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新型锑氧簇光刻胶的性能与机理研究

化工学报 2024年第4期75卷 1705-1717页

作者：司友明郑凌峰陈鹏忠樊江莉彭孝军大连理工大学智能材料化工前沿科学中心精细化工国家重点实验室辽宁大连116024

随着半导体行业集成度越来越高,对光刻材料提出了更高的要求。近年来,金属氧簇光刻胶由于尺寸小、结构设计灵活,得到了广泛的研究。目前锑基金属光刻胶仅局限于含锑配合物。开发出新型锑氧簇光刻胶,通过对比金属有机组装Sb_(4)O-1与自组... 详细信息

随着半导体行业集成度越来越高,对光刻材料提出了更高的要求。近年来,金属氧簇光刻胶由于尺寸小、结构设计灵活,得到了广泛的研究。目前锑基金属光刻胶仅局限于含锑配合物。开发出新型锑氧簇光刻胶,通过对比金属有机组装Sb_(4)O-1与自组装Sb_(4)O-2的溶解度差异说明自组装策略优势。原子力显微镜证实Sb_(4)O-2光刻胶可形成光滑薄膜,并获得低粗糙度值(均方根粗糙度<0.3 nm)。电子束光刻(EBL)证明Sb_(4)O-2光刻胶优异的图案化能力(线宽<50 nm),理论计算支持X射线光电子能谱(XPS)分析的新型自组装Sb_(4)O-2“配体解离”机制。

关键词：锑氧簇自组装光刻胶理论计算电子束光刻成像溶解性纳米材料

学习内在价值能直接提升学生在线学习接受度吗?——自我调节学习技能的中介作用

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现代远距离教育 2024年第1期 58-68页

作者：李爽陈佳琪刘司卓杜君磊北京师范大学北京100875

随着在线学习逐渐成为传统院校学历教育学分课程的可选学习方式,迫切需要更多理论与实证研究洞察这种不同于非正式与混合式学习的新场景下在线学习的特征与机制。鉴于此,在学习动机和自我调节学习经典量表以及技术接受度模型的基础上编... 详细信息

随着在线学习逐渐成为传统院校学历教育学分课程的可选学习方式,迫切需要更多理论与实证研究洞察这种不同于非正式与混合式学习的新场景下在线学习的特征与机制。鉴于此,在学习动机和自我调节学习经典量表以及技术接受度模型的基础上编制问卷,对我国某高校在线学习学分课程的大学生施测,基于1021份有效问卷数据,通过结构方程建模方法检验学习内在价值对在线学习接受度的影响,以及目标设定、环境构建、任务策略、时间管理、寻求帮助、自我评价六维自我调节学习技能在二者之间的中介作用。研究结果表明:学生感知的学习内在价值不会直接影响其对在线学习的接受度,而是通过学生各项自我调节学习技能间接影响;内在价值对六维自我调节学习技能的驱动作用不同,对目标设定、环境构建和寻求帮助的影响更强;除了寻求帮助维度,其他五维自我调节学习技能均能显著影响学生的在线学习接受度,并在内在价值和在线学习接受度之间发挥显著中介作用。基于研究结果的讨论,提出多种途径促进学生自我调节学习技能的全面发展、重视在线课程中自我调节学习的支架设计、根据在线学习情境部署规划公共学习支持服务等建议。

关键词：在线学习自我调节学习内在价值在线学习接受度中介模型

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用于EUV图案化的新型氧化锌簇交联策略的辐射化学

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Science China Materials 2024年第5期67卷 1588-1593页

作者：司友明周丹红赵俊彭译锋陈鹏忠樊江莉彭孝军 State Key Laboratory of Fine Chemicals Frontiers Science Centre for Smart Materials Oriented Chemical EngineeringSchool of Chemical EngineeringDalian University of TechnologyDalian116024China Shanghai Synchrotron Radiation Facility Shanghai Institute of Applied PhysicsChinese Academy of SciencesShanghai201204China

由于C=C双键交联反应机制的成熟,金属氧化物光刻胶得到了广泛的发展.然而,由于不稳定的C=C双键,这种材料需要低温和遮光存储.在此,首次在金属氧簇中提出了C-F键交联策略用于光刻图案化.以光刻胶Zn-TBA为例,它形成光滑无缺陷的薄膜,且表... 详细信息

由于C=C双键交联反应机制的成熟,金属氧化物光刻胶得到了广泛的发展.然而,由于不稳定的C=C双键,这种材料需要低温和遮光存储.在此,首次在金属氧簇中提出了C-F键交联策略用于光刻图案化.以光刻胶Zn-TBA为例,它形成光滑无缺陷的薄膜,且表面粗糙度Rq小于0.2 nm.使用极紫外(EUV)干涉掩模,在65 mJ cm^(-2)曝光剂量下形成37.5 nm的半周期(HP)图案.在EUV曝光和正己烷显影后,通过原子力显微镜(AFM)观察到负性光刻胶形貌.重要的是,Zn-TBA可以在室温和明亮的环境中储存.除了脱羧之外,我们还提出光引发的C-F交联是Zn-TBA图案的主要贡献者,并通过高分辨率X射线光电子能谱(HRXPS)和密度泛函理论(DFT)计算得以证明.这种新颖的光刻机制为下一代金属基材料的设计提供了新的思路.

关键词： zinc-oxo cluster C-F crosslinking extreme ultraviolet lithography radiation chemistry lithography mechanism

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行政事业单位内部控制管理研究

行政事业资产与财务 2024年第13期 54-56页

作者：司忠柳山东广播电视台山东济南

本文围绕行政事业单位的内部控制管理问题展开研究,主要从内部控制管理的重要意义、现存问题和优化对策三个方面进行分析。内部控制管理在提高工作效率、规范经济行为、提高资产利用率等方面发挥了积极作用。同时,内部控制管理存在认识... 详细信息

本文围绕行政事业单位的内部控制管理问题展开研究,主要从内部控制管理的重要意义、现存问题和优化对策三个方面进行分析。内部控制管理在提高工作效率、规范经济行为、提高资产利用率等方面发挥了积极作用。同时,内部控制管理存在认识不到位、预算编制不合理、内部控制管理人员的综合素质不高、资产管理不完善等问题。对此,行政事业单位应该加强宣传和培训,完善内部控制环境,提高预算编制质量,加强资产管理,提高内部控制管理人员的综合素质,提升内部控制管理水平,加强沟通交流,促进行政事业单位可持续发展。

关键词：行政事业单位资产管理内部控制管理

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创新管理优质服务全面提升固定资产管理能力

行政事业资产与财务 2024年第5期 15-16页

作者：司忠柳山东广播电视台山东济南

本文从工作单位的固定资产管理现状出发,深入剖析了固定资产管理中存在的问题,提出了一套“由台账到清单、由人力到程序、严把入口出口”盘活固定资产效能、提高管理人员技能的操作模式,以期为广播电视事业的蓬勃发展提供有力的支撑。

关键词：管理体制信息化资源配置

基于ABAQUS软件ELBOW单元的LNG管道有限元模拟

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珠江水运 2024年第4期 132-134页

作者：魏凡卓司岩桂劲松大连海洋大学海洋与土木工程学院曹妃甸新天液化天然气有限公司

本文运用ABAQUS软件中的ELBOW单元进行LNG管道有限元模拟,并与CAESAR II计算结果对比,最大应力出现在Π型弯下侧弯头处,差值比小于5%,可见ELBOW单元可用于管道应力分析。进一步分析了管道温度对应力的影响,结果表明,温度变化对二次应力... 详细信息

本文运用ABAQUS软件中的ELBOW单元进行LNG管道有限元模拟,并与CAESAR II计算结果对比,最大应力出现在Π型弯下侧弯头处,差值比小于5%,可见ELBOW单元可用于管道应力分析。进一步分析了管道温度对应力的影响,结果表明,温度变化对二次应力和操作应力影响较大,对一次应力无影响。

关键词： ABAQUS软件 ELBOW单元数值模拟管道应力

断层接触非均匀性对米尺度断层黏滑失稳成核过程的控制

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地球物理学报 2024年第6期67卷 2336-2349页

作者：任雅琼谢凡卓燕群中国地震局地球物理研究所北京100081 中国地震局震源物理重点实验室北京100081 中国地震局地质研究所地震动力学国家重点实验室北京100029

非均匀性是野外断层的重要特征,我们利用预制的具备接触非均匀性的米尺度岩石断层开展黏滑实验,模拟野外地震失稳过程.通过观测预制岩石断层发生的多个黏滑事件的应变时空演化,并对比断层接触非均匀性测定结果发现:(1)断层的接触弱段是... 详细信息

非均匀性是野外断层的重要特征,我们利用预制的具备接触非均匀性的米尺度岩石断层开展黏滑实验,模拟野外地震失稳过程.通过观测预制岩石断层发生的多个黏滑事件的应变时空演化,并对比断层接触非均匀性测定结果发现:(1)断层的接触弱段是成核最先启动,即最早发生预滑的区域,随失稳临近,预滑区域扩展且滑动速率增加,与厘米尺度均匀断层相比,准静态过程的预滑扩展不明显,向准动态过程转变突然且迅速;(2)断层的接触强段在成核期间一直处于闭锁状态,应力升高,且随失稳临近增幅加强,强段的屈服是断层从缓慢破裂到快速破裂的转折点,接触强段的持续闭锁在以往的厘米尺度均匀断层黏滑实验中较为少见;(3)加载速率以及加载历史是影响米尺度断层成核持续时间的重要因素,随加载速率变慢,成核持续时间变长,随加载历史变长,断层趋于均匀化,成核持续时间变短.上述研究结果明确提供断层接触非均匀性控制成核过程的直接证据.这不仅有助于将实验结果向可操作的地震预测实践转化,也有助于促进(大陆浅源)地震前兆机理的探索及理解.

关键词：摩擦黏滑地震成核断层接触非均匀性预滑

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耦合大数据与空间综合模拟的广深港第二高铁选线方法

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武汉大学学报(信息科学版) 2024年

作者：涂伟包卓远高位方碧宸李明晓黄正东郭仁忠粤港澳智慧城市联合实验室亚热带建筑与城市科学全国重点实验室深圳大学建筑与城市规划学院广东省城市空间信息工程重点实验室自然资源部大湾区地理环境监测重点实验室

粤港澳大湾区城市间联系日益紧密，交通出行迅猛增长。大湾区现有的公路和铁路网络已难以支撑日益增长的出行需求。现有设施选址模型从地形、交通、人口、生态等维度设计优化目标，以生成适宜性最优的线路方案，但并未考虑重大基础设施... 详细信息

粤港澳大湾区城市间联系日益紧密，交通出行迅猛增长。大湾区现有的公路和铁路网络已难以支撑日益增长的出行需求。现有设施选址模型从地形、交通、人口、生态等维度设计优化目标，以生成适宜性最优的线路方案，但并未考虑重大基础设施建设对区域发展的促进作用。针对广深港第二高铁，本文耦合大数据和空间综合模拟模型发展基础设施选线方法。利用现有铁路网络、高速公路、人口密度、地区生产总值、地质构造、土地利用、生态保护区边界、数字高程模型、水系边界等多源地理大数据，利用叠置分析、缓冲区分析等方法生成高质量的高铁线路。发展“国土-人口-经济-交通”综合模拟模型，预测高速铁路未来发展情景。在此基础上，构建结合城市、企业和个体等多利益主体的指标体系，计算高速铁路建设的效益与费用，比较分析多个选线方案的优劣。实验结果表明经过广州白云机场、广州知识城、东莞松山湖、深圳前海和香港北部都会区的北部线串联了四个城市的未来发展区域，具有充分利用既有线路，提升居民出行便利等特点。本文研究成果不仅为广深港第二高铁线路选线提供了数据与模型支撑，也为城市群重大基础设施选址提供有益参考。

关键词：高速铁路选线设施选址大数据空间模拟多利益主体粤港澳大湾区

从技术锁定判别中寻求技术突破的可能路径——以光刻技术为例

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科学学研究 2024年

作者：孙冰鞠卓芳哈尔滨工程大学经济管理学院

在光刻产业发展初期，摩尔定律推动着芯片性能呈现指数式上涨。然而，技术的自身发展规律导致技术“天花板”的出现，量子隧穿效应使摩尔定律失效，光刻技术出现技术锁定现象。基于路径构造理论的洞见，本文选取光刻产业专利信息分析技... 详细信息

在光刻产业发展初期，摩尔定律推动着芯片性能呈现指数式上涨。然而，技术的自身发展规律导致技术“天花板”的出现，量子隧穿效应使摩尔定律失效，光刻技术出现技术锁定现象。基于路径构造理论的洞见，本文选取光刻产业专利信息分析技术锁定效应，以光刻产业的技术共类网络结构为核心，测度技术生态位特征的指标，分析光刻产业技术生态位的三维特征。并利用Kaplan-Meier法测度技术锁定效应，构建面板回归模型分析技术生态位的三维特征及综合作用对技术锁定效应的影响，进而从技术生态位特征入手识别技术锁定破解的机会窗口。

关键词：技术锁定技术生态位技术突破光刻产业