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复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究
复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究
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作者: 司新春 中国科学院研究生院(光电技术研究所)
学位级别:硕士
随着微纳技术的不断发展,其特征尺寸逐渐由微米量级向亚微米、纳米量级延伸,对光刻分辨力提出了越来越高的要求。传统投影式光刻方法依靠缩短曝光波长、提高数值孔径来提升光刻分辨力。但是,随着光刻分辨力达到32nm以下,传统提高分辨力... 详细信息
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俄罗斯金融危机的根源及启示
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国际金融 1998年 第9期 39-42页
作者: 司新春 杜清智 总行国际部亚非欧处
1991年12月,苏联宣布终止存在,俄罗斯作为一个独立的主权国家开始运作。没过多久,迷茫惊恐甚而惊喜的俄罗斯人民,发现自己在这场本世纪最为深刻的社会历史变革中失去的不仅仅是枷锁,而且还失去了几十年来在低物价、低通胀条件下稳定安... 详细信息
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基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究
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中国激光 2015年 第9期42卷 301-307页
作者: 司新春 佟军民 唐燕 胡松 刘俊伯 李金龙 周毅 邓钦元 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 四川成都610209 中国科学院大学 北京100049 许昌职业技术学院 河南许昌461000
提出了一种基于二维光栅叠栅效应的纳米光刻对准方法,用于接近式光刻实现二维同步对准。该方法采用两组周期接近的二维光栅重叠产生一组周期分布的叠栅条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,将光栅间的位移反应在条纹的相位信... 详细信息
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基于复合光栅的大范围高精度对准方法
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光学学报 2016年 第1期36卷 23-31页
作者: 司新春 唐燕 胡松 刘俊伯 程依光 胡淘 周毅 邓钦元 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 四川成都610209 中国科学院大学 北京100039
提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精对准;通过直接求取大... 详细信息
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关向应:忠于党和人民的杰出楷模
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共产党员 2021年 第22期 50-53页
作者: 王建立 张国田 胡淼 司新春 不详
为深入贯彻落实习近平总书记关于学习党史、新中国史、改革开放史、社会主义发展史的重要指示批示精神,庆祝中国共产党成立100周年,辽宁省委党史研究室与本刊编辑部合作,2021年每期推出辽宁地方党史专稿,帮助广大读者重温辽宁记忆,从中... 详细信息
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安第斯予备基金
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国际金融研究 1986年 第3期 63-63页
作者: 司新春
安第斯予备基金是安第斯集团成员国实行一体化的金融机构。1976年1月12日,安第斯条约成员国—玻利维亚、委内瑞拉、哥伦比亚、秘鲁和厄瓜多尔的财政部长,正式签订了成立安第斯予备基金协议,经全体成员国批准后,于1978年初,开始生效。总... 详细信息
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地下动物园
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化石 1985年 第2期 27-27页
作者: 司新春
在法国南部的阿登省,修建了一个动物园,它位于二百米深的溶洞里。这里饲养了许多类动物——有两栖动物,各种各样的鱼,蝙蝠及
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最早的纸币
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化石 1985年 第2期 27-27页
作者: 司新春
早期的纸币是在何地、何时出现的呢?人们常常都这样回答:在中世纪后半叶的欧洲。但事实上,它们产生于九世纪时的中国。当时唐宪宗在位,商业上通行一种纸制的流通票券。那时的纸币是灰颜色的,它是采用一种特殊的方法——用桑树皮作原料... 详细信息
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我市迎新春系列文化活动亮点纷呈
我市迎新春系列文化活动亮点纷呈
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汉中日报
作者:
本报讯(记者 霜)记者从汉中市2024年第六季“汉风大年”新春文化活动启动仪式上了解到,围绕春节、元宵节传统文化节日,我市创新推出“汉家展新姿、汉风涌新潮、汉韵迎新春”等六大主题160多项文化活动和4大项84场文、商、旅、体... 详细信息
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新春寻“龙”,汉中龙元素给年味点睛
新春寻“龙”,汉中龙元素给年味点睛
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汉中日报
作者: 李弋戈
今年是龙年,龙是中华民族的图腾,在中国人的心中有着特殊的地位。汉中,有着悠久的历史文明,在这方钟灵毓秀的神奇土地上,不仅有文明的异彩,还有许多带有龙元素的名胜古迹和历史传说。近日,记者前往文化站、景区、博物馆,用镜头... 详细信息
来源: cnki报纸 评论