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磁控溅射法制备掺镁氧化锌薄膜的微观结构及其物理性质

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中南民族大学学报（自然科学版） 2024年第5期43卷 709-717页

作者：顾锦华万鑫冯朝德龙浩钟志有中南民族大学实验教学与工程训练中心武汉430074 中南民族大学电子信息工程学院武汉430074 中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室武汉430074

采用磁控溅射工艺制备了纯氧化锌(ZnO)和不同掺杂量的掺镁氧化锌(MgZnO)薄膜,研究了薄膜样品电学、光学、气敏性能和微观结构与掺杂量之间的依赖关系,以及温度和气体浓度对薄膜气敏性能的影响,并对掺杂量为10%(质量分数)的薄膜样品的室... 详细信息

采用磁控溅射工艺制备了纯氧化锌(ZnO)和不同掺杂量的掺镁氧化锌(MgZnO)薄膜,研究了薄膜样品电学、光学、气敏性能和微观结构与掺杂量之间的依赖关系,以及温度和气体浓度对薄膜气敏性能的影响,并对掺杂量为10%(质量分数)的薄膜样品的室温气敏特性进行细致分析.结果显示:所有制备的薄膜样品均为c轴择优取向生长的六角纤锌矿晶体结构,掺杂量为10%的薄膜样品具有最好的晶体质量、微观结构、光学性能,气体响应性优于其他薄膜,对氨的响应性优于其他目标气体.在室温条件下,掺杂量为10%的薄膜样品对50cm^(3)·m^(-3)氨的响应为44.62%,180天后其响应仅轻微下降为42.02%.

关键词：磁控溅射掺杂氧化锌微观结构气敏性能

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原子力显微镜与X射线光电子能谱对ITO表面改性的研究

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功能材料 2007年第8期38卷 1247-1250页

作者：钟志有中南民族大学电子信息工程学院湖北武汉430074

采用氧气等离子体(OP)处理对氧化铟锡(ITO)薄膜进行表面改性,通过原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和四探针等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了OP处理对ITO表面性质的影响。实验结果表明OP处理有效去除了ITO表面的污染物,优化... 详细信息

采用氧气等离子体(OP)处理对氧化铟锡(ITO)薄膜进行表面改性,通过原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和四探针等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了OP处理对ITO表面性质的影响。实验结果表明OP处理有效去除了ITO表面的污染物,优化了ITO表面的化学组分,降低了ITO表面的粗糙度和方块电阻,改善了ITO的表面形态。与此同时,通过XPS监测研究了OP处理后ITO表面化学组分随老化时间的变化,结果显示经过优化的化学组分随老化时间增加而逐渐退化。另外,以OP处理后经过不同老化时间的ITO样品作为空穴注入电极,制备了有机电致发光器件(OELD),通过测试器件的电压-电流-亮度特性,进一步研究了ITO表面性质对于OELD光电性能的影响。

关键词：氧化铟锡薄膜表面改性原子力显微镜 X射线光电子能谱

Electrical and nonlinear optical properties of TGZO transparent conducting films deposited by magnetron sputtering

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中南民族大学学报（自然科学版） 2024年第6期43卷 827-834页

作者： ZHONG Zhiyou FENG Chaode GU Jinhua LONG Hao YANG Chunyong South-Central Minzu University College of Electronics and Information EngineeringExperimental Teaching and Engineering Training CenterWuhan 430074China South-Central Minzu University Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless CommunicationsExperimental Teaching and Engineering Training CenterWuhan 430074China South-Central Minzu University Experimental Teaching and Engineering Training CenterWuhan 430074China

Thin transparent oxide conducting films(TCOFs)of titanium and gallium substituted zinc oxide(TGZO)were fabricated via radio frequency(RF)magnetron sputtering *** effects of RF power on electrical,linear and nonlinear optical characteristics were investigated by Hall tester,Ultraviolet(UV)-visible spectrophotometer and optical characterization *** results indicate that RF power significantly influences the electrical and optical properties of the deposited *** RF power raises,the resistivity and Urbach energy fall initially and then rise,while the figure of merit,mean visible transmittance and optical bandgap show the reverse variation *** RF power of 190 W,the TGZO sample exhibits the highest electro-optical properties,with the maximum figure of merit(1.14×10^(4)Ω-1∙cm^(-1)),mean visible transmittance(86.9%)and optical bandgap(3.50 eV),the minimum resistivity(6.26×10^(-4)Ω∙cm)and Urbach energy(174.23 meV).In addition,the optical constants of the deposited films were determined by the optical spectrum fitting method,and the RF power dependence of nonlinear optical properties was *** is observed that all the thin films exhibit normal dispersion characteristics in the visible region,and the nonlinear optical parameters are greatly affected by the RF power in the ultraviolet region.

关键词： doped ZnO thin films electro-optical performance nonlinear optical properties

ZAO透明导电薄膜微观结构和光电性能的研究

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人工晶体学报 2011年第5期40卷 1305-1310页

作者：钟志有顾锦华中南民族大学电子信息工程学院武汉430074 中南民族大学计算与实验中心武汉430074

以ZnAl2O4陶瓷靶为靶材,采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜,通过XRD、SEM、四探针仪和分光光度计等测试,研究了沉积温度对薄膜结构、形貎、力学和光电性能的影响。结果表明:ZAO具有(002)择优取向的六角纤锌矿结构,... 详细信息

以ZnAl2O4陶瓷靶为靶材,采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜,通过XRD、SEM、四探针仪和分光光度计等测试,研究了沉积温度对薄膜结构、形貎、力学和光电性能的影响。结果表明:ZAO具有(002)择优取向的六角纤锌矿结构,沉积温度对薄膜性能具有明显影响,当温度位于370～400℃区间时,薄膜的结晶质量较好、电阻率较低、可见光波段的平均透射率较高,其品质因数大于1.20×10-2 S,具有良好的光电综合性能。同时基于透射光谱计算了ZAO薄膜的光学常数,并用有效单振子理论解释了薄膜的折射率色散关系。

关键词：掺铝氧化锌薄膜磁控溅射微观结构光电性能

溅射功率对钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜光电性能的影响

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人工晶体学报 2013年第7期42卷 1353-1359页

作者：张腾钟志有汪浩中南民族大学电子信息工程学院武汉430074 中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室武汉430074

以ZnO∶Ga2O3∶TiO2(97wt%∶1.5wt%∶1.5wt%)陶瓷靶作为溅射源,采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜,通过X射线衍射仪、四探针仪和分光光度计测试表征,研究了溅射功率对TGZO薄膜晶体结构、电学... 详细信息

以ZnO∶Ga2O3∶TiO2(97wt%∶1.5wt%∶1.5wt%)陶瓷靶作为溅射源,采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜,通过X射线衍射仪、四探针仪和分光光度计测试表征,研究了溅射功率对TGZO薄膜晶体结构、电学性质和光学性能的影响。结果表明:所有TGZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且具有(002)择优取向,溅射功率对薄膜性能具有明显的影响。当溅射功率为200 W时,TGZO薄膜的结晶质量最好、电阻率最低、平均可见光透射率最高,品质因数最大(1.22×10-2Ω-1),其光电综合性能最佳。另外,通过光谱拟合方法研究了溅射功率对TGZO薄膜折射率和消光系数的影响,并利用Tauc关系式计算了样品的光学能隙。

关键词：氧化锌薄膜溅射功率结晶质量电阻率透过率

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相移全息CT技术测量双烛火焰温度场

光学学报 1996年第6期16卷 768-771页

作者：是度芳钟志有王荣陈韶华华中理工大学物理系武汉430074

提出了相移全息CT技术。实验中采用双参考光相移方法在再现阶段引入相移，重建了双烛火焰层面的温度场，结果表明，这一技术能够快速、高精度地获取各个投影响方向上的位相分布，重建出令人满意的结果。

关键词：相移技术全息CT 温度场

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有机LED聚合物薄膜的制备工艺研究

华中科技大学学报（自然科学版） 2003年第2期31卷 37-39页

作者：钟志有刘陈尹盛徐重阳华中科技大学电子科学与技术系

采用两次重复的 2 3 析因实验设计 ,应用方差分析方法 ,研究了旋涂工艺中聚合物溶液的浓度 ,匀胶机的旋涂速度和加速度对旋涂的薄膜厚度和薄膜均匀性的影响 .实验和分析的结果表明 :溶液浓度和旋涂速度对膜厚和薄膜均匀性具有显著性的影... 详细信息

采用两次重复的 2 3 析因实验设计 ,应用方差分析方法 ,研究了旋涂工艺中聚合物溶液的浓度 ,匀胶机的旋涂速度和加速度对旋涂的薄膜厚度和薄膜均匀性的影响 .实验和分析的结果表明 :溶液浓度和旋涂速度对膜厚和薄膜均匀性具有显著性的影响 ,而旋涂加速度对它们的影响则不显著 .这一结论对于制备优质薄膜。

关键词：有机LED聚合物薄膜制备工艺旋涂工艺方差分析薄膜厚度薄膜均匀性

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有机发光器件ITO阳极表面能的研究

华中科技大学学报（自然科学版） 2003年第2期31卷 40-42页

作者：钟志有尹盛刘陈徐重阳华中科技大学电子科学与技术系

在测量ITO接触角的基础上 ,应用调和平均法计算了不同表面处理ITO阳极的表面能和极性度 .结果表明 :ITO的表面能和极性度随其表面处理方式而变化 ,并且表面能的变化主要来源于极性分量的增减 ;经氧等离子体处理后的ITO具有最大的表面能... 详细信息

在测量ITO接触角的基础上 ,应用调和平均法计算了不同表面处理ITO阳极的表面能和极性度 .结果表明 :ITO的表面能和极性度随其表面处理方式而变化 ,并且表面能的变化主要来源于极性分量的增减 ;经氧等离子体处理后的ITO具有最大的表面能和极性度 ,这一结果对于优化ITO阳极 /有机层界面的性质。

关键词：有机发光器件 ITO阳极表面能极性度表面处理接触角表面张力

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电极性质对异质结OLED光电性能的影响

半导体光电 2007年第5期28卷 631-633,637页

作者：钟志有孙奉娄中南民族大学电子信息工程学院湖北武汉430074

采用空热蒸发技术制备了结构为ITO/N,N-′bis(naphthalen-1-yl)-N,N-′bis(phenyl)-benzidine(NPB)/tris-(8-hydroxyquinoline)-aluminum(AlQ)/Mg-Ag/Al的异质结结构有机电致发光器件(OLED),研究了ITO电极性质对OLED器件启亮电压、驱动电压、发光亮度和发光效率等光电性能的影响。实验结果表明,电极性质显著影响OLED器件性能,优化的电极性质通过改善电极与有机层之间的界面特性,从而改善器件的光学和电学性能。

关键词：有机电致发光器件(OLED) 电极性质器件性能