检索结果-南通市图书馆

作者：肖希健东华大学

学位级别：硕士

高密度、低能量等离子体是制造单纳米尺度的小尺寸半导体器件所需要的。目前,能够产生这种等离子体的一种有效手段是电子束等离子体,电子束主要在空心阴极产生,由于空心阴极的尺寸较小,因此外部功率源可以有效地将能量沉积至等离子体中... 详细信息

高密度、低能量等离子体是制造单纳米尺度的小尺寸半导体器件所需要的。目前,能够产生这种等离子体的一种有效手段是电子束等离子体,电子束主要在空心阴极产生,由于空心阴极的尺寸较小,因此外部功率源可以有效地将能量沉积至等离子体中有效地加热电子,高能电子在空心阴极中来回振荡,促进电离并产生高能量电子。之后,通过在栅极和加速电极间施加直流偏压,将电子从空心阴极中引出,形成高能电子束。这样的电子束有着高能量,高密度的特征,可以应用在许多方面:材料表面处理;蒸发难熔融物质并将其沉积至材料表面,形成薄膜;刻蚀等方面。有着很高的研究价值。本文将产生电子束的一体化电极与容性耦合放电腔相结合,利用射频驱动空心阴极放电,并将电子束注入容性耦合腔形成电子束容性耦合等离子体,并利用朗缪尔(Langmuir)探针和发射光谱法结合碰撞辐射模型研究了电子束容性耦合等离子体的放电特性:(1)电子束驱动容性耦合等离子体;(2)电子束调制容性耦合等离子体;(3)利用CCD相机和滤波片,通过CCD相机拍摄的放电图像,将其与光谱仪测得的数据进行标定,得到了电子束容性耦合等离子体特性的二维分布情况。在第一章中,介绍了低温等离子体常见的发生方式以及应用,并介绍了电子束等离子体在实验和模拟上的研究现状。在第二章中,介绍了电子束容性耦合等离子体的实验装置,以及所使用的诊断方法。在第三章中,研究了电子束驱动容性耦合等离子体的放电特性,利用Langmuir探针测量了容性耦合腔放电中心的等离子体参数随射频功率的变化,并将结果与发射光谱结合碰撞辐射模型的结果进行对比,发现两种方法得到的电子温度和电子密度趋势相一致。随后,利用Langmuir探针测量了不同射频频率对电子束驱动容性耦合放电的影响,发现由于自偏压随着射频频率的增大而减小,因此随着频率的升高,注入容性耦合腔的电子反而减少,电子密度下降,电子温度也下降。探究了工作气压对电子束驱动容性耦合放电的影响,其结果发现,气压升高,电子密度随之升高,由于碰撞的加剧,电子温度则逐渐下降,此外,从电子能量概率函数中可以观察到,随着气压的增大,高能电子浓度降低,低能电子浓度明显增大。这表明高能电子主要与中性粒子发生电离碰撞,产生了更多的低能电子。最后探究了直流偏置电压对放电的影响,其结果表明,电子密度在偏置电压的影响下逐渐升高,而电子温度几乎不受偏置电压的影响。这是因为偏置电压在栅极和加速阳极间形成了一个加速电场,由于电极间距太小,电子获得能量很小。因此偏置电压的作用主要是影响将电子从空心阴极中引出,进一步提高了容性耦合腔内的电子密度。在第四章中,研究了电子束调制容性耦合等离子体的放电特性,主要研究了改变外部参数以此改变电子束的特性,从而对容性耦合放电产生的不同调制作用。首先,比较了空心阴极侧射频功率和容性耦合腔下电极侧射频功率对放电特性的影响,并与单频容性耦合等离子体(CCP)进行了比较。结果表明,下电极侧的功率变化主要影响电子温度,而空心阴极侧的功率变化则主要影响电子密度,与单频CCP相比,电子束的注入会促进α-γ的模式转变,且仅需要较小的功率就能达到更高的电子密度。在探究空心阴极侧频率对放电参数的影响时发现,电子温度和电子密度对射频频率有着较高的依赖性,随着频率的升高,电子温度逐渐下降,电子密度也随着频率的上升而略微下降,但这不适用于射频频率过低的情况(2 MHz)。这同样是因为自偏压的减小而导致注入的电子浓度降低,而在2 MHz的情况,空心阴极内部的鞘层很厚,电子获得较高的能量,但由于体区被压缩,使得电离减少,电子密度较低。工作气压对放电的影响与第三章类似,气压的升高使得中性粒子与电子的碰撞增多,促进了电离碰撞的发生,产生更多的低能电子。同样的,偏置电压对放电的影响也主要是增大了电子密度,而几乎不影响电子温度。此外,随着偏置电压的升高,频率高时的电子密度增幅要大于频率较低时的电子密度。这表明了,在空心阴极内部,电子密度仍随着驱动频率的升高明显升高。在第五章中,观察了电子束驱动容性耦合等离子体和电子束调制容性耦合等离子体的二维分布随外部参数射频功率的变化趋势。在电子束驱动容性耦合等离子体中,功率的增大使得更多的电子从喷口处进入容性耦合腔,并且保持着“束”状向下延伸,电子温度则表现出了与之相反的趋势。通过对比改变空心阴极侧和下电极侧的二维分布变化可以看出,改变空心阴极侧射频频率主要影响电子束的特性,随着功率的升高电子密度以及高能电子都增多,这使得注入后更多的高能电子与中性粒子发生电离,因而对电子密度的影响更大。而改变下电极侧的功率则导致电子获得更高的能量,并且放电的二维分布更均匀。

关键词：电子束容性耦合等离子体电子能量概率函数碰撞辐射模型

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多维度研究中国目录学史的创新之作——评柯平著《中国目录学史》

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图书馆论坛 2024年

作者：肖希明武汉大学信息管理学院

中国目录学不仅是一门图书整理的学科，更是一门有关学术史、读书治学的学科。柯平教授著《中国目录学史》是中国目录学史领域一部全新力作，描绘了基于时代、实践和思想的中国目录学史研究“三条金线”，搭建了以图书、目录和人物为中... 详细信息

中国目录学不仅是一门图书整理的学科，更是一门有关学术史、读书治学的学科。柯平教授著《中国目录学史》是中国目录学史领域一部全新力作，描绘了基于时代、实践和思想的中国目录学史研究“三条金线”，搭建了以图书、目录和人物为中心的“三位一体”的中国目录学史框架，进而探索中国目录学史全新的书写方式，勾勒出中国目录学发展的清晰主线。

关键词：中国目录学史思想史柯平

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集成电路发展与光电融合探讨

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光通信研究 2024年

作者：张新全肖希中国信息通信科技集团有限公司光通信技术和网络全国重点实验室

经过六十余年指数级高速发展，集成电路最先进制程工艺节点已来到1nm。近十年来集成电路的发展在转向，从平面等比例微缩转为三维等效微缩，从性能驱动转为功耗驱动，从单元集成转为系统集成，业界普遍认为已进入到“后摩尔时代”。当... 详细信息

经过六十余年指数级高速发展，集成电路最先进制程工艺节点已来到1nm。近十年来集成电路的发展在转向，从平面等比例微缩转为三维等效微缩，从性能驱动转为功耗驱动，从单元集成转为系统集成，业界普遍认为已进入到“后摩尔时代”。当前，集成电路面临着三大技术难题，尺寸缩减举步维艰，不仅制程升级放缓，而且代价超百亿美金，格罗方德等部分晶圆厂已放弃进军更先进制程，仅台积电、三星、Intel、Imec等极少数晶圆厂在继续向前推进“深度摩尔”。我们从集成度和能耗两个维度分析了可供深度摩尔继续利用的理论空间，并简要介绍了IRDS关于未来十五年的技术演进路线图。“超越CMOS”致力于通过原理、材料、结构等创新找到显著优于传统CMOS的可能器件和方法，这方面的探索尚属于学术前沿研究阶段。产业界对于系统级封装（SiP）、异质集成、芯粒（Chiplet）等“扩展摩尔”技术更为关注。由于信息硬件技术当前遇到的困难和限制是源自电子的物理特性，光子作为与其物理秉性相异的信息载子被寄予厚望，正从传统的传输技术泛化为ICT的全尺度连接技术，并逐步进入计算、处理、路由等复杂功能域，光电融合渐成信息技术的重要发展方向。光电融合主要体现于两个维度，一是功能维度协同化，二是硬件维度一体化。我们对这两个维度的进展进行了介绍，并指出以硅为基础的多材料异质集成和混合集成是当前芯片层面光电融合的着眼点，使得光电子发展呈现出“微电子化”的显著特征。光电融合刚起步，在其探索过程中，我们认为：一是要重视系统架构层面的适应性改变，不能仅停留于芯片层面；二是融合尚需新材料、新型器件、新工艺、新设备、新系统等多方面创新；三是不能把光电融合狭隘地局限于当前业界着力的扩展摩尔方向，还应看到它在Beyond CMOS方向的诸多可能性。

关键词：集成电路后摩尔扩展摩尔光电融合

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市政污水处理厂的提标改造工程实施研究

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中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术 2024年第8期 0013-0016页

作者：肖希慧湖南坤鼎建设有限公司湖南长沙410000

随着城市化进程的不断推进,市区污水排放问题日益凸显。本文分析了某市政污水处理厂从一级B标准升级至一级A+标准的提标改造工程。在保留原有的处理流程的基础上,通过引入先进的超滤系统和优化化学加药及反洗流程来提高出水的质量。本... 详细信息

随着城市化进程的不断推进,市区污水排放问题日益凸显。本文分析了某市政污水处理厂从一级B标准升级至一级A+标准的提标改造工程。在保留原有的处理流程的基础上,通过引入先进的超滤系统和优化化学加药及反洗流程来提高出水的质量。本项目引入了包括超滤技术在内的多项创新技术,成功达到了新的环保排放标准,尤其是在悬浮物、氨氮和总磷的去除效率上效果较好。

关键词：污水处理厂超滤技术环境标准提升化学加药提标改造出水质量

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具有热不敏感低驱动电压特性的112 Gbit/s耦合调制型硅光微环调制器（特邀）

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光学学报 2024年第15期 367-373页

作者：刘阳王乾圣周昊鹏刘佳张红广陈代高王磊肖希国家信息光电子创新中心武汉邮电科学研究院有限公司光通信技术和网络全国重点实验室鹏城实验室电路与系统部

高速率、热不敏感、低驱动电压的硅光子调制器是宽带数据传输、低功耗、高集成密度和稳定运行的光互连系统中必不可缺的核心器件。本文提出并实验验证一种基于耦合调制机理的跑道型硅基微环电光调制器，在峰-峰驱动电压小于1.2 V的条件... 详细信息

高速率、热不敏感、低驱动电压的硅光子调制器是宽带数据传输、低功耗、高集成密度和稳定运行的光互连系统中必不可缺的核心器件。本文提出并实验验证一种基于耦合调制机理的跑道型硅基微环电光调制器，在峰-峰驱动电压小于1.2 V的条件下，实现112 Gbit/s四级脉冲幅度调制（PAM4）光信号传输。此外，使用氮化硅波导作为谐振腔的主要构成部分，调制器的温度敏感性小于2.5 pm/K，展现出良好的热稳定性，验证了在20℃到45℃温度范围内的112 Gbit/s PAM4信号传输。

关键词：光学器件跑道型微环谐振器马赫-曾德尔结构硅光调制器

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艺术传廉声文化育清风

艺术传廉声文化育清风

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云南法制报

作者：肖希

本报讯(通讯员肖希)“老李，你这句台词再有力一些，要让观众听了印象深刻。”在通海县九龙街道三义社区文化长廊里，几名退休工人、老党员和曲艺爱好者在热火朝天地彩排。这部名为《生财切莫走邪道》的花灯小戏由通海县纪委监委资助... 详细信息

本报讯(通讯员肖希)“老李，你这句台词再有力一些，要让观众听了印象深刻。”在通海县九龙街道三义社区文化长廊里，几名退休工人、老党员和曲艺爱好者在热火朝天地彩排。这部名为《生财切莫走邪道》的花灯小戏由通海县纪委监委资助，九龙街道三义社区银发文艺队创作。“这......

关键词：通海县九龙街道

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具有热不敏感低驱动电压特性的112 Gbit/s耦合调制型硅光微环调制器(特邀)

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光学学报 2024年第15期44卷 359-365页

作者：刘阳王乾圣周昊鹏刘佳张红广陈代高王磊肖希国家信息光电子创新中心湖北武汉430074 武汉邮电科学研究院有限公司光通信技术和网络全国重点实验室湖北武汉430074 鹏城实验室电路与系统部广东深圳518055

高速率、热不敏感、低驱动电压的硅光子调制器是宽带数据传输、低功耗、高集成密度和稳定运行的光互连系统中必不可缺的核心器件。本文提出并实验验证一种基于耦合调制机理的跑道型硅基微环电光调制器,在峰-峰驱动电压小于1.2 V的条件下... 详细信息

高速率、热不敏感、低驱动电压的硅光子调制器是宽带数据传输、低功耗、高集成密度和稳定运行的光互连系统中必不可缺的核心器件。本文提出并实验验证一种基于耦合调制机理的跑道型硅基微环电光调制器,在峰-峰驱动电压小于1.2 V的条件下,实现112 Gbit/s四级脉冲幅度调制(PAM4)光信号传输。此外,使用氮化硅波导作为谐振腔的主要构成部分,调制器的温度敏感性小于2.5 pm/K,展现出良好的热稳定性,验证了在20℃到45℃温度范围内的112 Gbit/s PAM4信号传输。

关键词：光学器件跑道型微环谐振器马赫-曾德尔结构硅光调制器

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山墙疏透率对大跨度煤棚风荷载的影响研究

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粘接 2024年第3期51卷 161-164页

作者：肖希中煤科工集团北京华宇工程有限公司河南平顶山467000

为解决在大跨度煤棚中,复杂气流和结构相互作用使得风荷载传递过程较为复杂问题,研究山墙疏透率对大跨度煤棚风荷载的影响。计算获得极值风压系数、整体风力系数以及风荷载体型系数,获取能够反映风荷载变化的关键参数。根据模拟试验结... 详细信息

为解决在大跨度煤棚中,复杂气流和结构相互作用使得风荷载传递过程较为复杂问题,研究山墙疏透率对大跨度煤棚风荷载的影响。计算获得极值风压系数、整体风力系数以及风荷载体型系数,获取能够反映风荷载变化的关键参数。根据模拟试验结果可知,提高山墙疏透率,能够促进大跨度煤棚内外空气流通,实现气体的交换,使得煤棚风吸力得到有效降低。山墙疏透率增加,煤棚中内压更加影响风压分布,产生正值内压,但是当煤棚山墙处于背风风向角时,煤棚中形成负值内压,造成主体风荷载出现极大力矩。

关键词：山墙疏透率大跨度煤棚风荷载风吸力正值内压

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山东寒武系崮山组褶颊虫类三叶虫Jiulongshania acalla个体发育过程中的头盖形态变化及其生态学意义

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北京大学学报（自然科学版） 2024年第4期60卷 626-638页

作者：秦树健董琳北京大学地球与空间科学学院北京100871

基于大量采自山东济南唐王寨剖面寒武系崮山组的阿克利九龙山虫Jiulongshania acalla Walcott,1905标本,用传统的形态测量方法和几何形态测量方法,对头盖形态特征进行度量和定量化分析,揭示其在个体发育过程中的形态变化特点。研究结果... 详细信息

基于大量采自山东济南唐王寨剖面寒武系崮山组的阿克利九龙山虫Jiulongshania acalla Walcott,1905标本,用传统的形态测量方法和几何形态测量方法,对头盖形态特征进行度量和定量化分析,揭示其在个体发育过程中的形态变化特点。研究结果显示,在个体发育过程中,***鞍前区的生长速率最快,头盖宽度的生长速率最慢,头盖形态变化主要表现为头盖整体形态由半扁椭圆形向半长椭圆形转变,鞍前区的宽度逐渐增加。推测三叶虫外骨骼形态的变化,特别是头盖形态的变化,可能与三叶虫的取食方式有关;***头盖标本在个体发育过程中的形态变化,可能指示从幼虫到成虫取食方式的改变。

关键词： Jiulongshania acalla 头盖形态变化寒武系崮山组山东

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基于深度学习的超大直径盾构姿态预测研究

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中南大学学报（自然科学版） 2024年第4期55卷 1477-1491页

作者：丰土根胡锦健张箭河海大学岩土力学与堤坝工程教育部重点实验室江苏南京210098

传统的盾构姿态纠偏措施多是在盾构机实际轴线已经偏离设计轴线之后采取的被动控制措施,具有一定的滞后性,而盾构姿态纠偏不及时会给施工过程和完成后的隧道本身带来严重的危害。为了准确预测盾构姿态偏差,为提前纠偏提供决策支持,本文... 详细信息

传统的盾构姿态纠偏措施多是在盾构机实际轴线已经偏离设计轴线之后采取的被动控制措施,具有一定的滞后性,而盾构姿态纠偏不及时会给施工过程和完成后的隧道本身带来严重的危害。为了准确预测盾构姿态偏差,为提前纠偏提供决策支持,本文依托江阴—靖江长江隧道超大直径盾构施工项目,提出一种基于CNN-EMD-LSTM的深度学习模型,该模型既能捕捉时间序列的维度特征和时变特征,又能提高盾构姿态数据分解重构方法的预测精度;通过消融实验对CNN-EMD-LSTM模型中每个部分的重要性进行探讨,并对CNN-EMD-LSTM模型在不同窗口长度、不同滑动步长下的预测效果进行对比。研究结果表明:CNN-EMD-LSTM模型对超大直径盾构姿态的预测效果较好;可以通过调节不同推进区间的压力进行盾构姿态纠偏;CNN-EMD-LSTM模型中各个部分按重要性从大到小排序依次为EMD、CNN、LSTM;窗口长度过大或过小都会增大模型预测误差,而滑动步长越小模型的预测效果越好。

关键词：超大直径盾构姿态预测姿态纠偏消融实验 CNN-EMD-LSTM

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