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28 nm HKMG技术中镍硅化物异常生长引发的失效

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半导体技术 2024年

作者：方精训姜兰上海华力集成电路制造有限公司

针对28 nm高介电金属栅（HKMG）技术研发初期出现的镍硅化物异常导致的失效进行了深入探究。发现第二道镍金属硅化物激光退火工艺对产品良率有重要影响。对裸晶内失效位置进行透射电子显微镜（TEM）检测，结果表明失效区域均为PMOS器件... 详细信息

针对28 nm高介电金属栅（HKMG）技术研发初期出现的镍硅化物异常导致的失效进行了深入探究。发现第二道镍金属硅化物激光退火工艺对产品良率有重要影响。对裸晶内失效位置进行透射电子显微镜（TEM）检测，结果表明失效区域均为PMOS器件的SiGe区域。这意味着在相同的热预算条件下，PMOS的工艺窗口相较于NMOS会更狭窄。结合激光退火工艺特性，在首次扫描过程中，受降温阶段的影响，晶圆特定区域会累积额外热量，使得该区域热预算异常升高，镍硅化物产生异常，导致产品良率损失；当激光退火温度降低40 ℃，镍硅化物缺陷问题得以成功解决，产品良率也得到明显提升。

关键词：镍硅化物良率激光退火热预算高介电金属栅(HKMG)

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做好养老金融大文章提升老年生活幸福感

现代金融导刊 2024年第1期 21-24页

作者：张川川刘来泽詹洪波浙江大学劳动经济研究所浙江大学金融研究院中国工商银行浙江分行授信审批部

养老金融是中央金融工作会议提出的金融服务经济社会高质量发展五篇大文章之一。养老金融是围绕全社会养老需求的一系列金融活动的总称，其中养老是核心目标，金融是关键手段。大力发展养老金融是积极应对人口老龄化、促进经济社会高质...

养老金融是中央金融工作会议提出的金融服务经济社会高质量发展五篇大文章之一。养老金融是围绕全社会养老需求的一系列金融活动的总称，其中养老是核心目标，金融是关键手段。大力发展养老金融是积极应对人口老龄化、促进经济社会高质量发展的题中应有之义，在老龄化速度不断加快、老年人口规模巨大的人口老龄化进程下，提出做好养老金融大文章正当其时、十分必要。

关键词：

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禅宗思想对艺术创作思维的价值和启发

中国宗教 2024年第1期 74-75页

作者：方荟玲沈阳大学音乐与传媒学院

禅宗思想以超越理性和逻辑的光辉,给艺术创作带来许多启示。追求禅境的艺术传达,气韵生动、动静相生、虚实相间都是禅宗思想的体现。禅宗作为佛教中国化的成果,在唐代成为凝聚中国智慧的思想模式,为中国继诸子百家后下一个思想高峰-宋... 详细信息

禅宗思想以超越理性和逻辑的光辉,给艺术创作带来许多启示。追求禅境的艺术传达,气韵生动、动静相生、虚实相间都是禅宗思想的体现。禅宗作为佛教中国化的成果,在唐代成为凝聚中国智慧的思想模式,为中国继诸子百家后下一个思想高峰-宋明新儒学奠定了基础。程朱理学和陆王心学在禅宗思想的浸润下,将儒释道三家合流,把中国哲学推向了高峰,也带来中国艺术的最高境界。

关键词：佛教中国化陆王心学禅宗思想程朱理学气韵生动艺术传达诸子百家艺术创作

谐振式光学陀螺噪声抑制技术研究现状(特邀)

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光子学报 2024年第5期53卷 39-56页

作者：王飞白禹卜韩南朝铭张仕泽李溢凡周彦汝邢恩博刘来刘文耀唐军刘俊中北大学山西省量子传感与精密测量重点实验室太原030051 中北大学仪器与电子学院动态测试技术国家重点实验室太原030051

谐振式光学陀螺仪利用光学谐振腔在时空上对光波极强的局域增强效应,有望成为兼具高精度和小体积的光学陀螺。然而,谐振式陀螺转动产生的Sagnac效应相对微弱,容易受到陀螺系统内非互易性以及互易性噪声的干扰,成为其精度提升的瓶颈。在... 详细信息

谐振式光学陀螺仪利用光学谐振腔在时空上对光波极强的局域增强效应,有望成为兼具高精度和小体积的光学陀螺。然而,谐振式陀螺转动产生的Sagnac效应相对微弱,容易受到陀螺系统内非互易性以及互易性噪声的干扰,成为其精度提升的瓶颈。在陀螺的小型化过程中这一问题更加凸显。因此,对谐振式光学陀螺仪进行噪声抑制显得尤为重要。本文详细综述了谐振式光学陀螺中非互易性和互易性两大类噪声的原理及其抑制方法,总结了该领域近来年的研究现状及未来挑战与发展趋势,为我国谐振式光学陀螺发展提供参考。

关键词：谐振式陀螺光学陀螺光学噪声抑制背向散射效应克尔效应

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中国工业碳排放网络结构演化特征与链路预测

中国环境科学 2024年第3期44卷 1718-1731页

作者：彭邦文郑闳方朱磊胡文倩湖南工商大学经济与贸易学院湖南长沙410205 深圳大学电子与信息工程学院广东深圳518060 西安建筑科技大学公共管理学院陕西西安710055

将经济投入产出生命周期评价与最小流分析方法结合构建了中国工业碳排放网络.结合社会网络分析方法,从网络整体特征、节点中心性以及块结构3个方面分析了中国工业碳排放网络结构特征,并基于链路动态变化的建模思想,在有向加权网络形式... 详细信息

将经济投入产出生命周期评价与最小流分析方法结合构建了中国工业碳排放网络.结合社会网络分析方法,从网络整体特征、节点中心性以及块结构3个方面分析了中国工业碳排放网络结构特征,并基于链路动态变化的建模思想,在有向加权网络形式下预测了2022年中国工业碳排放网络.结果表明:1997~2017年之间,中国工业各子行业之间碳排放关联越来越密切,普通机械制造业等行业在网络中体现出较强“桥梁”作用,黑色金属冶炼及压延加工业等行业在网络中扮演“中心行动者”角色.块模型结果显示,因不同行业在工业系统中的产业链位置不同,在整个网络中的块结构中扮演的角色不同.链路预测得到的2022年中国工业碳排放网络密度显著下降,板块结构进一步复杂化,黑色金属冶炼及压延加工业等5个行业的中介中心性与接近中心性均排名前5位.在碳减排政策的制定、完善和实施过程中,要重视发挥碳排放网络节点特征对跨行业协同减排的作用,充分捕捉利用碳排放网络中聚类特征与碳转移路径等信息,制定具有差异化的行业部门分类管理政策,以达到节约减排成本与提高减排效率的效果.

关键词：碳排放网络投入产出模型链路预测

橡胶泊松比对等壁厚单螺杆泵举升性能影响的试验研究

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机电工程 2024年

作者：毛方童华仁衢州职业技术学院机电工程学院沈阳工业大学机械工程学院

为了研究橡胶泊松比对等壁厚单螺杆泵举升能力的影响，对其进行了有限元模拟和试验研究。首先，采用Workbench软件对等壁厚单螺杆泵进行了接触非线性仿真，研究了不同容腔压强下的压差载荷与其接触应力的关系，总结出了容腔间临界密封... 详细信息

为了研究橡胶泊松比对等壁厚单螺杆泵举升能力的影响，对其进行了有限元模拟和试验研究。首先，采用Workbench软件对等壁厚单螺杆泵进行了接触非线性仿真，研究了不同容腔压强下的压差载荷与其接触应力的关系，总结出了容腔间临界密封压力的计算方法，计算得到了不同橡胶泊松比下等壁厚单螺杆泵的临界密封压力，并使用Origin软件对其进行了多项式拟合；然后，分析了橡胶泊松比与容腔间临界密封压力的关系，根据等壁厚单螺杆泵内部油压传导规律，计算得到了不同橡胶泊松比下的螺杆泵扬程，并分析了两者间的关系；最后，对该螺杆泵进行了水力特性试验。研究结果表明：容腔间接触应力随压差载荷的增大而近似呈线性增大，随容腔压强的增大而减小；容腔间的临界密封压力随容腔压强的增大而近似呈非线性减小；在容腔压强一定时，容腔间的临界密封压力随橡胶泊松比的增大而增大，泊松比越大其等壁厚单螺杆泵内部就越不易漏失；螺杆泵的扬程随橡胶泊松比的增大而呈非线性增大，且增长的速率越来越快；试验中，等壁厚螺杆泵所能达到的最大扬程为10.85 MPa，仿真结果与试验结果误差仅为3.2%。以上研究结果可为等壁厚单螺杆泵未来的研究提供借鉴参考。

关键词：容积泵螺杆泵水力特性临界密封压力橡胶泊松比扬程油液传导规律密封特性分析

行走在“孔子之城”——近代来华西人的曲阜书写及对孔庙“神圣空间”的认知和解读

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齐鲁学刊 2024年第1期 36-48页

作者：万方山东大学历史文化学院山东济南250100

在中国历史上,孔子故里曲阜一直被视为“圣地”,近代以降亦受到来华西人的极大关注。随着《天津条约》《北京条约》等不平等条约的签订,越来越多西人来到中国内地传教,开启前往曲阜的“朝圣”之旅。在此过程中,他们基于自身的知识储备... 详细信息

在中国历史上,孔子故里曲阜一直被视为“圣地”,近代以降亦受到来华西人的极大关注。随着《天津条约》《北京条约》等不平等条约的签订,越来越多西人来到中国内地传教,开启前往曲阜的“朝圣”之旅。在此过程中,他们基于自身的知识储备和宗教背景去看待和解读所见所闻,不可避免地带有强烈的他者视角。尤其围绕祀孔之地孔庙,他们大多记录了对这一中国式“神圣空间”的描述和感悟。行走在“孔子之城”的来华西人,近距离观察曲阜,深层次解析孔庙,一定程度上推进了当时西方社会对圣地曲阜及孔子的认识。这些旅行纪闻,既引发了西人对孔子的尊崇感,也促使其反思孔子和儒学在中国的地位与影响,为我们多方位认知孔子提供了丰富视角。

关键词：来华西人曲阜孔子之城孔庙中国式神圣空间

3D NAND闪存中TiN与氧化表面F吸附作用的第一性原理研究

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物理学报 2024年第12期73卷 385-392页

作者：方语萱杨益夏志良霍宗亮中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院大学北京101408 长江存储科技有限责任公司武汉430071 长江先进存储产业创新中心有限责任公司武汉430014

随着3D NAND技术的发展,存储阵列工艺的堆叠层数越来越高,后栅工艺中金属钨(W)栅字线(WL)层填充的工艺也面临越来越严峻的挑战.钨栅沉积工艺中的主要挑战在于氟攻击问题,钨栅填充时产生的空洞导致了含氟(F)副产物的积聚,并在后续高温制... 详细信息

随着3D NAND技术的发展,存储阵列工艺的堆叠层数越来越高,后栅工艺中金属钨(W)栅字线(WL)层填充的工艺也面临越来越严峻的挑战.钨栅沉积工艺中的主要挑战在于氟攻击问题,钨栅填充时产生的空洞导致了含氟(F)副产物的积聚,并在后续高温制程的激发下,扩散侵蚀其周边氧化物层,致使字线漏电,严重影响器件的良率及可靠性.为改善氟攻击问题,通常在钨栅沉积之前再沉积一层薄的氮化钛作为阻挡层.然而在对栅极叠层组分分析中发现,F元素聚集在TiN薄膜表面,并且难以通过退火排出.本文采用第一性原理计算,研究了TiN薄膜表面吸附含F物种的情况,提出TiN的表面氧化能加剧对含F物种的吸附作用,仿真结果指导了栅极工艺过程的优化方向.基于第一性原理计算结果,提出氨气吹扫表面处理方法,有效改善了3D NAND中的氟攻击问题,将字线漏电率降低25%,晶圆翘曲度降低43%.

关键词： 3D NAND闪存氟攻击问题第一性原理

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流苏树果实形态发育及营养成分形成规律

经济林研究 2024年 240-248页

作者：牛牧歌蔡其臣李际红李莹王锦楠刘翠双孙茂桐刘来硕山东农业大学林学院山东农业大学山东泰山森林生态系统国家定位观测研究站山东农业大学黄河下游森林培育国家林业和草原局重点实验室临沂市沂水县国有沂山林场

【目的】观测流苏树果实和种子发育过程，为流苏树种质资源收集利用、科学栽培研究提供参考。【方法】2021年4—9月，以泰山3棵80 a以上的流苏树为试材，对果实和种子的形态特征、质量特征和营养成分进行观测，并利用SPSS 25.0软件对其... 详细信息

【目的】观测流苏树果实和种子发育过程，为流苏树种质资源收集利用、科学栽培研究提供参考。【方法】2021年4—9月，以泰山3棵80 a以上的流苏树为试材，对果实和种子的形态特征、质量特征和营养成分进行观测，并利用SPSS 25.0软件对其发育规律进行拟合。【结果】流苏树果实发育分为6个阶段，分别为幼果期、果实膨大期、果皮形成期、种仁形成期，果实变色期和果实成熟期；果皮形成期（花后50～67 d）其内果皮木质化，种仁形成期（花后67～91 d）其形成胚乳、胚（胚根、子叶），果实变色期（花后91～112 d）其中果皮变成蓝紫色；流苏树果实和种子纵横比都呈现快速增长—缓慢增长—停止增长3个阶段的“S”形态增长模式。其种仁干物质的增长与种仁鲜质量的增长表现为错峰增长，干物质的快速增长晚于种仁鲜质量；果皮变色期，颜色由绿色转变为蓝紫色的同时，中果皮质量显著增加；可溶性糖和淀粉都呈现先升高后降低到花后91 d趋于平稳。可溶性蛋白和油脂含量都呈现逐渐升高的趋势直至花后91 d趋于平稳。可溶性糖和淀粉都呈现先升高后降低到花后91 d趋于平稳。【结论】在花后35～50 d应施水溶速效肥为主的肥料，以提升产量；花后67～91 d是种仁形成的关键时期，应在这一时期补充钾肥。8月下旬到9月上旬是收获流苏树果实的最佳时间。

关键词：流苏树果实种子形态发育