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激光辅助放电Z箍缩等离子体特性研究

激光辅助放电Z箍缩等离子体特性研究

作者：吴家志长春理工大学

学位级别：硕士

极紫外光刻技术是制造特征尺寸小于22nm芯片的最有前途的光刻技术,极紫外光源是极紫外光刻技术的重要组成部分。激光辅助放电等离子极紫外光源是获取极紫外光源的一种方法,此方法可以使任何传统固体靶材作为放电等离子体所需材料,具有... 详细信息

极紫外光刻技术是制造特征尺寸小于22nm芯片的最有前途的光刻技术,极紫外光源是极紫外光刻技术的重要组成部分。激光辅助放电等离子极紫外光源是获取极紫外光源的一种方法,此方法可以使任何传统固体靶材作为放电等离子体所需材料,具有装置结构简单、极紫外光源功率高和转化效率高等优点,因此有着广阔的应用前景。理论上,分析了触发阶段激光烧蚀等离子体的物理特征和放电阶段等离子体的Z箍缩物理过程,以及等离子体输出极紫外辐射的物理特性。实验上,首先设计并搭建了激光辅助放电等离子体极紫外光源的实验装置。研究了靶材作为不同电极极性对Z箍缩等离子体产生的影响。通过对比靶材分别作为阴、阳极时放电等离子体的时间演化过程和极紫外辐射强度,得到靶材作为阴极时更有利于放电Z箍缩等离子体的形成和极紫外辐射的输出。其次,我们对激光辅助放电Z箍缩等离子体的初期放电阶段动力学进行了研究。在实验中,我们发现在主放电电流上升之前,X-ray二极管检测到两个脉冲信号,通过用纸片分别遮挡两个电极,得到两个峰值信号分别来源于电极的阴极和阳极。此外,我们还对放电过程中等离子体的膨胀速度进行了测量,其速度约为1×10～5m/s。最后,我们对激光辅助放电Z箍缩等离子体的箍缩阶段动力学进行了研究。研究了放电参数(放电电流和电极间距)和激光参数(激光能量和激光聚焦光斑尺寸)对Z箍缩等离子体特性的影响。我们得到如下结果:当初始供电直流电压为7kV,电极间距为5mm,激光焦点距靶材表面为50 mm,激光能量为90mJ条件时等离子体箍缩效果最好,等离子体箍缩时EUV辐射强度也最强。

关键词：激光辅助放电等离子体时间演化极紫外光源 Z箍缩等离子体

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互助会面临的问题与对策

社会福利（实务版） 1997年第5期 32-33页

作者：吴家志民政部管理干部学院

互助会(含农村救灾扶贫互助储金会,储粮会,互助互济会)是救灾救济体制改革的产物。是民办、民管、民用的民间互助合作经济组织。目前全国互助会总数大约有20万个,储金20多亿元,储粮约1亿公斤。互助会的建立,为农村救灾备荒、扶贫济困、... 详细信息

互助会(含农村救灾扶贫互助储金会,储粮会,互助互济会)是救灾救济体制改革的产物。是民办、民管、民用的民间互助合作经济组织。目前全国互助会总数大约有20万个,储金20多亿元,储粮约1亿公斤。互助会的建立,为农村救灾备荒、扶贫济困、应急解难,服务于农村生产生活,发展农村集体经济,促进社会稳定,发扬民间互助合作精神,有效地提高民间闲散资金的使用效率,弥补农村信贷严重不足,加快农民脱贫致富奔小康的步伐,逐步建成农村基层社会保障体系发挥了显著作用。但是,随着社会的发展和社会主义市场经济体制的建立,互助会在发展中也暴露出了一系列问题,本文试从现阶段我国农村互助会存在的问题分析入手,提出其发展对策,使互助会走上规范化、制度化道路,最大限度地发挥互助会的基层社会保障功能。

关键词：互助会救济社会主义市场经济体制发展对策生产生活体制改革合作经济组织我国农村社会保障体系问题分析

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开环数字反副瓣对消器

现代雷达 1984年第Z1期 279-280页

作者：吴家志

数字反副瓣对消器是70年末期提出来的新型抗干扰课题。它的原理与中频模拟反副瓣原理是相似的,其差别在于,前者是用数字技术。采用“流水”的方法求出加权因子,最后实现数字相消,从而达到抗干扰的目的。数字反副瓣分成开开环与闭环两种... 详细信息

数字反副瓣对消器是70年末期提出来的新型抗干扰课题。它的原理与中频模拟反副瓣原理是相似的,其差别在于,前者是用数字技术。采用“流水”的方法求出加权因子,最后实现数字相消,从而达到抗干扰的目的。数字反副瓣分成开开环与闭环两种,其主要差别在于形成加权因子所用的输入量不同。闭环加权因子是用误差电压与副路输入电压相乘采用最小均方估计(LMS)算法,

关键词：副瓣对消误差电压闭环旁瓣对消开环加权因子

“2007经济参考报雅芳头版头条好新闻”评选揭晓 A02

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中华新闻报

作者：吴家志

“2007经济参考报雅芳头版头条好新闻”颁奖仪式17日在新华社报刊楼举行。会上宣布，经经济参考报社评委会认真评选，共有15篇作品分获一、二、三等奖。　　此项评选活动由新华社经济参考报社和雅芳(中国)有限公司共同主办。新华社副总编

关键词：

来源： cnki报纸评论

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里约奥运周期我国女性体育科研现状

运动 2016年第18期 3-4,15页

作者：商伟吴家志辽宁师范大学辽宁大连116081

本文通过文献资料法、数理统计法、逻辑分析法等研究方法,对里约奥运周期女性体育科研进行统计发现,在核心期刊中女性论文发表呈逐年增加态势,女性对女性体育科研关注度较高,研究内容多以体育权利、体育锻炼以及休闲体育方向为主,周期... 详细信息

本文通过文献资料法、数理统计法、逻辑分析法等研究方法,对里约奥运周期女性体育科研进行统计发现,在核心期刊中女性论文发表呈逐年增加态势,女性对女性体育科研关注度较高,研究内容多以体育权利、体育锻炼以及休闲体育方向为主,周期论文发表量呈分布不均现象。女性体育科研立项则主要集中在体育锻炼、休闲体育等方面,女性课题立项数总体偏少。

关键词：奥运周期女性体育研究现状

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激光辅助放电等离子体极紫外光源研究进展

应用物理 2019年第1期9卷 1-6页

作者：吴家志谢卓窦银萍林景全长春理工大学理学院吉林长春

极紫外光刻技术可以制造特征尺寸小于22 nm的芯片,是推动半导体集成电路发展的重要手段。极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光辅助放电等离子体极紫外光源方法可以使传统固体靶材作为放电等离子体所需要的材料,其装置结构简... 详细信息

极紫外光刻技术可以制造特征尺寸小于22 nm的芯片,是推动半导体集成电路发展的重要手段。极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光辅助放电等离子体极紫外光源方法可以使传统固体靶材作为放电等离子体所需要的材料,其装置结构简单,产生极紫外光源功率高,能够精确控制放电时间和提高放电的稳定性等,具有良好的应用前景。本文系统阐述了激光辅助放电等离子体极紫外光源相关研究进展,介绍靶材作为不同电极极性、不同放电参数和激光参数下放电等离子体极紫外光源的产生,并对不同条件下产生极紫外光源的特点进行了归纳总结,为更好地使用激光辅助放电等离子体进行产生极紫外光源提供有益的参考。

关键词：激光辅助放电等离子体 Z箍缩等离子体极紫外光源

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自适应旁瓣对消器的数字信号处理

现代雷达 1981年第1期 105-113页

作者： H.W.Bock 吴家志

本文描述了实现次最佳自适应空间滤波器(即所谓旁瓣对消器“SLC”)的数字方法。自适应空间滤波技术的一个重要应用就是抑制或至少是减少雷达天线旁瓣所收到的空间分布的干扰。最近制造了一个多到6个付天线单元的实验系统,它是一个模拟... 详细信息

本文描述了实现次最佳自适应空间滤波器(即所谓旁瓣对消器“SLC”)的数字方法。自适应空间滤波技术的一个重要应用就是抑制或至少是减少雷达天线旁瓣所收到的空间分布的干扰。最近制造了一个多到6个付天线单元的实验系统,它是一个模拟旁瓣对消器的对应物。由于模拟旁瓣对消器已使用多年,并已进行过广泛研究,因此,可以很容易地对模拟系统和数字系统的能力作直接比较。同模拟系统一样,数

关键词：自适应调节数字信号处理二进制数空间滤波器干扰机干扰发射机电子干扰设备复数滤波器量化噪声量化失真旁瓣对消器空间滤波技术数字处理自适应空间滤波对消比阵列单元系统性能

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推行“十一改” 巧战胜干旱

中国农村水利水电 1960年第13期 10-11页

作者：许国祺李建华吴家志

推行"十一改",巧战胜干旱,是湖南省岳阳县毛田人民公社在去年抗旱斗争中,创造的成套抗旱经验,对于当前的抗旱地区仍有参考价值,特予转载。

关键词：晚稻水稻浸水吊尾灌水木工劳力开沟土方工程改单灌溉面积

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算法时代版权过滤机制本土生成路径探索

中国出版 2024年第17期 21-26页

作者：来小鹏吴家煦中国政法大学民商经济法学院

版权过滤机制创制争议的本质是利益分配分歧的结果。作为“避风港”规则的延伸,版权过滤机制实际上是一种建立在私人合作基础上,涵盖确权授权与侵权治理等多重功能的版权自治规则,具备本土适用的优势与合理性。为保障其有效运转,一方面... 详细信息

版权过滤机制创制争议的本质是利益分配分歧的结果。作为“避风港”规则的延伸,版权过滤机制实际上是一种建立在私人合作基础上,涵盖确权授权与侵权治理等多重功能的版权自治规则,具备本土适用的优势与合理性。为保障其有效运转,一方面需要确认“转授权”行为的合法性以排除外部障碍,另一方面需要抑制实践中的一系列实质不公平现象以克服内部缺陷,这些都有赖于与法定规则的衔接来实现。

关键词：版权过滤私人创制 “避风港”规则转授权

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