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真空与低温 2024年第1期30卷 83-89页

作者：周超马占吉何延春杨拉毛草王虎李得天兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

为了获得吸气性能较好的Zr-Co-RE(RE为La和Ce稀土元素)吸气剂薄膜,采用直流磁控溅射方法,分别在氩气和氪气气氛中,通过改变沉积气压研究制备了不同结构的Zr-Co-RE薄膜。运用场发射扫描电镜、X射线衍射仪分析了不同溅射气压下溅射气氛对... 详细信息

为了获得吸气性能较好的Zr-Co-RE(RE为La和Ce稀土元素)吸气剂薄膜,采用直流磁控溅射方法,分别在氩气和氪气气氛中,通过改变沉积气压研究制备了不同结构的Zr-Co-RE薄膜。运用场发射扫描电镜、X射线衍射仪分析了不同溅射气压下溅射气氛对薄膜结构的影响;采用动态定压法分别测试了在氩气和在氪气中沉积的薄膜的吸氢性能,分析了溅射气氛和薄膜结构对吸氢性能的影响。结果表明,在同等气压下,用氩气溅射沉积的薄膜较致密,用氪气溅射沉积的薄膜表面分布有较多的团簇结构和裂纹结构,薄膜呈明显的柱状结构,且柱状组织间分布着大量的界面和间隙,为气体扩散提供了更多的路径;随着氩气和氪气气压增大,薄膜含有更多的裂纹和间隙结构,连续性柱状结构生长更明显,裂纹更深更宽,比表面积更大,有利于提高薄膜的吸氢性能。

关键词： Zr-Co-RE薄膜直流磁控溅射氪气溅射气压微观结构吸氢性能

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空间飞行器用薄膜温度/应变传感技术研究

真空与低温 2024年第1期30卷 10-22页

作者：马东锋熊玉卿何延春张凯峰曹生珠兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

随着功能薄膜制备方法及微细加工技术的日益成熟,基于各类薄膜敏感元件的薄膜传感技术蓬勃发展。薄膜传感器件尺寸小、集成度高、灵敏度高,在深空探测、空间飞行器结构健康监测、载人航天等领域展现出广阔的应用前景。针对空间飞行器的... 详细信息

随着功能薄膜制备方法及微细加工技术的日益成熟,基于各类薄膜敏感元件的薄膜传感技术蓬勃发展。薄膜传感器件尺寸小、集成度高、灵敏度高,在深空探测、空间飞行器结构健康监测、载人航天等领域展现出广阔的应用前景。针对空间飞行器的各类传感需求,对低温/高温温度传感、热流传感、高温应变传感、柔性大应变传感、柔性智能蒙皮等应用中薄膜传感材料和器件的关键技术及国内外研究现状进行了综述,并对薄膜传感技术的未来发展进行了展望。

关键词：薄膜传感器温度传感应变传感智能蒙皮

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倒圆锥面基底蒸发镀膜均匀性理论分析

真空与低温 2014年第6期20卷 340-343页

作者：徐嶺茂王济洲熊玉卿何延春兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730000

通过计算得出了蒸发源位于倒圆锥面正下方外部镀膜时锥面上各点的膜厚方程,并对整个锥面上膜厚均匀性进行了理论分析。结果表明:当圆锥面形状固定时,蒸发源与圆锥底圆圆心距离增大使锥面上膜厚均匀性变好;当蒸发源固定时,增大底圆半径... 详细信息

通过计算得出了蒸发源位于倒圆锥面正下方外部镀膜时锥面上各点的膜厚方程,并对整个锥面上膜厚均匀性进行了理论分析。结果表明:当圆锥面形状固定时,蒸发源与圆锥底圆圆心距离增大使锥面上膜厚均匀性变好;当蒸发源固定时,增大底圆半径导致锥面上膜厚均匀性变差。在同样的配置下,蒸发源为点源或小平面源时锥面上膜厚均匀性的变化趋势一致,小平面源蒸镀比点源蒸镀时圆锥面上膜厚均匀性差。

关键词：膜厚分布倒圆锥面真空蒸发镀膜

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全固态电致变色热控薄膜的制备与性能?

全固态电致变色热控薄膜的制备与性能?

月球及火星熔洞密封技术发展及其方案可行性研究

TFC’09全国薄膜技术学术研讨会

作者：何延春邱家稳许旻王洁冰吴春华赵印中李林兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室

电致变色材料的光学、热学等性能在电压作用下会发生连续、可逆的变化。利用电致变色材料的这一特性,可以将其制成主动式热控材料,这种器件具有重量轻、体积小、能耗低、控制精度好等优点,非常适合小卫星的热控。目前,这项技术在我国航... 详细信息

电致变色材料的光学、热学等性能在电压作用下会发生连续、可逆的变化。利用电致变色材料的这一特性,可以将其制成主动式热控材料,这种器件具有重量轻、体积小、能耗低、控制精度好等优点,非常适合小卫星的热控。目前,这项技术在我国航天器热控领域尚无应用。本文以航天器热控制为背景,设计了一种结构为ITO/WO/TaO/NiO/Ag/Glass的全固态电致变色热控薄膜。

关键词：全固态电致变色薄膜热控磁控溅射

来源： cnki会议评论

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前瞻科技 2024年第1期3卷 86-99页

作者：邱家稳崔致和何延春王琎霍丽霞马动涛中国空间技术研究院北京100094 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

月球及火星等地外天体上的熔洞具有抗辐射性、抗陨石撞击、防月/火尘和隔热保温性好等优点,利用熔洞建立居住基地是未来人类在地外天体长时间驻留的可选方案之一。文章探讨了熔洞基地建设中最基本的技术问题之一——熔洞密封技术方案的... 详细信息

月球及火星等地外天体上的熔洞具有抗辐射性、抗陨石撞击、防月/火尘和隔热保温性好等优点,利用熔洞建立居住基地是未来人类在地外天体长时间驻留的可选方案之一。文章探讨了熔洞基地建设中最基本的技术问题之一——熔洞密封技术方案的可行性;讨论了空间密封结构和快速检漏技术;提出了两种熔洞密封方案——基于独立柔性气腔的密封结构方案和基于熔洞内表面涂层处理的密封方案;提炼出了需要解决的关键技术问题,并对密封技术的未来发展趋势进行展望;给出本领域研究的发展建议,为未来深空探测和地外天体的基地建设提供技术支撑。

关键词：空间密封技术月球基地火星基地熔岩管空间移民密封涂层密封可行性分析

二硫化钼薄膜在不同摩擦副条件下的摩擦学性能研究

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真空与低温 2023年

作者：冯兴国郑玉刚汪科良杨拉毛草张凯锋周晖何延春兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国防科技重点实验室

为了研究MoS2-Ti薄膜与9Cr18钢、W-DLC和DLC薄膜的摩擦学行为，分别采用磁控溅射技术和等离子体增强化学气相沉积技术在9Cr18钢表面沉积了MoS2-Ti薄膜、W-DLC和DLC薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)研... 详细信息

为了研究MoS2-Ti薄膜与9Cr18钢、W-DLC和DLC薄膜的摩擦学行为，分别采用磁控溅射技术和等离子体增强化学气相沉积技术在9Cr18钢表面沉积了MoS2-Ti薄膜、W-DLC和DLC薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜的表面形貌、化学成分和相组成。利用纳米压痕仪和球-盘摩擦试验机对不同薄膜的纳米硬度和摩擦学性能进行了分析。研究结果表明，MoS2-Ti薄膜与DLC薄膜的摩擦系数和磨损率最小。相比MoS2-Ti薄膜与不镀膜的9Cr18钢球摩擦副，MoS2-Ti薄膜与W-DLC薄膜摩擦副的摩擦系数和磨损率没有减小。MoS2-Ti薄膜与W-DLC薄膜摩擦副的磨损机制为磨粒磨损和黏着磨损，与DLC薄膜摩擦副的磨损机制为黏着磨损。摩擦副表面沉积DLC薄膜有助于降低MoS2-Ti薄膜的摩擦系数和磨损率。

关键词： MoS -Ti薄膜表面形貌硬度摩擦学性能

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PbTe薄膜的折射率温度系数研究

PbTe薄膜的折射率温度系数研究

第十六届全国光学测试学术交流会

作者：徐嶺茂李佑路王多书武生虎张凯锋何延春兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国防科技重点实验室

红外光学薄膜是光学系统的重要组成部分,其性能好坏直接影响着系统的成像质量。在空间环境等低温条件下,其光谱较之常温会发生明显漂移,这主要是由光学薄膜材料的折射率温度特性引起。碲化铅(Pb Te)作为长波红外常用的光学薄膜材料,折...

红外光学薄膜是光学系统的重要组成部分,其性能好坏直接影响着系统的成像质量。在空间环境等低温条件下,其光谱较之常温会发生明显漂移,这主要是由光学薄膜材料的折射率温度特性引起。碲化铅(Pb Te)作为长波红外常用的光学薄膜材料,折射率高达5.5,透明波段宽,是制作红外传感器件和光学元件的重要材料。目前,

关键词：

来源： cnki会议评论

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TaO_x离子导电薄膜的制备与性能

真空与低温 2008年第1期14卷 6-10页

作者：何延春邱家稳许旻王洁冰吴春华兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室甘肃兰州730000

采用直流反应磁控溅射方法制备Ta2O5薄膜,并研究了其制备工艺;在Arnoldussen法的基础上,采用了一种新的方法对Ta2O5薄膜离子导电性能进行了测试。结果表明,制备的Ta2O5薄膜具有良好的离子导电性能。

关键词： TaOx 薄膜离子导电性能磁控溅射电致变色

直流磁控溅射沉积锰酸锶镧薄膜的结构与相变特性研究

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真空与低温 2006年第3期12卷 162-165页

作者：吴春华邱家稳许旻王洁冰何延春兰州物理研究所甘肃兰州730000

通过固相反应及陶瓷烧结工艺制备了具有钙钛矿结构的锰酸锶镧陶瓷靶,利用该靶材采用直流磁控溅射法在硅(100)和石英玻璃基片上制备了锰酸锶镧薄膜。研究了沉积气氛对薄膜晶体结构的影响。对高溅射压力下不同溅射功率沉积的薄膜样品的电... 详细信息

通过固相反应及陶瓷烧结工艺制备了具有钙钛矿结构的锰酸锶镧陶瓷靶,利用该靶材采用直流磁控溅射法在硅(100)和石英玻璃基片上制备了锰酸锶镧薄膜。研究了沉积气氛对薄膜晶体结构的影响。对高溅射压力下不同溅射功率沉积的薄膜样品的电阻-温度特性进行测量,显示薄膜具有-14-～22℃的高的金属到绝缘体的转变温度,并且随溅射功率的增加,薄膜在相变点附近的电阻变化幅度明显提高。

关键词：磁控溅射晶体结构相变