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“创新——核科学技术发展的不竭源泉”——中国核学会2009年学术年会

作者：杨晓天董海义蒋迪奎王勇中国科学院近代物理研究所中国科学院高能物理研究所中国科学院上海应用物理研究所中国科技大学国家同步辐射实验室

北京正负电子对撞机(BEPC)、兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSR)、合肥同步辐射光源(NSRL)和上海光源(SSRF)是我国四大粒子加速器储存环装置。在过去的十年里,作为国家"九.五"、"十.五"大科学工程项目,四大加速器进行了重大改造或新... 详细信息

北京正负电子对撞机(BEPC)、兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSR)、合肥同步辐射光源(NSRL)和上海光源(SSRF)是我国四大粒子加速器储存环装置。在过去的十年里,作为国家"九.五"、"十.五"大科学工程项目,四大加速器进行了重大改造或新建,并达到了建设目标。真空系统是各加速器储存环重要的组成部分,论文将简要介绍各储存环真空系统的特点、难点和获得的结果。

关键词：粒子加速器储存环真空系统真空室气载材料出气率

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BEPCII储存环真空系统

真空科学与技术学报 2006年第4期26卷 335-338页

作者：董海义宋洪李琦周利娟杨奇王雅婷肖琼中国科学院高能物理研究所北京100049

本文首先描述了BEPCII储存环真空系统的特点、主要参数和真空设备的总体布局。同时对储存环真空系统的关键设备真空盒、光子吸收器和RF屏蔽波纹管的设计原理、加工工艺以及实验方法进行了说明。另外还介绍了真空盒内表面镀TiN的实验装... 详细信息

本文首先描述了BEPCII储存环真空系统的特点、主要参数和真空设备的总体布局。同时对储存环真空系统的关键设备真空盒、光子吸收器和RF屏蔽波纹管的设计原理、加工工艺以及实验方法进行了说明。另外还介绍了真空盒内表面镀TiN的实验装置以及被镀样品的测试结果。

关键词：储存环真空盒光子吸收器 RF波纹管 TiN镀膜

CSNS/RCS二极陶瓷真空盒磁控溅射镀TiN薄膜研究进展

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真空 2014年第4期51卷 61-64页

作者：张洪涛董海义杨奇中国科学院高能物理研究所北京100049

中国散裂中子源(CSNS)将在快循环同步加速器(RCS)的二极磁铁和四极磁铁内应用陶瓷真空盒。为降低陶瓷表面的二次电子发射系数(SEY),采用直流磁控溅射的方法,对二极陶瓷真空盒内壁镀氮化钛(TiN)薄膜工艺进行实验研究。结果表明:薄膜附着... 详细信息

中国散裂中子源(CSNS)将在快循环同步加速器(RCS)的二极磁铁和四极磁铁内应用陶瓷真空盒。为降低陶瓷表面的二次电子发射系数(SEY),采用直流磁控溅射的方法,对二极陶瓷真空盒内壁镀氮化钛(TiN)薄膜工艺进行实验研究。结果表明:薄膜附着力较好,镀TiN膜后陶瓷表面SEY峰值由4.2降到2.3,但薄膜Ti/N比例及膜厚均匀性还有待进一步改善。

关键词：陶瓷真空盒氮化钛薄膜直流磁控溅射二次电子发射系数

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常见放气率测试方法的量化比较

真空科学与技术学报 2020年第6期40卷 524-530页

作者：关玉慧宋洪董海义黄涛王鹏程刘佳明刘顺明谭彪孙晓阳散裂中子源科学中心东莞523000 中国科学院高能物理研究所北京100049

对材料放气率的准确测量至关重要,本文对自主设计出的转换气路(SPP)法测试装置进行了试用,装置重复性较好。将此方法与工程上常用的静态升压法、小孔流导法进行了数量上的直观比较,SPP法比小孔流导法、静态升压法测得的放气率更低。结合... 详细信息

对材料放气率的准确测量至关重要,本文对自主设计出的转换气路(SPP)法测试装置进行了试用,装置重复性较好。将此方法与工程上常用的静态升压法、小孔流导法进行了数量上的直观比较,SPP法比小孔流导法、静态升压法测得的放气率更低。结合molflow模拟,实测值与模拟值相互验证,分析了误差来源,明确了提升方向。

关键词：真空技术放气率测试转换气路 molflow

北京中高能标准粒子试验束流装置真空系统改造

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北京中高能标准粒子试验束流装置真空系统改造

中国真空学会2008年学术年会

作者：周利娟彭晓华董海义李家才张少平中国科学院高能物理研究所

试验束是北京正负电子对撞机的寄生实验装置,本文针对试验束的现状提出了详细的改造措施,计算真空系统的压力分布,并介绍了真空系统的材料选择以及相应的应力分析,清洗措施等。

关键词：真空系统试验束改造压力分布

来源： cnki会议评论

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薄膜缺陷研究进展综述

表面技术 2021年第3期50卷 91-100页

作者：马永胜杨雨晨景泳淼孙飞董海义何平陈双凯张志伟陈子林杨馥羽刘佰奇张磊中国科学院高能物理研究所北京100049 中国科学院大学北京100049 中石油昆仑燃气有限公司浙江分公司杭州310000

在实际镀膜过程中,镀膜腔室内不可避免地会含有微米级的颗粒、灰尘,除此之外,衬底表面在加工过程中产生的缺陷、污染,即使经过清洗处理,往往也不能完全消除,甚至会带来新的缺陷、污染。阴极靶中的杂质、气泡以及微弧放电同样会产生颗粒... 详细信息

在实际镀膜过程中,镀膜腔室内不可避免地会含有微米级的颗粒、灰尘,除此之外,衬底表面在加工过程中产生的缺陷、污染,即使经过清洗处理,往往也不能完全消除,甚至会带来新的缺陷、污染。阴极靶中的杂质、气泡以及微弧放电同样会产生颗粒物,这些因素将直接导致薄膜在生长过程形成缺陷。详细综述了薄膜缺陷的形成原因、分类以及对不同应用的影响。根据形成原因、微观形貌等,可将缺陷大致分为薄片形结构、凹坑结构、结节状球形滴锥结构、针孔/气孔结构等四种类型。不同类型缺陷在薄膜中的占比受环境因素变化而改变,在空间分布也有所不同。缺陷破坏了薄膜的完整性,对薄膜性能产生较大影响,如降低了硬质薄膜的耐摩擦性,腐蚀介质可通过缺陷达到基材表面,导致耐腐蚀薄膜丧失保护功能。对于超导薄膜,当缺陷尺寸远大于copper电子对相干长度时,剩余电阻大大增加。最后,总结了气压、偏压、电压、沉积时间、衬底安装角度、镀膜室屏蔽结构等对缺陷密度的影响,也说明通过优化以上参数与结构可以降低缺陷密度,改善薄膜质量。

关键词：薄膜缺陷腐蚀摩擦薄膜生长

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CSNS离子泵性能测试

真空 2017年第6期54卷 43-46页

作者：黄涛董海义王鹏程蒋罗荣东莞中子科学中心广东东莞523803 中国科学院高能物理研究所北京100049 上海三井真空设备有限公司上海201799

中国散裂中子源(CSNS)加速器由直线加速器,LRBT(直线至环输运线)、RCS(快循环同步加速器)和RTBT(环至靶站输运线)构成^([1])。为了维持加速器的真空环境,在各区段采用了141台各种型离子泵作为主抽泵。离子泵的极限真空和饱和抽速性能直... 详细信息

中国散裂中子源(CSNS)加速器由直线加速器,LRBT(直线至环输运线)、RCS(快循环同步加速器)和RTBT(环至靶站输运线)构成^([1])。为了维持加速器的真空环境,在各区段采用了141台各种型离子泵作为主抽泵。离子泵的极限真空和饱和抽速性能直接影响加速器是否能够获得良好的真空。在离子泵安装之前,我们对每个型号的离子泵进行性能测试。本文详细介绍了离子泵性能测试方法。经过测试的离子泵,安装到加速器上均能正常工作,动态真空满足设计指标。

关键词： CSNS 加速器真空离子泵极限真空饱和抽速

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BEPCⅡ储存环真空系统性能

真空 2008年第4期45卷 29-31页

作者：董海义李琦彭晓华齐铁柱宋洪王雅婷肖琼杨奇周利娟中国科学院高能物理研究所北京100049

本文描述了BEPCⅡ储存环真空系统的结构、特点以及运行状况。储存环真空系统于2006年3月开始安装,仅用8个月时间完成储存环正、负电子环约480米长的真空设备安装、检漏和烘烤,并且每个区段的真空优于6.0×10-8Pa。2006年11月18日电子束... 详细信息

本文描述了BEPCⅡ储存环真空系统的结构、特点以及运行状况。储存环真空系统于2006年3月开始安装,仅用8个月时间完成储存环正、负电子环约480米长的真空设备安装、检漏和烘烤,并且每个区段的真空优于6.0×10-8Pa。2006年11月18日电子束在储存环成功储存,标志着储存环真空系统能够正常运行。随着积分流强的增加,由同步辐射光引起的气体解吸量逐渐减小,动态真空变好。当积分流强达到100A·hr时,单位流强引起的压强上升小于1×10-10Pa/mA。真空系统运行稳定,在8个多月的运行中,没有发生真空设备故障。

关键词：储存环真空盒光子吸收器 RF波纹管动态压强

CSNS/RCS剥离膜系统的真空测量与分析

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真空 2017年第2期54卷 40-43页

作者：张东岩董海义刘鹏飞周永军中国科学院高能物理研究所东莞分部广东东莞523803 东莞中子科学中心广东东莞523803 中国科学院大学

中国散裂中子源(CSNS)快循环同步质子加速器(RCS)中,剥离膜系统是整个RCS的关键设备,主要用来剥离负氢离子的核外电子产生正氢离子,即质子。剥离膜设备的性能直接影响整个RCS的性能,而其中的真空性能是重要的技术要求之一。在剥离膜安... 详细信息

中国散裂中子源(CSNS)快循环同步质子加速器(RCS)中,剥离膜系统是整个RCS的关键设备,主要用来剥离负氢离子的核外电子产生正氢离子,即质子。剥离膜设备的性能直接影响整个RCS的性能,而其中的真空性能是重要的技术要求之一。在剥离膜安装之前,我们对该设备的极限真空、残余气体(RGA),以及膜片换位运动时磁流体密封对真空性能的影响做了详细的研究。经实验验证该系统符合CSNS的设计指标。

关键词：中国散裂中子源真空系统主剥离膜磁流体密封