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蓝宝石衬底CMP中氧化硅磨粒粒度分布对抛光液体系性能影响研究

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表面技术 2024年第2期53卷 168-174,200页

作者：王晓剑李薇薇钟荣锋肖银波许宁徽孙运乾河北工业大学电子信息工程学院天津300401 广东惠尔特纳米科技有限公司广东东莞523000

目的化学机械抛光(CMP)包含化学腐蚀和机械磨削两方面,抛光液p H、磨粒粒径和浓度等因素均会不同程度地影响其化学腐蚀和机械磨削能力,从而影响抛光效果。方法采用30~150 nm连续粒径磨粒抛光液、120 nm均一粒径磨粒抛光液、50 nm和120... 详细信息

目的化学机械抛光(CMP)包含化学腐蚀和机械磨削两方面,抛光液p H、磨粒粒径和浓度等因素均会不同程度地影响其化学腐蚀和机械磨削能力,从而影响抛光效果。方法采用30~150 nm连续粒径磨粒抛光液、120 nm均一粒径磨粒抛光液、50 nm和120 nm配制而成的混合粒径磨粒抛光液,分别对蓝宝石衬底晶圆进行循环CMP实验,研究CMP过程中抛光液体系的变化。结果连续粒径磨粒抛光液中磨粒大规模团聚,满足高材料去除率的抛光时间仅有4 h,抛光后的晶圆表面粗糙度为0.665 nm;均一粒径磨粒抛光液中磨粒稳定,无团聚现象,抛光9 h内材料去除率较连续粒径磨粒抛光液高94.7%,能至少维持高材料去除率18 h,抛光后的晶圆表面粗糙度为0.204 nm;混合粒径磨粒抛光液初始状态下磨粒稳定性较高,抛光9 h内材料去除率较连续粒径磨粒抛光液高114.8%,之后磨粒出现小规模团聚现象,后9h材料去除率仅为均一粒径磨粒抛光液的59.6%,18 h内材料去除率仅为均一粒径磨粒抛光液的87.7%,但抛光后的晶圆表面粗糙度为0.151 nm。结论一定时间内追求较高的材料去除率和较好的晶圆表面粗糙度选用混合粒径磨粒抛光液,但需要长时间CMP使用均一粒径磨粒抛光液更适合,因此,在工业生产中需要根据生产要求配合使用混合粒径磨粒抛光液和均一粒径磨粒抛光液。

关键词：化学机械抛光蓝宝石抛光液磨粒微观形貌材料去除率

ZIF-8@TiO_(2)复合材料的制备及光催化性能

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材料导报 2024年第16期38卷 29-34页

作者：涂盛辉钟荣福张超刘桉如吴文彬杜军南昌大学化学化工学院南昌330031 鄱阳湖环境与资源利用教育部重点实验室南昌330031

本研究采用水热法制备了一种新型的高效光催化微米复合材料ZIF-8@TiO_(2),并比较了ZIF-8、TiO_(2)纳米球和ZIF-8@TiO_(2)光催化降解罗丹明B的能力。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)仪、X射线光电子能谱(XPS)仪、紫外-可见漫反... 详细信息

本研究采用水热法制备了一种新型的高效光催化微米复合材料ZIF-8@TiO_(2),并比较了ZIF-8、TiO_(2)纳米球和ZIF-8@TiO_(2)光催化降解罗丹明B的能力。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)仪、X射线光电子能谱(XPS)仪、紫外-可见漫反射光谱(DRS)仪、傅里叶变换红外光谱(FTIR)仪和比表面积测量(BET)仪对合成的材料进行了表征。结果表明,TiO_(2)纳米球在ZIF-8表面均匀生长,ZIF-8和TiO_(2)通过化学键连接在一起。ZIF-8和TiO_(2)的协同作用大大增强了复合光催化剂的催化能力。其中ZIF-8@TiO_(2)复合材料的ZIF-8为电荷分离器中光生电子转移提供了一种新的方式,以降低电荷复合率。由于该混合物结合了ZIF-8和TiO_(2)的优点,ZIF-8@TiO_(2)显示出优异的光催化降解罗丹明B的能力。同时讨论了复合光催化剂可能的光催化机理。

关键词：水热法 ZIF-8@TiO_(2) 光催化罗丹明B

城市道路新老路基路面结合处差异沉降处治技术研究

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中文科技期刊数据库（引文版）工程技术 2024年第8期 0096-0099页

作者：钟荣斌中元建设集团股份有限公司浙江嘉兴314001

随着城市化进程的加快,城市道路改扩建工程日益增多,新老路基路面的结合处往往成为道路的薄弱环节,其差异沉降问题日益凸显。本研究通过深入分析新老路基路面结合处的沉降机理,提出了针对性的处治技术,旨在减少差异沉降,提高道路的整体... 详细信息

随着城市化进程的加快,城市道路改扩建工程日益增多,新老路基路面的结合处往往成为道路的薄弱环节,其差异沉降问题日益凸显。本研究通过深入分析新老路基路面结合处的沉降机理,提出了针对性的处治技术,旨在减少差异沉降,提高道路的整体性能。从结合处地基处治、结合处路基处治及结合处路面处治三方面阐述有效处治措施。基于本文分析,为城市道路的安全与畅通提供有力保障。

关键词：城市道路新老路基路面结合区域差异沉降防治技术要点

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新高考背景下如何提高物理课堂效率

高考 2024年第10期 3-5页

作者：钟荣国四川省沐川中学校四川沐川614500

本文旨在探讨在新高考改革的背景下,如何有效提高物理课堂的教学效率。通过变革思想观念,创设教学生态、优化教学方式以及培养自主学习能力等策略,可以有效提高物理课堂的效率,帮助学生更好地应对新高考要求。

关键词：新高考物理课堂教学效率

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人才引进政策对企业全要素生产率的影响研究

中国市场 2024年第6期 90-93页

作者：钟荣朱广西大学经济学院广西南宁530004

人才是企业发展的重要资源。因此,人才引进政策会对企业全要素生产率带来影响。为了更好地促进企业发展,文章在对相关文献进行回顾分析的基础上,提出了研究假说,并进行了实证分析。通过实证分析可知,人才引进政策可以促进企业全要素生... 详细信息

人才是企业发展的重要资源。因此,人才引进政策会对企业全要素生产率带来影响。为了更好地促进企业发展,文章在对相关文献进行回顾分析的基础上,提出了研究假说,并进行了实证分析。通过实证分析可知,人才引进政策可以促进企业全要素生产率的增长。为此,需要积极地对人才引进政策予以改进。

关键词：人才引进政策人力资源全要素生产率

云课堂的混合式教学模式在急危重症护理学教学中的应用

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生命科学仪器 2024年第5期 108-110页

作者：钟荣燕广东医科大学附属第二医院重症医学科

目的研究云课堂的混合式教学模式在急危重症护理学教学中的应用效果。方法选择2022年5月至2024年4月期间在广东医科大学附属第二医院急危重症科实习的40名学生，按照随机数字法分为对照组和研究组，每组20名。对照组采用常规带教模式... 详细信息

目的研究云课堂的混合式教学模式在急危重症护理学教学中的应用效果。方法选择2022年5月至2024年4月期间在广东医科大学附属第二医院急危重症科实习的40名学生，按照随机数字法分为对照组和研究组，每组20名。对照组采用常规带教模式，研究组采用云课堂的混合式教学模式。比较两组在自主学习能力、教学满意度、教学效果和学习情感态度方面的差异。结果与对照组相比，研究组自主学习能力、学习情感态度评分法均较高，P<0.05。研究组教学满意度、教学效果评分也较对照组更高，P<0.05。结论在急危重症护理学教学中采用云课堂的混合式教学模式可显著提高实习生的自主学习能力、教学满意度、教学效果和学习情感态度。

关键词：云课堂的混合式教学模式急危重症护理学教学效果

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“微写作”在初中英语阅读教学中的应用探究

英语教师 2024年第14期24卷 124-127页

作者：钟荣广西贺州市钟山县第二中学广西贺州542612

介绍在初中英语阅读教学中应用“微写作”的优势。从篇幅、时长、立意和评价四个方面分析初中英语阅读教学中“微写作”的设计要点,旨在将学生阅读学习的效率最大化、思路结构化。结合教学实例,探索在初中英语阅读教学中应用“微写作”... 详细信息

介绍在初中英语阅读教学中应用“微写作”的优势。从篇幅、时长、立意和评价四个方面分析初中英语阅读教学中“微写作”的设计要点,旨在将学生阅读学习的效率最大化、思路结构化。结合教学实例,探索在初中英语阅读教学中应用“微写作”的策略,即指向阅读语言教学,组织仿写式“微写作”活动;指向阅读思想教学,组织扩写式“微写作”活动;指向阅读结构教学,组织缩写式“微写作”活动;指向阅读兴趣教学,组织导语式“微写作”活动。

关键词：初中英语微写作阅读教学

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粗肋草新品种‘小红龙’

园艺学报 2024年第S1期 187-188页

作者：尤毅刘金梅朱根发张镇添张国荣陈雨钟荣辉广东省农业科学院环境园艺研究所广东省园林花卉种质创新综合利用重点实验室广东金颖花卉苗木有限公司

粗肋草新品种‘小红龙’是由‘吉利红’的组织培养再生植株中的变异单株选育而成，为红色系列。株型迷你、丰满，叶片细尖、质地硬，叶色红而鲜艳，抗病虫害能力强，适合用作小盆栽或组合盆栽。

关键词：粗肋草组织培养变异品种

某排涝泵站地基处理中水泥粉体喷射搅拌桩技术应用

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黑龙江水利科技 2024年第4期52卷 85-87,115页

作者：钟荣达惠州水务集团东江工程检测有限公司广东惠州516001

为提高排涝泵站地基承载力,研究地基处理中水泥粉体喷射搅拌桩技术,以达到加固工程地基的目的。为此,结合博罗县排涝泵站地基处理技术案例展开分析研究。结果表明,从水泥粉体喷射搅拌桩制备配合比、桩长角度,在保证水泥粉体喷射搅拌桩... 详细信息

为提高排涝泵站地基承载力,研究地基处理中水泥粉体喷射搅拌桩技术,以达到加固工程地基的目的。为此,结合博罗县排涝泵站地基处理技术案例展开分析研究。结果表明,从水泥粉体喷射搅拌桩制备配合比、桩长角度,在保证水泥粉体喷射搅拌桩为最优状态的条件下,完成博罗县排涝泵站地基加固处理。进一步的模拟分析,则验证了水泥粉体喷射搅拌桩制备优化参数,配合比为“水泥掺量25%”“桩长8m”时,博罗县排涝泵站地基加固效果最好。这一技术可为类似工程地基加固提供借鉴参考。

关键词：排涝泵站地基处理水泥粉体喷射搅拌桩技术研究