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纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势

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机械工程学报 2009年第6期45卷 1-13页

作者：兰红波丁玉成刘红忠卢秉恒西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049 山东大学机械工程学院济南250061

模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography,NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在,模具作为压印特征的初始载体直接决定着压印图型的质量,要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模具。不同于传统光学光刻使用的掩模(4X),纳... 详细信息

模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography,NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在,模具作为压印特征的初始载体直接决定着压印图型的质量,要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模具。不同于传统光学光刻使用的掩模(4X),纳米压印光刻使用的是1X模版,它在模具制作、检查和修复技术面临更大挑战。当前,模具的制作已经成为NIL最大的技术瓶颈,而且随着纳米压印光刻研究的日益深入以及应用领域的不断扩大,NIL模具的制造将变的越来越重要并面临着更加严峻的挑战。因此,模具的制造已经成为当前纳米压印光刻一个最重要的研究热点,纳米压印光刻发展的历史也是压印模具不断发展创新的历史。综述了当前国内外各种纳米压印光刻模具制作技术研究进展,并指出三维模具、大面积模具和高分辨率模具的制作、模具缺陷的检查和修复是当前及其将来最迫切的需求、最主要的研究热点和挑战。

关键词：纳米压印光刻模具制作三维模具大面积模具软模具

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再论中国资本管制有效性

世界经济文汇 2015年第6期 20-32页

作者：刘红忠杨小海韩永超复旦大学金融研究院 200433

本文综合运用经济的基本面和法规指标法对中国1981年至2014年间的资本管制有效性进行了评估,并侧重剖析了当前的资本管制是否有效。研究结果显示:过去三十年,中国资本管制在长期内的有效性呈现逐渐减弱的趋势,但是从时变参数的利率测度... 详细信息

本文综合运用经济的基本面和法规指标法对中国1981年至2014年间的资本管制有效性进行了评估,并侧重剖析了当前的资本管制是否有效。研究结果显示:过去三十年,中国资本管制在长期内的有效性呈现逐渐减弱的趋势,但是从时变参数的利率测度法来看,其自2008年以来在短期内的有效性却在增强;同时,相对于长期内的有效性,资本管制在短期内的有效性更强。总而言之,虽然中国的资本管制存在诸多漏洞,但总体有效,其对短期资本的流动仍有明显抑制作用。

关键词：资本管制卡尔曼滤波法规指标法

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纳米压印光刻中的多步定位研究

西安交通大学学报 2006年第3期40卷 261-264,269页

作者：刘红忠丁玉成卢秉恒王莉邱志惠西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049

在步进重复式压印光刻中,为了避免承片台支撑绞链结构间隙及微观姿态调整往返运动导致的表面材料不规则形变,建立了单调、无振荡、多步逼近目标位置的宏微两级驱动系统,并提出了径向基函数-比例、积分、微分(RBF-PID)及单调位置控制算法... 详细信息

在步进重复式压印光刻中,为了避免承片台支撑绞链结构间隙及微观姿态调整往返运动导致的表面材料不规则形变,建立了单调、无振荡、多步逼近目标位置的宏微两级驱动系统,并提出了径向基函数-比例、积分、微分(RBF-PID)及单调位置控制算法.控制结果证明,使用具有强鲁棒性的RBF-PID非线性控制模式,使得驱动过程呈现无超调、无振荡的单调过程,因此避免了由于系统微观振荡调节而引入的间隙误差和材料表面形变误差.此控制方式可使步进重复式压印系统的定位精度在满足100 mm行程驱动的前提下,达到小于10 nm的定位技术指标.

关键词：纳米压印光刻多步定位非线性控制

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曲面仿生复眼透镜微复型过程变形分析

西安交通大学学报 2013年第5期47卷 121-125页

作者：杨俊蒋维涛王兰兰刘红忠西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049

针对大视场曲面仿生复眼透镜的制造难点,采用了一种基于气压辅助聚合物弹性体微复型的制造工艺,以实现大视场曲面微透镜阵列的快速、低成本制造。利用有限元软件(ABAQUS),对气压辅助微复型工艺过程中聚合物弹性体的大变形、曲面成型过... 详细信息

针对大视场曲面仿生复眼透镜的制造难点,采用了一种基于气压辅助聚合物弹性体微复型的制造工艺,以实现大视场曲面微透镜阵列的快速、低成本制造。利用有限元软件(ABAQUS),对气压辅助微复型工艺过程中聚合物弹性体的大变形、曲面成型过程中微透镜的形变问题进行了仿真实验,得到了曲面成型过程中曲面轮廓对成型气压的依赖关系,以及不同纬度微透镜阵列的尺寸变化关系,并进行了相关工艺实验验证。结果表明,在气压辅助曲面成型过程中,成型曲面的轮廓为球面,其球面直径依赖于成型气压;曲面成型过程中,微透镜形变量沿曲面纬度方向基本一致,不同纬度上微透镜直径的增大率为9.45%～10.56%。由于在不同纬度处所制造的曲面复眼透镜的焦平面不同,因此曲面复眼透镜具有比平面微透镜阵列更大的视场。

关键词：气压辅助成型曲面复眼透镜变形分析

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紫外压印光刻中阻蚀胶残膜刻蚀工艺

西安交通大学学报 2006年第11期40卷 1276-1279页

作者：史永胜丁玉成卢秉恒刘红忠西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049

针对紫外(UV)压印光刻在压印工艺过程中会产生阻蚀胶残膜的技术特点,采用以O2为反应气体来清除阻蚀胶残膜的反应离子刻蚀(RIE)工艺方法,研究了不同的反应气体流量、反应腔室压力、射频功率等刻蚀参数对刻蚀速率和刻蚀各向异性的影响,得... 详细信息

针对紫外(UV)压印光刻在压印工艺过程中会产生阻蚀胶残膜的技术特点,采用以O2为反应气体来清除阻蚀胶残膜的反应离子刻蚀(RIE)工艺方法,研究了不同的反应气体流量、反应腔室压力、射频功率等刻蚀参数对刻蚀速率和刻蚀各向异性的影响,得到了刻蚀速率和刻蚀各向异性随各刻蚀参数的变化趋势图.实验结果表明,减小反应气体压力和气体流速可以降低刻蚀速率,提高刻蚀各向异性.通过对刻蚀参数的优化配置,当射频功率在200 W、反应气体流速在30 mL/min、反应腔室压力为0.6 Pa时,刻蚀速率可以稳定在265 nm/min,各向异性值可以达到13,因此实现了对压印图质形的高质量转移.

关键词：紫外压印阻蚀胶残膜反应离子刻蚀

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压印光刻中模具空间位姿的识别及仿真

西安交通大学学报 2007年第1期41卷 55-58页

作者：蒋维涛丁玉成卢秉恒刘红忠西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049

在纳米压印光刻中,为了减小模具与晶片的平行度误差,将精对正光栅标记的相对误差校正到半栅距范围之内,并建立了点光源映射的数学模型,对模具空间位姿的投影进行图像识别.在算法设计的基础上,建立了纳米压印光刻系统中的粗对正系统及其... 详细信息

在纳米压印光刻中,为了减小模具与晶片的平行度误差,将精对正光栅标记的相对误差校正到半栅距范围之内,并建立了点光源映射的数学模型,对模具空间位姿的投影进行图像识别.在算法设计的基础上,建立了纳米压印光刻系统中的粗对正系统及其控制流程,通过仿真计算,可以将模型的转角计算精度控制在10-6rad以下,位置偏移量计算精度控制在1 nm以下,所建立的粗对正系统的检测精度可达到1μm以下,因此满足了压印光刻中下一步精对正系统的要求.

关键词：纳米压印点光源映射粗对正

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柔性水下悬停机器人的液气相变驱动及制造

西安交通大学学报 2021年第2期55卷 10-17页

作者：张鸿健韩捷蒋维涛牛东刘红忠西安交通大学机械工程学院西安710049

为解决传统水下机器人功耗大、噪声大、机电特征易被探测的缺点,受河鲀应激防御时体型变化的启发,设计并制造了一种基于液气相变驱动的柔性水下悬停机器人(简称悬停机器人)。机器人基体由柔性硅橡胶材料制成,内部预设一腔体,腔体内封装... 详细信息

为解决传统水下机器人功耗大、噪声大、机电特征易被探测的缺点,受河鲀应激防御时体型变化的启发,设计并制造了一种基于液气相变驱动的柔性水下悬停机器人(简称悬停机器人)。机器人基体由柔性硅橡胶材料制成,内部预设一腔体,腔体内封装低沸点驱动液体(3M TM Novec TM 7000,沸点35℃),通过加热驱动液体使其发生液气相变,作用在内腔壁面上的饱和蒸气压使悬停机器人的体积发生变化从而改变悬停机器人的浮力;通过控制驱动温度实现悬停机器人的上浮下潜运动与定深悬停。实验表明:悬停机器人在自封装15 mL驱动液体时的驱动温度范围为50~100℃,最大可提供约为自重1.95倍的浮力;在驱动温度为53℃时,可实现定深悬停;在驱动温度范围内,浮力测量值误差小于5%。基于液气相变驱动的柔性水下悬停机器人回避了传统的机电驱动传动,自带工质,尺寸小质量轻,适合水下复杂环境作业;工作功耗小,驱动过程无噪声。

关键词：水下监测悬停机器人液气相变驱动定深悬停

股票收益率分布的核密度估计及蒙特卡罗模拟检验——基于涨跌停板制度推出前后数据的比较研究

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世界经济文汇 2010年第2期 46-55页

作者：刘红忠何文忠复旦大学金融研究院

利用预先设定好的分布形式对股票收益率进行拟合不可避免会产生模型设定误差,因此,本文利用核密度估计方法,以涨跌停板制度推出为界,对1992年5月21日—2009年6月30日期间的股票收益率分别进行了拟合和蒙特卡洛模拟检验。研究发现,使用... 详细信息

利用预先设定好的分布形式对股票收益率进行拟合不可避免会产生模型设定误差,因此,本文利用核密度估计方法,以涨跌停板制度推出为界,对1992年5月21日—2009年6月30日期间的股票收益率分别进行了拟合和蒙特卡洛模拟检验。研究发现,使用核密度估计技术很好地近似了真实股票收益率分布;并且,涨跌停板推出以后的股票收益率曲线比推出之前要尖,尾部更厚,对这一现象,本文从行为金融和市场微观结构角度进行了解释。

关键词：股票收益率核密度蒙特卡罗模拟涨跌停板

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资产流动性、融资约束与经济波动

统计研究 2017年第11期34卷 15-29页

作者：刘红忠傅家范复旦大学复旦大学经济学院

随着资产证券化的推进和直接融资比重的提升,经济主体面临的资产流动性约束将不断放松。然而国内鲜有文献从资产流动性的角度研究内外部冲击对我国宏观经济波动的影响。本文构建了一个同时包含信贷约束和资产流动性约束的NK-DSGE模型,... 详细信息

随着资产证券化的推进和直接融资比重的提升,经济主体面临的资产流动性约束将不断放松。然而国内鲜有文献从资产流动性的角度研究内外部冲击对我国宏观经济波动的影响。本文构建了一个同时包含信贷约束和资产流动性约束的NK-DSGE模型,分析资产流动性通过影响企业融资能力、进而影响经济波动的动态效应及作用机制;并利用我国非金融上市公司季度现金流量表数据,进行模型刻画和参数校准。研究发现:(1)当出现正向生产力、资产价格冲击时,产出、消费与投资扩张,并且该扩张效应与稳态资产流动性水平正相关;(2)当出现负向资产流动性冲击时,产出、消费和投资受到抑制;(3)金融冲击可以解释约21%的产出波动与89%的投资波动,随着资产流动性的改善,金融冲击造成的影响趋于减弱。适当利用资产证券化盘活存量资产,增强经营性资产流动性,有助于缓解当前企业面临的融资难、高杠杆等问题。

关键词：资产流动性资产证券化融资约束经济波动