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集成电路钝化层薄膜的纳米力学性质研究

西安交通大学学报 2008年第11期42卷 1345-1349页

作者：吴子景吴晓京 SHEN Wei-dian 蒋宾复旦大学材料科学系上海200433 Department of Physics and Astronomy Eastern Michigan UniversityYpsilanti MI 48197 USA 上海集成电路研发中心上海201203

利用等离子体增强化学气相淀积工艺在p型单晶硅(111)衬底上制备了厚度为70、150、450nm的SiO2薄膜和100、1702、20 nm的Si3N4薄膜,并使用纳米压入仪对薄膜进行了纳米力学测试与分析.薄膜在不同载荷下的硬度和弹性模量计算采用Oliver-Ph... 详细信息

利用等离子体增强化学气相淀积工艺在p型单晶硅(111)衬底上制备了厚度为70、150、450nm的SiO2薄膜和100、1702、20 nm的Si3N4薄膜,并使用纳米压入仪对薄膜进行了纳米力学测试与分析.薄膜在不同载荷下的硬度和弹性模量计算采用Oliver-Pharr方法.在测量两种薄膜的硬度时没有发现压痕尺寸效应.SiO2薄膜的弹性模量与压入深度的依赖关系不明显,但与薄膜厚度的依赖关系较明显,薄膜厚度的增加将导致弹性模量显著减小,而Si3N4的弹性模量与薄膜厚度的依赖关系不明显,但与压入深度的依赖关系较明显,会随着压入深度的增加而逐渐增加到某一定值.

关键词：薄膜等离子体增强化学气相淀积二氧化硅氮化硅纳米硬度弹性模量

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纳米压痕试验在纳米材料研究中的应用

复旦学报（自然科学版） 2008年第1期47卷 1-7页

作者：吴晓京吴子景蒋宾复旦大学材料科学系上海200433 上海集成电路研发中心上海201203

纳米材料由于其本身特殊的尺度,呈现出与体材料完全不同的力学、摩擦学性质.纳米压痕试验作为一种在纳米尺度进行力学、摩擦学性质表征的有效手段,已经被成功地运用于单层/多层薄膜、超薄膜、纳米线/管等纳米材料的纳米摩擦学研究中.在... 详细信息

纳米材料由于其本身特殊的尺度,呈现出与体材料完全不同的力学、摩擦学性质.纳米压痕试验作为一种在纳米尺度进行力学、摩擦学性质表征的有效手段,已经被成功地运用于单层/多层薄膜、超薄膜、纳米线/管等纳米材料的纳米摩擦学研究中.在硬度、弹性模量的测量以及弹性/塑性形变、应变强化等现象的研究中已经取得了许多重要的成果.但是,目前的纳米压痕试验还存在着重复性差、精确定量困难、缺少统一的测试标准等问题.寻找解决这些问题的方法,是纳米压痕试验未来发展中的重要课题.

关键词：材料科学纳米摩擦学纳米压痕原子力显微镜纳米硬度仪

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会计电算化安全性的思考

事业财会 2001年第1期 64-64,F003页

作者：吴子景浙江省金华卫生学校

会计电算化是现代会计理论与现代科学技术，尤其是计算机技术相结合的产物。它改变了财务会计信息的处理和存储方式，对会计理论和实务产生了重大影响。但是，将计算机用于会计工作，也使得利用计算机舞弊和犯罪增加。因此，如何保障计... 详细信息

会计电算化是现代会计理论与现代科学技术，尤其是计算机技术相结合的产物。它改变了财务会计信息的处理和存储方式，对会计理论和实务产生了重大影响。但是，将计算机用于会计工作，也使得利用计算机舞弊和犯罪增加。因此，如何保障计算机会计系统的数据正确与安全，防止会计数据的破坏和失密，已成为当前会计电算化安全性的核心问题，也是推广会计电算化过程中首先需要解决的问题之一。

关键词：会计电算化网络安全制度建设财务软件计算机病毒人才

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学校经费控制引进责任会计基本原理的初探

财务与金融 1995年第2期 62-56页

作者：吴子景浙江省金华卫生学校

事业行政单位实行“经费预算包干”后，改变了“吃大锅饭”现象，但仍存在一些亟待改进的问题，如经费使用效益不够理想，经费的划分运用与各级领导及职工的责权结合不够。那么，如何把各级领导与职工的费用开支同他们的工作任务、责权... 详细信息

事业行政单位实行“经费预算包干”后，改变了“吃大锅饭”现象，但仍存在一些亟待改进的问题，如经费使用效益不够理想，经费的划分运用与各级领导及职工的责权结合不够。那么，如何把各级领导与职工的费用开支同他们的工作任务、责权大小密切结合起来，用好有限的经费呢？本人结合我校实际，作如下设想。

关键词：责任会计基本原理经费控制费用卡费用项目子单位学校经费包干月预算教职工

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谈分期付款方式购置固定资产的核算

财务与金融 1998年第6期 54-55页

作者：吴子景浙江省金华卫生学校

当前，各类学校的经费紧张现象较为普遍，而各校为了教育事业的稳步发展，在硬件建设上，采用了灵活多样的方式，有现购的，有无偿调入的，有接受捐赠的，有融资租入的，有自筹资金自行建造的。另外，对于大型（大额）固定资产，很多学... 详细信息

当前，各类学校的经费紧张现象较为普遍，而各校为了教育事业的稳步发展，在硬件建设上，采用了灵活多样的方式，有现购的，有无偿调入的，有接受捐赠的，有融资租入的，有自筹资金自行建造的。另外，对于大型（大额）固定资产，很多学校也采用分期付款的方式来购置。现就...

关键词：分期付款方式融资租入固定资产修购基金银行存款专用基金《房屋所有权证》固定基金暂付款会计分录使用权

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无酸水热法制备多孔硅及其PⅢ表面改性

半导体技术 2008年第6期33卷 488-491,494页

作者：李慧卢茜吴子景吴晓京复旦大学材料科学系上海200433

采用无酸水热法,制备了多孔硅材料。使用扫描电子显微镜、原子力显微镜等手段观察了样品表面形貌,比较了在不同氧化铋刻蚀剂量下得到的多孔硅结构,发现随着刻蚀剂浓度的增加,平均孔径尺寸变大,且孔径分布趋于离散。使用等离子浸没注入技... 详细信息

采用无酸水热法,制备了多孔硅材料。使用扫描电子显微镜、原子力显微镜等手段观察了样品表面形貌,比较了在不同氧化铋刻蚀剂量下得到的多孔硅结构,发现随着刻蚀剂浓度的增加,平均孔径尺寸变大,且孔径分布趋于离散。使用等离子浸没注入技术,对多孔硅样品进行了表面注氮处理。室温荧光光谱研究发现处理后的样品的光谱峰位产生了蓝移,根据X光电子能谱仪检测的结果发现样品表面形成了Si-NxOy相,这一物相的出现导致了光谱的蓝移。

关键词：无酸水热法多孔硅等离子体浸没注入技术光致发光

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关于高校内部控制制度的思考

浙江医学教育 2005年第3期4卷 12-14页

作者：吴子景金华职业技术学院浙江金华321017

高校内部控制制度是高校内部各种形式管理控制制度的总称。本文就高校建立内部控制制度的目的,建立内部控制制度的原则,内部控制制度应包含的基本内容及保证内部控制制度实施的主要措施等方面进行论述。

关键词：高等学校内部控制制度

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通货膨胀及我国企业会计对策研究

企业家天地(理论版) 2007年第11期 103-104页

作者：朱伟吴子景王灵 321000 金华职业技术学院浙江金华金华职业技术学院

据统计资料表明,我国在经济连续快速增长后面临通货膨胀的压力。本文介绍了通货膨胀的含义及由来,分析了通货膨胀对经济和企业的影响,指出了我国企业在通货膨胀的条件下,面对通货膨胀,应该采取加深对国际会计准则的学习理解、加快会计... 详细信息

据统计资料表明,我国在经济连续快速增长后面临通货膨胀的压力。本文介绍了通货膨胀的含义及由来,分析了通货膨胀对经济和企业的影响,指出了我国企业在通货膨胀的条件下,面对通货膨胀,应该采取加深对国际会计准则的学习理解、加快会计处理的观念创新、加快我国会计人才的培养、灵活运用我国现行会计制度和会计准则等对策。

关键词：通货膨胀影响会计对策

Nanoindentation study of a Cu/Ta/SiO_2/Si multilayer system

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Journal of Semiconductors 2012年第4期33卷 17-22页

作者：张昕卢茜吴子景吴晓京 Shen Weidian 蒋宾 Department of Materials Science Fudan UniversityShanghai 200433China Micro-Nanoelectronics Platform Fudan UniversityShanghai 200433China Department of Physics and Astronomy Eastem Michigan UniversityYpsilantiMI 48197USA Shanghai Integrated Circuit R&D Center Shanghai 201203China

Tantalum and copper layers were deposited on a thermally oxidized Si substrate in a magnetron sputtering process. Nanoindentation was adopted to investigate the hardness and elastic modulus of the Cu/Ta/Si02/Si multilayer system. The hardness shows an apparent dependence on the film thickness, and decreases with the increase of film thickness, whereas the elastic modulus does not. To reveal the structural change, a trench through the center of a residual indent was cut by a focused ion beam, and then examined using an ionicroscope. TEM analysis showed that delamination occurs at the interface between the Ta and the Si02 layer of the residual indent, suggesting that the destruction under a relatively large load is due to weak bonding.

关键词： copper tantalum nanoindentation hardness elastic modulus