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基于多源数据融合的半导体晶片CMP抛光材料去除率预测
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表面技术 2024年 第2期53卷 150-157,167页
作者: 方维 王宇宇 宋志龙 吕冰海 赵文宏 浙江工业大学机械工程学院 杭州310023
目的 对半导体晶片抛光过程中的工艺参数、耗材使用量、抛光垫状态参数等多源数据预处理后进行数据融合,建立材料去除率(MRR)预测模型,为实现半导体晶片抛光加工工艺的决策和处理奠定基础。方法 研究晶片抛光加工中的数据特点及数据融... 详细信息
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力流变工艺对轴承滚道表面质量与精度的影响
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中国机械工程 2024年
作者: 郭路广 戴卓豪 王东峰 王旭 吕冰海 袁巨龙 浙江工业大学 洛阳轴研科技有限公司
目的 获得高质量的套圈滚动面形貌,改善形状精度,提高轴承服役性能。方法 采用力流变抛光技术,设计了正交实验方案,确认了实验参数范围。研究了力流变加工过程中,抛光速度、磨粒粒径和磨粒浓度对材料去除率(MRR)和表面粗糙度Ra的... 详细信息
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Cu/HO类芬顿反应促进钨的高效化学机械抛光(英文)
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Transactions of Nonferrous Metals Society of China 2024年
作者: 陈泓谕 王林 彭枫 沈蒙蒙 杭伟 Tufa Habtamu BERI 张惠斌 赵军 韩云晓 吕冰海 浙江工业大学材料科学与工程学院 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室 阿达玛科学技术大学 浙江工业大学机械工程学院
本文将Cu2+/H2O2类芬顿反应应用于化学机械抛光中,以实现钨的高效高质量加工。采用扫描电子显微镜、X射线光电子能谱、紫外-可见分光光度计和电化学实验等方法研究了钨在抛光过程中的微观结构演变和材料去除率。讨论了钝化行为和材料... 详细信息
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具身理论视角下高职学生工匠精神培养路径研究
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工业技术与职业教育 2024年 第2期22卷 82-85页
作者: 王洁 吕冰海 王志强 杭州职业技术学院 浙江杭州310018 浙江工业大学 浙江杭州310014
工匠精神的培养助力国家振兴,作为教育场域中职业精神养成主阵地的高等职业教育义不容辞。教育工作者从多角度切入,研究和实践成果颇丰,但培养现状中也呈现出一定程度的“离身化”“狭义情境化”以及“强制性及形式化”等身心分离问题... 详细信息
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磨粒类型对K9玻璃剪切增稠抛光的影响
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表面技术 2022年 第11期51卷 337-346,384页
作者: 段世祥 吕冰海 邓乾发 浙江工业大学机械工程学院 杭州310023
目的采用剪切增稠抛光方法对K9玻璃进行抛光,以工件表面粗糙度Sa为评价指标,研究不同磨粒抛光液对K9玻璃的抛光效果。方法采用金刚石、CeO_(2)、Al_(2)O_(3)和SiO_(2)等4种单一磨粒,以及金刚石+SiO_(2)混合磨粒,制备了不同的剪切增稠抛... 详细信息
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基于损伤区域融合变换的轴承鼓形滚子表面损伤检测方法
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浙江大学学报(工学版) 2023年 第5期57卷 1009-1020页
作者: 艾青林 崔景瑞 吕冰海 童桐 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室 浙江杭州310023
针对鼓形滚子表面损伤检测过程中损伤零件数量少、检测准确率及查准率不高的问题,提出一种基于多样本关键损伤区域融合数据增强的轴承鼓形滚子表面损伤检测方法.搭建鼓形滚子表面损伤特征样本检测装置,采集滚子的工作面侧面图像并将侧... 详细信息
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钨及其合金超精密抛光研究进展
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表面技术 2022年 第4期51卷 24-36页
作者: 许良 王林 陈泓谕 杭伟 吕冰海 袁巨龙 浙江工业大学机械工程学院超精密加工研究中心 杭州310023
钨及其合金是当今高新技术产业重要的基础材料。近年来,科技的发展对材料表面质量提出了更高的要求,因此在特定条件下有必要对钨及其合金进行超精密抛光。聚焦高效、高质量、低损伤抛光,结合国内外相关研究,对适用于钨及其合金的超精密... 详细信息
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力流变抛光技术
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机械工程学报 2022年 第15期58卷 21-30页
作者: 袁巨龙 王金虎 吕冰海 王旭 杭伟 浙江工业大学超精密加工研究中心 杭州310023
针对高质量复杂曲面抛光效率低下的难题,提出了力流变抛光技术,通过调控非牛顿流体抛光液在剪切应力作用下的非线性流变特性以及抛光液流场参数,调节抛光液与被抛光表面间的剪切应力,在被抛光表面形成柔性把持磨粒的流变层实现材料去除... 详细信息
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磨粒类型对K9玻璃剪切增稠抛光的影响研究
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表面技术 2022年
作者: 段世祥 吕冰海 邓乾发 浙江工业大学机械工程学院
目的 采用剪切增稠抛光方法对K9玻璃进行抛光,以工件表面粗糙度S;为评价指标,研究不同磨粒抛光液对K9玻璃的抛光效果。方法采用金刚石、CeO;、Al;O;和SiO;这四种单一磨粒以及金刚石+SiO;混合磨粒,制备了不同的剪切增稠抛光液,并测...
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基于流体自激的磨料水射流加工仿真与实验
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中国机械工程 2022年 第3期33卷 279-289页
作者: 邓乾发 汪杨笑 袁巨龙 吕冰海 赵天晨 王旭 浙江工业大学超精密加工研究中心 杭州310023 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室 杭州310023 衢州学院机械工程学院 衢州324000
针对先进陶瓷材料的高效、精密加工,提出了一种基于流体自激的新型磨料水射流加工方法——自激振荡磨料水射流加工(SEO-AWJM)。采用ANSYS Fluent大涡模拟模型进行了流体仿真,仿真结果表明:当入口流速为135 m/s,腔长为4 mm时,下游喷嘴出... 详细信息
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