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微笔直写悬空微桥结构的关键技术研究

微笔直写悬空微桥结构的关键技术研究

作者：周良文华中科技大学

学位级别：硕士

近年来,随着现代先进制造技术的迅速发展,各种各样的新工艺新材料不断涌现,极大的推动了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造技术的研究和应用。与目前主流的制造技术相比,直写技术具有无需掩膜、工艺简单、柔性化程... 详细信息

近年来,随着现代先进制造技术的迅速发展,各种各样的新工艺新材料不断涌现,极大的推动了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造技术的研究和应用。与目前主流的制造技术相比,直写技术具有无需掩膜、工艺简单、柔性化程度高等优势,探索直写技术在MEMS元件制造领域的应用具有重大意义。悬空微桥结构是大多数MEMS元件的基础结构。本文以微桥结构为制造对象,选择由实验室自主合成的聚酰亚胺(PI)为牺牲层,商业厚膜金浆料(Au)为结构层材料,提出了基于微笔直写成型工艺制备微桥结构的工艺流程,并分别对工艺流程中微笔直写工艺、热处理工艺及刻蚀工艺进行了研究。微笔直写工艺中,通过系列实验探索了微桥尺寸的工艺控制规律,分析了微笔直写工艺参数如直写速度、气体压力、笔头高度、直写次数和材料粘度等对微笔直写PI层和Au层图形的厚度和宽度的影响。结果表明,微桥尺寸可主要通过改变直写速度和气体压力等参数进行调节,笔头高度的调节作用并不明显。热处理工艺中,Au结构层的热处理温度必须小于PI牺牲层的玻璃化温度,但又要使结构层具有一定的强度使微桥结构能够站立。实验证明,Au结构层的热处理温度在250oC50oC为宜。刻蚀工艺中,采用氧等离子体干法刻蚀去除PI牺牲层,研究了氧流量、射频功率以及微桥尺寸对刻蚀速率的影响规律。在PI层厚度为5μm,Au层宽度为200μm,射频功率为250 W,氧流量为2 L/min时,典型的PI刻蚀速率约为670 nm/min。通过优化工艺参数,成功制备了形貌较好的悬空微桥结构,桥长200μm左右,桥高为73μm,桥厚在10μm左右。实验结果表明,采用微笔直写工艺制造MEMS元件具有可行性,本论文的工作为微笔直写工艺在MEMS元件制造领域的应用打下了基础。

关键词：微笔直写 MEMS 悬空微桥聚酰亚胺厚膜金浆等离子体刻蚀

“双一流”高校图书馆多元素养教育现状及策略研究--基于文本数据分析

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图书馆学研究 2021年第12期 67-76页

作者：尹怀琼周良文中南大学图书馆

通过调查“双一流”高校图书馆网站,收集与多元素养教育相关的信息,全面了解“双一流”高校图书馆关于多元素养教学课程、教学方式、教学内容等方面的现状。基于文本数据分析“双一流”高校图书馆近两年多元素养教育的主要内容和趋势,... 详细信息

通过调查“双一流”高校图书馆网站,收集与多元素养教育相关的信息,全面了解“双一流”高校图书馆关于多元素养教学课程、教学方式、教学内容等方面的现状。基于文本数据分析“双一流”高校图书馆近两年多元素养教育的主要内容和趋势,发现各高校图书馆多元素养教育方式发展不均,需构建多层次立体化教育模式;嵌入式教学方式还不够深入,需将多元素养教育融入学术实践;教育内容不够全面,还需进一步充实完善;跨学科协作实践的指导培训不足,需加强多元素养教育实践基地建设;教育人才短缺,需重视多元素养教育人才建设。

关键词： “双一流” 高校图书馆多元素养教育文本数据分析

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泌阳凹陷双河油田ⅧⅨ油组井网加密方式研究

泌阳凹陷双河油田ⅧⅨ油组井网加密方式研究

作者：周良文中国地质大学（北京）

学位级别：硕士

井网加密技术是油田提高采收率的方法之一,也是国内外油田改善开发效果的常规措施之一。双河油田ⅧⅨ油组储层物性差,现井网采用井距为250-300米的不规则五点井网。但是,由于注水井注水启动压力大,注水困难,而采油井能量补充不足,注入... 详细信息

井网加密技术是油田提高采收率的方法之一,也是国内外油田改善开发效果的常规措施之一。双河油田ⅧⅨ油组储层物性差,现井网采用井距为250-300米的不规则五点井网。但是,由于注水井注水启动压力大,注水困难,而采油井能量补充不足,注入水见效较差,导致产量递减快,开发效果差。据统计,ⅧⅨ油组综合递减10%,自然递减15%,水驱控制程度仅为86%,最终水驱采收率只有37%左右。所以有必要对ⅧⅨ油组进行井网加密调整,改善开发效果。本文针对ⅧⅨ油组储层地质条件和开发中存在的问题,综合运用油藏工程方法和油藏精细数值模拟技术分析了现井网的适应性,研究了井网加密方式,论证了合理的注采井距和加密井部署的经济技术界限,为下一步井网加密井部署提供了依据。取得的认识主要有以下几方面:①ⅧⅨ油组非主力油层常规直井加密方式首选井排斜交油水边界的五点正方形井网。②ⅧⅨ油组水平井与直井联合加密方式首选水平段平行于油水边界的水平井采油+直井注水的五点井网。②依据ⅧⅨ油组启动压力梯度、油砂体面积、经济指标参数计算得到ⅧⅨ油组合理注采井距200米。④从经济角度计算得到打一口直井加密井所需的有效厚度下限为4米。打一口水平井所需的地质储量下限为5.75×10～4t、有效厚度界下限为3米。最后,根据前面的研究成果部署3套井网加密方案,再利用油藏精细数值模拟技术优选出最佳的双河油田ⅧⅨ油组井网加密方案,并对该井网加密方案进行生产预测。

关键词：井网加密方式合理井距加密井部署方案双河油田泌阳凹陷

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美国图书情报教育的困境与出路

高校图书馆工作 1992年第1期12卷 71-72,43页

作者：柳晓春周良文湖南医科大学图书情报系

美国是一个工业大国,也是一个教育大国,可是近年来它的教育与其经济一样不可避免地跌进了低谷,尤其是图书情报教育首当其冲,许多著名的图书情报学院,例如哥伦比亚大学图书情报学院,芝加哥大学图书情报学院,佐治亚洲的Emory大学图书情报... 详细信息

美国是一个工业大国,也是一个教育大国,可是近年来它的教育与其经济一样不可避免地跌进了低谷,尤其是图书情报教育首当其冲,许多著名的图书情报学院,例如哥伦比亚大学图书情报学院,芝加哥大学图书情报学院,佐治亚洲的Emory大学图书情报学院,南加利福利亚大学图书情报学院等纷纷关闭。

关键词：美国图书馆学情报学专业教育

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微笔直写成型聚酰亚胺图形工艺研究

高分子学报 2009年第5期19卷 489-492页

作者：曹宇王小叶周良文金曦曾晓雁华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室武汉430074

选用均苯四甲酸二酐(PMDA)、4,4′-二氨基二苯醚(ODA)为单体,通过低温缩聚反应制备了PMDA-ODA型聚酰胺酸溶液,通过调节其黏度特性使之适合于微笔直写沉积工艺.采用微笔直写沉积PAA溶液和热亚胺化处理两步法制作出PI图形,并通过Au/PI微... 详细信息

选用均苯四甲酸二酐(PMDA)、4,4′-二氨基二苯醚(ODA)为单体,通过低温缩聚反应制备了PMDA-ODA型聚酰胺酸溶液,通过调节其黏度特性使之适合于微笔直写沉积工艺.采用微笔直写沉积PAA溶液和热亚胺化处理两步法制作出PI图形,并通过Au/PI微桥阵列结构实例显示了该工艺在MEMS聚合物牺牲层或结构层制造领域的应用潜力.

关键词：微笔直写成型聚酰胺酸聚酰亚胺微机电系统

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福建省保险市场现状及监管意见

福建金融 1997年第4期 12-13页

作者：周良文中国人民银行福建省分行

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新形势下电力企业如何加强安全保卫工作

江西电力 2021年第5期45卷 52-53页

作者：周良文国网江西服务中心

对于电力企业而言,在其日常工作的过程当中,能否采取一系列积极有效的措施做好内部保卫工作对于整个社会的稳定发展有着极其重要的意义。企业的管理人员应该保持清醒的头脑,时刻注意安全保卫工作的质量。本文对新形势下电力企业的安全... 详细信息

对于电力企业而言,在其日常工作的过程当中,能否采取一系列积极有效的措施做好内部保卫工作对于整个社会的稳定发展有着极其重要的意义。企业的管理人员应该保持清醒的头脑,时刻注意安全保卫工作的质量。本文对新形势下电力企业的安全保卫工作进行了全面的分析,并且结合实际情况提出了一些可行的措施。

关键词：电力企业安全保卫工作企业的管理新形势下有效的措施全面的分析内部保卫工作

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浅议我省保险业现存的问题及对策

福建金融 1991年第5期 41-42页

作者：周良文福建省人行

近几年,我省保险事业蒸蒸日上,充分发挥了保险的经济补偿作用,为促进经济发展,做出了较大的贡献。但也存在一些问题,现就我省保险业现存的问题及今后发展方向,谈些看法。一、存在的问题1.一些部门未经批准自办保险。目前,我省出现有些... 详细信息

近几年,我省保险事业蒸蒸日上,充分发挥了保险的经济补偿作用,为促进经济发展,做出了较大的贡献。但也存在一些问题,现就我省保险业现存的问题及今后发展方向,谈些看法。一、存在的问题1.一些部门未经批准自办保险。目前,我省出现有些地方政府成立“人口福利基金会”,办理计划生育养老保险,卫生、教育、劳动服务公司等单位自办儿童健康免疫、学生平安、职工待业等保险。由于现有法规对哪些是社会保险,哪些是商业保险未有明确规定,且又没有专门经营社会保险的机构,给人民银行的管理工作增加了难度。

关键词：保险事业商业保险人民银行劳动服务公司现有法规农村保险农业保险补偿作用保险基金保险管理

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以经济责任制为杠杆努力提高企业管理水平

辽宁经济 1996年第9期 15-16页

作者：周良文抚顺顺华化工企业有限公司

我们抚顺顺华化工企业有限公司是以生产固体氰化钠为主的合资企业。公司于1990年4月19日注册成立。现有占地面积33130平方米,建筑面积12100平方米,固定资产5200万元,主要设备630台（套）,年生产能力4000吨。公司下设五部一室,并拥有相... 详细信息

我们抚顺顺华化工企业有限公司是以生产固体氰化钠为主的合资企业。公司于1990年4月19日注册成立。现有占地面积33130平方米,建筑面积12100平方米,固定资产5200万元,主要设备630台（套）,年生产能力4000吨。公司下设五部一室,并拥有相对独立经营的两个法人单位,共有员工385人,其中工程技术人员50人。氰化钠产品主要用于冶金、化工、染料、医药、农药、机械等行业。我们的产品几年来一直较为畅销。

关键词：经济责任制企业管理氰化钠岗位工资产品质量努力提高经济效益优等品率企业有限公司工业总产值