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铱薄膜的MOCVD沉积效果研究(英文)

稀有金属材料与工程 2010年第2期39卷 209-213页

作者：蔡宏中陈力魏燕胡昌义昆明贵金属研究所云南昆明650106 云南省贵金属材料重点实验室云南昆明650106

以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在Mo基体上制备Ir薄膜。研究Ir的沉积效果与沉积温度及反应气体(O2)间的关系。Ir薄膜的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程,沉积速率与沉积温度绝对温度... 详细信息

以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在Mo基体上制备Ir薄膜。研究Ir的沉积效果与沉积温度及反应气体(O2)间的关系。Ir薄膜的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程,沉积速率与沉积温度绝对温度的倒数呈抛物线关系,当温度为750℃时,Ir的沉积速率达到最大值,沉积温度对Ir薄膜的显微形貌有显著影响;O2的流量对薄膜的成分、形貌及结构等均有显著影响。

关键词： MOCVD 铱薄膜

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CVD制备Nb-W合金的显微组织和性能

稀有金属材料与工程 2022年第8期51卷 2830-2838页

作者：张茂胡昌义蔡宏中王献魏燕昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室云南昆明650106

采用化学气相沉积(CVD)法制备Nb-W二元合金材料,通过金相显微镜、扫描电镜、电子探针和显微硬度仪研究了Nb-W二元合金的显微组织、力学性能。结果表明,CVD法制备的Nb-W二元合金具有规则角度层状结构特征,层状结构主要以柱状晶为主,并伴... 详细信息

采用化学气相沉积(CVD)法制备Nb-W二元合金材料,通过金相显微镜、扫描电镜、电子探针和显微硬度仪研究了Nb-W二元合金的显微组织、力学性能。结果表明,CVD法制备的Nb-W二元合金具有规则角度层状结构特征,层状结构主要以柱状晶为主,并伴随着相应的成分起伏:层与层连接处以Nb为基体,周围分布有Nb-W固溶体,层内以Nb-W固溶体为基体,周围分布着Nb原子。宏观上在沿着晶体生长方向上开始基本以W原子为主形成一个W层,随后经过(NbW)固溶过渡到Nb原子;而微观上Nb和W原子的分布又显现出含量交替变化的特征。利用有限元模拟计算分析验证Nb-W合金材料的层状结构,以及层间的成分差异,发现层间晶粒尺寸的交叠差异对力学性能起到了明显的提升作用。揭示了Nb-W合金CVD成型机理与强化机制。

关键词：化学气相沉积(CVD) Nb-W合金层状结构晶粒尺寸强化机制

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反应气体流量对CVD钽性能影响研究

稀有金属 2013年第6期37卷 909-914页

作者：蔡宏中易健宏魏巧灵陈力魏燕胡昌义昆明理工大学材料科学与工程学院云南昆明650093 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室云南昆明650106

介绍了化学气相沉积（CVD）技术制备难熔金属钽涂层的原理及方法。利用TaC15-H2·HCl反应体系，以冷壁式化学气相沉积法在钼基体表面沉积了钽涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线物相分析仪（XRD）、显微硬度计等分析手段，研究了... 详细信息

介绍了化学气相沉积（CVD）技术制备难熔金属钽涂层的原理及方法。利用TaC15-H2·HCl反应体系，以冷壁式化学气相沉积法在钼基体表面沉积了钽涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线物相分析仪（XRD）、显微硬度计等分析手段，研究了反应气体（氢气、氯气）的流量变化对钽涂层的沉积速率、结构、表面形貌、硬度及密度等的影响；应用Harris公式，计算了钽涂层的织构系数，获得了钽涂层的择优取向。研究结果表明：随着氢气流量的增加，涂层沉积速率加快，随着氯气流量的增加，涂层的沉积速率则是先增加后减小；涂层由体心立方结构的钽（α—Ta）构成，表面形貌呈类金字塔形结构，涂层（200）晶面方向为最快生长方向；反应气体流量变化对涂层硬度及密度的影响均不明显；涂层维氏硬度在HV130．94～HV152．43之间，涂层致密性好，相对密度都在99．65％以上。

关键词：反应气体化学气相沉积钽涂层性能

CVD Ta/W复合材料的力学性能及影响因素

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稀有金属材料与工程 2016年第1期45卷 197-201页

作者：祁小红胡昌义蔡宏中郑旭魏燕昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室云南昆明650106

使用拉伸试验机,扫描电镜,金相显微镜研究了采用CVD法制备的Ta/W层状复合材料的力学性能及影响因素。结果表明:W体积分数,热处理温度,热处理时间均对复合材料的力学性能有较大影响。W体积分数为13%的复合材料同时具有良好的抗拉强度和... 详细信息

使用拉伸试验机,扫描电镜,金相显微镜研究了采用CVD法制备的Ta/W层状复合材料的力学性能及影响因素。结果表明:W体积分数,热处理温度,热处理时间均对复合材料的力学性能有较大影响。W体积分数为13%的复合材料同时具有良好的抗拉强度和塑性。能够有效提高复合材料抗拉强度和塑性的热处理制度为1600℃/2 h,且热处理主要通过改变复合材料的晶粒大小及界面扩散层厚度来影响材料的力学性能。

关键词： CVD Ta/W复合材料力学性能 W体积分数热处理

双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)的制备及成膜性能

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稀有金属材料与工程 2014年第5期43卷 1254-1257页

作者：蔡宏中易健宏胡昌义常桥稳魏燕郑旭刘伟平陈力昆明理工大学云南昆明650093 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室云南昆明650106

以二氯化钯和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了一种新的β二酮前驱体-双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱及单晶X射线衍射等技术对合成的前驱体进行了结构表征。热重-差热分... 详细信息

以二氯化钯和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了一种新的β二酮前驱体-双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱及单晶X射线衍射等技术对合成的前驱体进行了结构表征。热重-差热分析表明,在N2气氛中,当温度升到291℃时,前驱体基本挥发完全。采用合成的前驱体通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在石英上沉积制备钯薄膜,利用XRD和AFM分析手段对薄膜的结构和表面形貌进行了表征。结果表明,所得到的薄膜纯净,无其他杂质存在,薄膜表面连续、致密。

关键词：双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ) 钯薄膜 MOCVD

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CVD温度对钽沉积层性能的影响

稀有金属材料与工程 2012年第11期41卷 2037-2040页

作者：蔡宏中魏巧灵魏燕陈力郑旭胡昌义昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室云南昆明650106

介绍了化学气相沉积(CVD)制备难熔金属钽涂层的原理及方法。采用冷壁式化学气相沉积法,在钼基体上沉积出难熔金属钽层。分析研究了CVD温度对沉积层的沉积速率、组织、结构和硬度等的影响。结果表明:在1000～1200℃温度范围,沉积速率随... 详细信息

介绍了化学气相沉积(CVD)制备难熔金属钽涂层的原理及方法。采用冷壁式化学气相沉积法,在钼基体上沉积出难熔金属钽层。分析研究了CVD温度对沉积层的沉积速率、组织、结构和硬度等的影响。结果表明:在1000～1200℃温度范围,沉积速率随温度升高而增大;当温度超过1200℃时,沉积速率随温度的升高反而略有减小;沉积层组织呈柱状晶并随温度的升高逐渐增大;沉积层的硬度及密度随温度的升高而逐渐降低。化学气相沉积钽的最佳温度在1100℃左右。

关键词：化学气相沉积钽组织性能

金属有机化合物化学气相沉积法制备铱薄膜的研究

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稀有金属 2009年第2期33卷 200-204页

作者：蔡宏中胡昌义陈力王云昆明贵金属研究所云南昆明650106

以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在钼基体上制备了铱薄膜。研究了铱的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铱的加热温度和运载气体(Ar)流速等沉积参数的关系。铱薄膜的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arr... 详细信息

以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在钼基体上制备了铱薄膜。研究了铱的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铱的加热温度和运载气体(Ar)流速等沉积参数的关系。铱薄膜的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程:沉积速率与绝对温度的倒数呈抛物线关系,当温度为750℃时,铱的沉积速率达到最大值,基体温度对薄膜质量有显著影响;随着以乙酰丙酮铱加热温度的升高,铱的沉积速率直线增加;而Ar流速的增大则显著减小铱的沉积速率。

关键词：金属有机化合物化学气相沉积铱薄膜

超音速电弧喷射雾化Cu-10Ag合金熔滴的快速凝固

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特种铸造及有色合金 2007年第12期27卷 906-908页

作者：秦国义蔡宏中赵怀志宁远涛昆明理工大学材料与冶金工程学院昆明贵金属研究所

采用超音速电弧喷射雾化制备了Cu-10Ag合金粉末,并用SEM和X-射线衍射等对合金液滴的凝固行为进行了研究;对凝固机制进行了分析。结果表明,粉末为球形颗粒,粒径分布主要集中在15～70μm之间,平均直径为45μm;液滴初始冷却速率为105～107K... 详细信息

采用超音速电弧喷射雾化制备了Cu-10Ag合金粉末,并用SEM和X-射线衍射等对合金液滴的凝固行为进行了研究;对凝固机制进行了分析。结果表明,粉末为球形颗粒,粒径分布主要集中在15～70μm之间,平均直径为45μm;液滴初始冷却速率为105～107K/s;凝固组织是由约含7%的Ag的富Cu晶胞和约含50%～60%的Ag的晶胞壁构成的胞状晶组织,随粉末颗粒直径由80μm减小到15μm,晶胞平均尺寸由约2μm减小为约1μm。

关键词：超音速电弧喷射雾化 Ag—Cu合金快速凝固

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钽的CVD动力学规律及显微组织

稀有金属材料与工程 2011年第5期40卷 844-848页

作者：魏巧灵蔡宏中陈力魏燕毛传军胡昌义昆明贵金属研究所云南昆明650106

简述氢气还原氯化钽化学气相沉积钽(CVD)的主要原理,研究氯化、氯气流量、氢气流量和沉积温度4个参数对沉积速率及沉积层显微组织的影响。结果表明:氯化温度对沉积速率的影响最小,沉积温度的影响最大;显微组织由小晶粒区和柱状晶区组成... 详细信息

简述氢气还原氯化钽化学气相沉积钽(CVD)的主要原理,研究氯化、氯气流量、氢气流量和沉积温度4个参数对沉积速率及沉积层显微组织的影响。结果表明:氯化温度对沉积速率的影响最小,沉积温度的影响最大;显微组织由小晶粒区和柱状晶区组成,沉积参数改变,柱状晶晶粒大小发生变化。

关键词： CVD 沉积速率显微组织