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方形基片喷雾涂胶工艺的优化

半导体技术 2021年第12期46卷 969-973页

作者：陈威王河党景涛中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176

通过实验优化了方形基片喷雾涂胶工艺。以AZ6130光刻胶作为研究对象,实验过程中在改变胶液体积流量和氮气压力条件下,采用二流体喷头对方形基片进行喷涂,使用显微镜和粗糙度轮廓仪观察并测量其表面形貌。实验结果表明:在不改变其他实验... 详细信息

通过实验优化了方形基片喷雾涂胶工艺。以AZ6130光刻胶作为研究对象,实验过程中在改变胶液体积流量和氮气压力条件下,采用二流体喷头对方形基片进行喷涂,使用显微镜和粗糙度轮廓仪观察并测量其表面形貌。实验结果表明:在不改变其他实验条件下,氮气压力为0.03 MPa时,随着胶液体积流量从0.6 mL/min增加至2.2 mL/min,胶膜厚度从5.3μm增加至19.0μm,膜厚均匀性从3.5%增加至22.6%;胶液体积流量为1.0 mL/min时,随着氮气压力从0.01 MPa增加至0.09 MPa,胶膜厚度从6.5μm降低至4.7μm,膜厚均匀性从3.6%增加至15.6%。通过对实验基片的观察、测量与分析,得到方形基片制备过程中最优喷涂工艺为胶液体积流量1.0 mL/min,氮气压力0.03 MPa。

关键词：方形基片喷涂工艺二流体喷头胶膜厚度膜厚均匀性

预制舱变电站在山地轨道交通项目主所中的应用

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电器工业 2023年第1期 39-44,50页

作者：由恒远邢挺党景涛青岛特锐德电气股份有限公司四川山地轨道交通技术研究院中国铁路青藏集团有限公司

山地轨道交通的建设环境相对恶劣,尤其是地处自然保护区,因此传统土建变电站存在审批、建设等困难,本文以某山地轨道交通变电站主变电所的建设方案为例,从整体方案上阐述了预制舱变电站的建设高效、绿色低碳、美观协调、经济节能等优势... 详细信息

山地轨道交通的建设环境相对恶劣,尤其是地处自然保护区,因此传统土建变电站存在审批、建设等困难,本文以某山地轨道交通变电站主变电所的建设方案为例,从整体方案上阐述了预制舱变电站的建设高效、绿色低碳、美观协调、经济节能等优势。又分别从关键技术角度论述了四个先进方面:防腐方案全生命周期超60年;抗震性能满足9级烈度;消防方案“集中分散”的快速高效灭火;防雷接地基于法拉第笼的无避雷针的设计。总之,对比土建站,整体方案上具备明显的总体优势,关键技术上具备相当或超过土建专项优势。

关键词：预制舱变电站技术对比山地轨道交通主变电所

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12kV共箱式气体绝缘环网柜气箱的优化设计

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电气技术与经济 2018年第1期 15-18页

作者：周君骆祥华许金亮党景涛青岛特锐德电气股份有限公司

作为充气式环网柜的核心元件,气箱在工作压力下产生的最大变形量直接影响开关的机械和电气性能;在爆破压力下产生的最大变形量及所受应力将直接影响环网柜的使用寿命及操作人员的人身安全。本文采用专业的有限元分析软件对气箱进行受力... 详细信息

作为充气式环网柜的核心元件,气箱在工作压力下产生的最大变形量直接影响开关的机械和电气性能;在爆破压力下产生的最大变形量及所受应力将直接影响环网柜的使用寿命及操作人员的人身安全。本文采用专业的有限元分析软件对气箱进行受力分析,根据分析结果,找出气箱在结构方面存在的薄弱点,并对其进行优化改进。

关键词：共箱式环网柜气箱有限元分析爆破片

长跨距运动龙门碳化硅陶瓷气浮定导轨优化设计

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电子工业专用设备 2024年第5期53卷 52-56,72页

作者：党景涛裴兵全王洪洲中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176

芯片拼接系统用长跨距运动龙门气浮定导轨的材质、长度尺寸和加工精度直接决定了设备稳定性、拼接能力和拼接精度。通过计算机辅助设计与分析软件进行了长跨距运动龙门碳化硅陶瓷气浮定导轨的静力学仿真、结构优化和校核,对芯片拼接系... 详细信息

芯片拼接系统用长跨距运动龙门气浮定导轨的材质、长度尺寸和加工精度直接决定了设备稳定性、拼接能力和拼接精度。通过计算机辅助设计与分析软件进行了长跨距运动龙门碳化硅陶瓷气浮定导轨的静力学仿真、结构优化和校核,对芯片拼接系统用碳化硅陶瓷气浮定导轨的研发设计起到了很好的理论指导作用。

关键词：芯片拼接系统气浮定导轨结构优化

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预制舱变电站的防雷设计思路及案例分析

电工材料 2023年第4期 88-92页

作者：由恒远周君党景涛青岛特锐德电气股份有限公司山东青岛266101 四川山地轨道交通技术研究院成都610000

按预制舱的固有特性与标准内容相结合的原则,从3个方面对预制舱的防雷进行了设计分析:首先,预制舱法拉第笼结构防雷效果和设计注意事项,从理论上确定了预制舱变电站不设避雷针的原理;其次,基于对法拉第笼防雷方案的完善,提出了预防雷电... 详细信息

按预制舱的固有特性与标准内容相结合的原则,从3个方面对预制舱的防雷进行了设计分析:首先,预制舱法拉第笼结构防雷效果和设计注意事项,从理论上确定了预制舱变电站不设避雷针的原理;其次,基于对法拉第笼防雷方案的完善,提出了预防雷电反击电压的措施;最后,为进一步完善弱电信号的保护,提出了预制舱内部局部等电位的优化设计思路。基于以上理论研究,以某城市轨道交通预制舱变电站为实例,介绍了接地网设计中的强电接地、弱电接地和保护接地的设计方案。

关键词：预制舱变电站防雷设计法拉第笼

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高效率光刻机系统设计

电子工业专用设备 2019年第6期48卷 36-39页

作者：党景涛周庆奎李霖宫晨中国电子科技集团公司第四十五研究所

为满足芯片生产产能提升的需要,研制了一种高效率接触/接近式自动光刻机系统。通过关键零部件合理布局及局部高效动作设计提高了光刻机的生产效率,利用全周期动作时序图进行理论效率测算~160片/h(曝光时间为10 s),实验测试生产效率为一... 详细信息

为满足芯片生产产能提升的需要,研制了一种高效率接触/接近式自动光刻机系统。通过关键零部件合理布局及局部高效动作设计提高了光刻机的生产效率,利用全周期动作时序图进行理论效率测算~160片/h(曝光时间为10 s),实验测试生产效率为一次曝光280片/h,套刻效率为180片/h(曝光时间为10 s)。

关键词：光刻机系统设计生产效率

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35kV多单元共气箱充气柜的设计研发

电工文摘 2015年第6期 20-22页

作者：于德翔屈东明郭攀党景涛由恒远青岛特锐德电气股份有限公司

35k V充气柜相对常规设备价格比较高,因此目前存在一定的推广难度。本文阐述了一种成本较低的多单元共箱式充气柜方案。项目在研发过程中,针对多单元大容量气箱的强度问题,充分利用先进的仿真技术和检验手段,采用优化加强设计保证了结... 详细信息

35k V充气柜相对常规设备价格比较高,因此目前存在一定的推广难度。本文阐述了一种成本较低的多单元共箱式充气柜方案。项目在研发过程中,针对多单元大容量气箱的强度问题,充分利用先进的仿真技术和检验手段,采用优化加强设计保证了结构整体变形量;并在多单元气箱的内部结构设计中优化了电场分布,内部元件局部进行了加强,以及实现了设备的可扩展性等技术;项目在样机制造和验证过程中,科学规划,严格工艺,并一次性通过了型式试验;本项目成本低、可靠性高,具有较好的推广价值。

关键词：多单元充气柜共箱式

接触/接近式光刻UV-LED光源测试分析与工艺研究

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电子工业专用设备 2021年第1期50卷 1-4,33页

作者：陈威党景涛王河周庆奎庞超群中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 杭州旻芯电子科技有限公司浙江杭州310000

通过对比混波UV-LED(Ultraviolet Light Emitting Diode)光源和单波UV-LED光源的性能和工艺实验,优化了混波UV-LED光源光刻工艺。光源性能主要对比了两种光源最大光照强度和光强均匀度,工艺实验选用不同光照强度15 mW/cm^(2)、20 mW/cm^... 详细信息

通过对比混波UV-LED(Ultraviolet Light Emitting Diode)光源和单波UV-LED光源的性能和工艺实验,优化了混波UV-LED光源光刻工艺。光源性能主要对比了两种光源最大光照强度和光强均匀度,工艺实验选用不同光照强度15 mW/cm^(2)、20 mW/cm^(2),不同曝光时间3 s和5 s,样片显影后通过光学显微镜观察样片线条形貌。结果表明:混波UV-LED光源相比单波UV-LED光源最大光照强度下降,从47.2 mW/cm^(2)降至32.8 mW/cm^(2),光强均匀度从97%降至95%。混波UV-LED光源真空复印模式下最优曝光工艺为光强20 mW/cm^(2),曝光时间3 s。

关键词：光刻机 UV-LED光源光刻工艺

生物医学领域碳纳米材料10年研究前沿与热点

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中国组织工程研究 2025年第4期29卷 752-760页

作者：党小雯黄海量黄雷王亚洁山东中医药大学康复医学院山东省济南市250355

背景:生物医学领域碳纳米材料的研究蓬勃发展,相关科研成果逐年增加,但此领域的年发文量、国家、机构、作者的研究情况及研究热点与趋势等内容的可视化分析相对匮乏。目的:展现生物医学领域碳纳米材料研究现状,揭示主要的研究主体,探索... 详细信息

背景:生物医学领域碳纳米材料的研究蓬勃发展,相关科研成果逐年增加,但此领域的年发文量、国家、机构、作者的研究情况及研究热点与趋势等内容的可视化分析相对匮乏。目的:展现生物医学领域碳纳米材料研究现状,揭示主要的研究主体,探索研究热点及发展趋势,为此领域未来发展提供参考。方法:以Web of Science核心集数据库为文献来源,检索2012-2023年生物医学领域碳纳米材料的相关文献,运用Citespace软件以国家、机构、作者、关键词、共被引为节点生成知识图谱并进行可视化分析。结果与结论:①共纳入2932篇文献,碳纳米材料在医学领域年发文量多且增长速度较快;美国发文量较多;中国是该领域的新兴力量,发文量虽然最多,但研究水平和影响力还有待提高;中国科学院是最大的合作网络机构,主要以国内机构为合作对象,缺少与国外知名单位的合作。②关键词分析显示,碳点的绿色合成方式及应用是近年来的研究热点;其次碳纳米材料与癌症光疗、免疫疗法相结合的新方法是未来研究中的重点方向。③共被引动态发展趋势提示,组织工程是生物医学领域碳纳米材料的热点研究主题,主要包括碳纳米材料对于心脏和神经组织修复和再生的研究以及作为3D和4D生物打印的生物墨水添加剂。④未来随着生物医学领域朝着以治疗为中心的精准方向发展,科研人员应加快创建科学有效的碳纳米材料与科技、新型聚合物或有机分子及新治疗方法等结合形成的碳基体系,发挥碳纳米材料的最大效应。

关键词：碳纳米材料生物医学可视化共被引文献计量学生物安全性研究热点癌症组织工程 Citespace