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本文对ＳｎＯ２和掺有３％Ｂｉ２Ｏ３的ＳｎＯ２超微粒薄膜的湿敏特性进行了研究和比较。采用相同工艺条件制备和处理的样品，其结果并不一样。ＳｎＯ２膜的感湿特性差，而掺杂的ＳｎＯ２膜具有较好的感湿特性，而且其湿敏特性曲线具有较好的线性。实验结果表明，只要在ＳｎＯ２中加入少量的Ｂｉ２Ｏ３，就能制成在常温下具有较好线性和稳定性的薄膜湿敏元件。

关键词：二氧化锡薄膜湿敏特性超微粒掺杂

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一种简单多极磁约束的反应离子刻蚀装置的研究

引用

华南理工大学学报（自然科学版） 1995年第8期23卷 97-101页

作者：黄光周于继荣赖国燕华南理工大学无线电工程系

本文叙述了多极磁约束的反应离子刻蚀装置。该装置具有结构简单，低损伤和各向异性刻蚀的优点。在射频率为１００ｗ，工作压强为１．３３（０．０１～１０）Ｐａ的氩气氛中，典型的离子密度为（１．０～１．５）×１０（１０）ｃｍ（－... 详细信息

本文叙述了多极磁约束的反应离子刻蚀装置。该装置具有结构简单，低损伤和各向异性刻蚀的优点。在射频率为１００ｗ，工作压强为１．３３（０．０１～１０）Ｐａ的氩气氛中，典型的离子密度为（１．０～１．５）×１０（１０）ｃｍ（－３），电子温度为１．９～４．１ｅＶ，等离子体电位１０—５０Ｖ，有磁场的离子密度比没有磁场的离子密度大几个数量级。它是一种具有广泛应用前景的等离子刻蚀装置。

关键词：等离子体装置磁约束反应离子刻蚀

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