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解相对论Dirac方程计算低能电子弹性散射截面的分波法

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计算物理 1993年第2期10卷 239-245页

作者：谭震宇何延才山东工业大学电力系电工研究室济南250014 中国科学院上海硅酸盐研究所上海200050

本文给出一个基于解相对论Dirac方程计算低能电子弹性散射截面的方法,比较Thomas-Fermi-Dirac(TFD)势及Hartree-Fock(HF)势对散射截面计算的影响,计算了C、Al、Cu、Ag、Au等多种元素在0.01～10keV能量范围的弹性散射截面,比较分析Mott... 详细信息

本文给出一个基于解相对论Dirac方程计算低能电子弹性散射截面的方法,比较Thomas-Fermi-Dirac(TFD)势及Hartree-Fock(HF)势对散射截面计算的影响,计算了C、Al、Cu、Ag、Au等多种元素在0.01～10keV能量范围的弹性散射截面,比较分析Mott模型、Pendry模型以及屏蔽的Rutherford截面之间的差异。

关键词：电子散射截面狄喇克方程分波

Monte　Carlo重整化群方法计算逾渗模型的临界指数

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计算物理 1994年第1期11卷 113-118页

作者：杨进杨祖宝何延才中国科学院上海硅酸盐研究所

本文运用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ重整化群方法计算了点遍渗中次近邻正方格子的导通阈值和临界指数，得出与最近邻正方格子属于同一普适类的结论。

关键词：重整化群逾渗蒙特卡罗模拟

低能电子束曝光中的Monte Carlo方法及沉积能分布

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计算物理 1997年第Z1期 118-120页

作者：谭震宇何延才中国科学院上海硅酸盐研究所山东工业大学电力学院

建立一个低能电子在多元多层介质中散射ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模拟计算方法。低能电子在多元介质中弹性散射用Ｍｏｔ截面描述并应用作者提出的平均散射截面方法进行模拟计算；给出多元介质中修正的Ｂｅｔｈｅ方程计算低能电子非弹性散射... 详细信息

建立一个低能电子在多元多层介质中散射ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模拟计算方法。低能电子在多元介质中弹性散射用Ｍｏｔ截面描述并应用作者提出的平均散射截面方法进行模拟计算；给出多元介质中修正的Ｂｅｔｈｅ方程计算低能电子非弹性散射能量损失。计算了低能电子在电子束曝光胶中能量沉积分布。

关键词：低能电子散射 MonteCarlo方法电子束曝光能量沉积

Monte Carlo方法模拟低能电子在Al中的散射

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计算物理 1995年第2期12卷 169-173页

作者：谭震宇何延才山东工业大学电力系!济南250014 中国科学院上海硅盐酸研究所!上海200050

基于文献［１］的工作，电子在固体中的弹性散射用Ｍｏｔｔ微分截面计算；非弹性散射分为单电子激发和等离子激发并由Ｓｔｒｅｉｔｗｏｌｆ、Ｇｒｙｚｉｎｓｋｉ及Ｑｕｉｎｎ的截面描述．模拟了低能电子在Ａｌ块样及薄膜中的散射过程... 详细信息

基于文献［１］的工作，电子在固体中的弹性散射用Ｍｏｔｔ微分截面计算；非弹性散射分为单电子激发和等离子激发并由Ｓｔｒｅｉｔｗｏｌｆ、Ｇｒｙｚｉｎｓｋｉ及Ｑｕｉｎｎ的截面描述．模拟了低能电子在Ａｌ块样及薄膜中的散射过程，对不同能量低能电子作用下Ａｌ的背散射系统、能谱又透射系数作了计算，结果与实验符合较好．也对背散射电子、低能损背散射电子表面分布作了计算，结果表明低能损背散射电子具有较好的空间分辨率．

关键词：低能电子散射 MonteCarlo模拟背散射电子

Monte　Carlo方法计算背散射电子在固体中的空间分布

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计算物理 1995年第4期12卷 561-564页

作者：谭震宇何延才中国科学院上海硅酸盐研究所山东工业大学电力系

应用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法，对不同能量低能电子作用下背散射电子在固体中的空间分布作了计算，电子的弹性散射用Ｍｏｔｔ截面描述、非弹性散射按文献［３］的方法由Ｓｔｒｅｉｔｗｏｌｆ．Ｑｕｉｎｎ及Ｇｒｙｒｉｎｓｋｉ的公式计... 详细信息

应用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法，对不同能量低能电子作用下背散射电子在固体中的空间分布作了计算，电子的弹性散射用Ｍｏｔｔ截面描述、非弹性散射按文献［３］的方法由Ｓｔｒｅｉｔｗｏｌｆ．Ｑｕｉｎｎ及Ｇｒｙｒｉｎｓｋｉ的公式计算，大量计算得出一些规律，为低能电子显微学研究提供一定依据。

关键词： Monte Carlo方法背散射电子空间分布

低能电子在多元介质中散射Monte Carlo计算方法

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科学通报 1997年第22期42卷 2453-2456页

作者：谭震宇何延才山东工业大学电力学院济南250061 中国科学院上海硅酸盐研究所上海200050

在电子束显微分析、电子束曝光技术研究中,样品的X射线微区定量分析、薄膜厚度测定以及电子束曝光定量计算等一系列重要课题均涉及电子在多元介质中复杂散射模拟。应用Monte Carlo方法,电子的每一步散射,迄今所采用的方法均需随机抽样... 详细信息

在电子束显微分析、电子束曝光技术研究中,样品的X射线微区定量分析、薄膜厚度测定以及电子束曝光定量计算等一系列重要课题均涉及电子在多元介质中复杂散射模拟。应用Monte Carlo方法,电子的每一步散射,迄今所采用的方法均需随机抽样确定何元素原子为散射中心,再进一步计算散射步长、散射角及能量损失等。基于Rutherford-Bethe模型,一个具有N种元素介质,一次散射事件中,若ⅰ号元素原子发生散射的几率记为R表示(0,1)上均匀分布的随机数,则须由∑P_ⅰ<及≤∑_ⅰ(k=1,2,…,N)随机抽样确定k号元素原子为散射中心。因此,较之纯元素,多元介质中电子散射模拟复杂得多。特别是电子能量降至几个keV或更低时,电子的弹性散射需用量子力学分波法描述并用数值方法计算,计算过程就更加繁复。为此,本文提出一个低能电子在多元介质中散射Monte Carlo模拟计算方法。电子的弹性散射用Mott散射截面描述,提出平均散射截面的概念将多元介质等效为单一元素介质,从而摒弃传统的抽样确定散射中心方法,使电子散射模拟大为简化。电子非弹性散射基于电子能量损失连续减速近似,给出将多元介质中电子能量损失Bethe方程转换为具有平均原子序数、平均原子量的单一元素能量损失方程后再确定修正系数K的方法。应用本文方法,对不同能?

关键词：低能电子散射散射截面蒙特卡罗法电子散射

一个改进的低能电子散射Monte Carlo计算方法

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科学通报 1996年第13期41卷 1245-1248页

作者：谭震宇何延才杨进山东工业大学电力系济南250014 中国科学院上海硅酸盐研究所上海200050

低能电子在固体中散射理论和计算方法研究,为电子显微学和电子束曝光等领域的发展提供了基础。入射电子能量为几十个keV数量级时,基于Rutherford-Bethe理论的Monte Carlo模拟计算方法成功地解决了上述课题中的一系列难题。Rutherford-Be... 详细信息

低能电子在固体中散射理论和计算方法研究,为电子显微学和电子束曝光等领域的发展提供了基础。入射电子能量为几十个keV数量级时,基于Rutherford-Bethe理论的Monte Carlo模拟计算方法成功地解决了上述课题中的一系列难题。Rutherford-Bethe模型计算方便,容易拓展到多元、多层介质中复杂电子散射模拟。然而,当电子能量降至几个keV或更低时,由波恩近似导出的Rutherford散射截面和Bethe连续能量损失公式均不适用。我们用Monte Carlo直接模拟的方法描述电子在固体中发生的弹性散射和非弹性散射主要激发过程,使模拟计算能延续到较低能量范围。但该方法计算十分繁复,应用于多元组分介质计算量非常大。Kotera,Murata等采用Kanaya-Okayama方程计算低能电子非弹性散射能量损失,将Rutherford-Bethe模型拓展到低能范围。Kanaya-Okayama方程中有两个待定参数需在计算中调整确定,他们的计算方法未表明具有普适性。

关键词：低能电子散射弹性散射固体蒙特卡罗法电子

Monte Carlo方法计算晶体析出相的X射线发射强度

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计算物理 1992年第A01期9卷 555-559页

作者：何延才杨进陈家光中国科学院上海硅酸盐研究所 200050 上海宝钢总厂钢研所

本文提出了用Mont Carlo模拟计算晶体中析出相X射线发射强度的理论和方法:严格计算晶体对析出相中电子散射的影响;用绝对法计算析出相的X射线深度分布函数;给出了析出相中X射线吸收及二次荧光计算公式。作为实例,对不同加速电压下Au、C... 详细信息

本文提出了用Mont Carlo模拟计算晶体中析出相X射线发射强度的理论和方法:严格计算晶体对析出相中电子散射的影响;用绝对法计算析出相的X射线深度分布函数;给出了析出相中X射线吸收及二次荧光计算公式。作为实例,对不同加速电压下Au、Cu基体中Cr-Fe-Ni合金析出相的X射线发射强度作了计算,并得出一些规律。本工作为析出相的电子探针定量显微分析(EPMA)研究奠定了基础。

关键词：晶体折出相 X辐射蒙特卡罗法

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多层介质中电子散射自由程及边界理论

科学通报 1992年第16期37卷 1517-1521页

作者：谭震宇何延才宋传杰山东工业大学电力系济南250014 中国科学院上海硅酸盐研究所上海200050 山东省经济信息计算中心济南250011

用Monte Carlo方法模拟电子在固体中的散射过程是研究电子与固体相互作用的重要方法。在多层薄膜X射线微区定量分析、厚度测定以及电子束曝光定量分析等重要课题中均涉及电子穿越边界的处理(图1)。

关键词：电子散射自由程多层介质边界