方法,分析2022—2035年生活垃圾产生量预... 详细信息

疫情后针对生活垃圾产生量的变化,开展预测并对结果进行分析,是地方政府科学制定相关规划、合理布局环卫设施建设的重要依据。因此,立足深圳市疫情前后数据,结合灰色关联度模型、多元线性回归等方法,分析2022—2035年生活垃圾产生量预测值的变化。结果表明,生活垃圾产生量保持逐年增长趋势,规划期末水平年(2035年)的具体数值有一定程度调整。预测到2035年的生活垃圾产生量为45 547 t/d,其中再生资源回收量为14 576 t/d,生活垃圾处理处置量为30 971 t/d。建议各项环卫设施建设可灵活调整设施规模及建设周期,提升城市垃圾处理效能。

关键词：生活垃圾产生量多因素分析灰色模型预测多元线性回归预测

中国企业对“一带一路”国家的投资内因与市场选择——基于环境可持续发展框架

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国际商务研究 2024年第4期45卷 19-32页

作者：王昕唐登林贵州商学院贵州贵阳550014

本文基于非平衡面板企业数据,实证分析2007~2018年中国3,981家企业对45个“一带一路”国家的直接投资。实证结果表明,中国企业OFDI是在“一带一路”国家环境可持续发展的基础上,以盈利能力为驱动的市场拓展行为。就企业内在属性差异而言... 详细信息

本文基于非平衡面板企业数据,实证分析2007~2018年中国3,981家企业对45个“一带一路”国家的直接投资。实证结果表明,中国企业OFDI是在“一带一路”国家环境可持续发展的基础上,以盈利能力为驱动的市场拓展行为。就企业内在属性差异而言,国有企业和科技型企业的OFDI主要以扩大市场规模为主,民营企业和非科技型企业的OFDI主要受到商贸效率和市场规模的影响;劳动密集型和污染型企业OFDI的主要内在驱动源于盈利能力的下降。就经济要素禀赋差异而言,以效率禀赋型地区为分界,企业盈利能力对OFDI的影响由负转正。就商贸运输渠道和现代化差异而言,商贸企业偏向对“一路”地区展开直接投资,产能转移企业偏向对“一带”地区的直接投资;企业存在通过OFDI实现科技逆向流出的需求。中国应加速培育企业的本土市场盈利能力,实现高质量共建“一带一路”。

关键词：企业OFDI 盈利能力市场环境 “一带一路”国家环境可持续发展

数字经济与绿色全要素生产率:来自黄河流域“五极”城市群的证据

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生态经济 2024年第6期40卷 54-60页

作者：葛大兵唐伊凡湖南农业大学资源与环境学院湖南长沙410128

数字经济发展是推动黄河流域高质量发展的重要动力。论文基于2011—2019年黄河流域“五极”城市群的面板数据,在城市群视角下实证检验数字经济发展如何影响绿色全要素生产率(GTFP)。研究发现:黄河流域城市群数字经济能够显著提升绿色全... 详细信息

数字经济发展是推动黄河流域高质量发展的重要动力。论文基于2011—2019年黄河流域“五极”城市群的面板数据,在城市群视角下实证检验数字经济发展如何影响绿色全要素生产率(GTFP)。研究发现:黄河流域城市群数字经济能够显著提升绿色全要素生产率,且在空间维度具有正向溢出特征。克服潜在的内生性问题后,这一结论依然稳健;黄河流域数字经济发展对绿色全要素生产率的提升效应在不同的城市群维度、核心城市与非核心城市之间具有典型的异质性特征;机制分析表明,黄河流域城市群绿色全要素生产率提升主要源于数字经济所诱发的创新要素集聚。

关键词：黄河流域 “五极”城市群数字经济 GTFP 创新要素集聚

基于倾斜透镜将拉盖尔-高斯光束阵列转换为厄米-高斯光束阵列的位置映射关系

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激光与光电子学进展 2024年第5期61卷 215-222页

作者：熊光昀唐奥兰斌沈锋中国科学院大学自适应光学重点实验室四川成都610209 中国科学院光电技术研究所四川成都610209 中国科学院大学北京100049

倾斜透镜可以将拉盖尔-高斯光束转换为厄米-高斯光束。因此,推导了基于倾斜透镜的拉盖尔-高斯光束阵列与厄米-高斯光束阵列相互转换的位置映射关系。当倾斜透镜绕任意轴旋转一定角度时,两光束阵列的位置将会关于该轴对称。实验中,利用... 详细信息

倾斜透镜可以将拉盖尔-高斯光束转换为厄米-高斯光束。因此,推导了基于倾斜透镜的拉盖尔-高斯光束阵列与厄米-高斯光束阵列相互转换的位置映射关系。当倾斜透镜绕任意轴旋转一定角度时,两光束阵列的位置将会关于该轴对称。实验中,利用空间光调制器生成了1×1、2×2、3×3、3×1、1×3的拉盖尔-高斯光束阵列,并用倾斜透镜将其转换为厄米-高斯光束阵列,通过对比两光束阵列的光场分布,验证了上述理论分析结果。实验结果与理论分析完全一致。该工作为拉盖尔-高斯光束阵列的轨道角动量测量提供了更明确的理论指导。

关键词：拉盖尔-高斯光束阵列轨道角动量测量倾斜透镜位置映射关系厄米-高斯光束阵列