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微粒辅助掩膜电解加工金属微孔阵列结构

微粒辅助掩膜电解加工金属微孔阵列结构

作者：王舒萱大连理工大学

学位级别：硕士

微型化、精密化逐渐成为现代工业产品的主流发展方向。金属微孔阵列结构在航空、汽车、光学、电子等领域得到了愈加广泛的应用。掩膜电解加工以无材料变形、无工具损耗、加工成本低、可批量加工等优势,在金属微孔阵列结构的加工中具有... 详细信息

微型化、精密化逐渐成为现代工业产品的主流发展方向。金属微孔阵列结构在航空、汽车、光学、电子等领域得到了愈加广泛的应用。掩膜电解加工以无材料变形、无工具损耗、加工成本低、可批量加工等优势,在金属微孔阵列结构的加工中具有广阔的应用前景。然而,掩膜电解加工存在加工定域性较差的问题,微孔孔径的加工精度以及刻蚀深度难以满足加工需求。因此,为了提高掩膜电解加工的定域蚀除能力,本文提出了微粒辅助掩膜电解加工的方法,研究内容如下:通过掩膜电解加工的电极反应方程式分析了阳极表面电解产物以及钝化膜的形成过程,分析了电解产物对掩膜电解加工过程的影响。提出了通过微粒的冲蚀作用去除阳极表面电解产物的方法。分析了微粒冲蚀加工过程中电解产物去除量与微粒粒度、硬度、含量以及冲蚀速度之间的关系,并推导出了电解产物的电阻变化量与微粒冲蚀参数之间的半经验公式。基于上述半经验公式,利用COMSOL Multiphysics软件进行了掩膜电解加工微孔结构仿真研究,分别研究了微粒冲蚀系数以及冲蚀速度对微孔加工定域性的影响。仿真结果表明:随着微粒冲蚀系数、冲蚀速度的增加,电解产物的电阻不断减小,阳极表面电流密度从而逐渐增加,微孔的加工定域性得到明显改善。研制了微粒辅助掩膜电解加工的实验装置,并进行了微粒辅助掩膜电解加工的实验研究。对比了掩膜电解加工以及微粒辅助掩膜电解加工的微孔阵列结构,结果表明:微粒辅助掩膜电解加工的定域蚀除能力明显提高,蚀刻因子EF提高了50.6%。同时对添加的微粒粒径、含量以及电解液流量进行了参数优选。当金属微孔阵列结构的孔径为100μm时,优选微粒粒径为40μm、含量为6 g/L、电解液流量为3000 ml/min。掩膜电解加工的加工定域性改善效果最优,蚀刻因子EF从1.66提高到3.52。进行了电解产物的电化学阻抗测试,测试结果表明:微粒辅助掩膜电解加工时阳极电解产物的电阻减小了45.04%。基于电阻测试结果,进行了微粒冲蚀作用效果的仿真分析。仿真结果表明:微孔中心区域电解产物的电阻减小量大于侧向区域。对阳极电解产物的成分进行了能谱测试。测试结果表明:微孔中心区域内电解产物的氧元素含量下降了50.56%,侧向区域内下降了13.89%。进而,分析了微粒辅助掩膜电解加工方法的作用机理。微粒持续、高频的冲击作用去除了阳极表面的电解产物;同时,微粒冲蚀作用对微孔中心区域电解产物的去除效果优于侧向区域。微粒辅助掩膜电解加工限制了侧向腐蚀,增加了刻蚀深度,提高了掩膜电解加工的定域蚀除能力。

关键词：掩膜电解加工微粒冲蚀微孔阵列定域性

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数字经济背景下我国经济高质量发展路径探析

商业经济研究 2019年第23期 183-186页

作者：张鸿刘中王舒萱西安邮电大学经济与管理学院

数字经济是我国经济转型升级和高质量发展的必由之路。文章遵循"理论机理-实践基础-路径分析-政策选择"的研究思路,首先从数字经济和高质量发展相关理论入手,发现数字经济在经济结构优化、创新驱动发展、经济增长动力和经济发展目标等... 详细信息

数字经济是我国经济转型升级和高质量发展的必由之路。文章遵循"理论机理-实践基础-路径分析-政策选择"的研究思路,首先从数字经济和高质量发展相关理论入手,发现数字经济在经济结构优化、创新驱动发展、经济增长动力和经济发展目标等角度适应我国经济向高质量发展阶段的转变趋势;其次结合我国数字经济助推经济高质量发展实际现状进行实践基础分析;然后从数字基础、数字人才、数字技术、数字安全、数字产业和数字业态六方面阐述数字经济推动三大变革实现经济高质量发展的路径分析;最后对发展数字经济,实现经济高质量发展提出相应对策。

关键词：数字经济三大变革经济高质量发展

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视网膜激光光凝术在不同出血性眼底病治疗中的疗效

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医学食疗与健康 2021年第24期19卷 37-37,40页

作者：王舒萱兰州普瑞眼科医院甘肃兰州730000

目的:研究分析不同出血性眼底病治疗中应用视网膜激光光凝术的临床疗效。方法:研究开展时间区间范围设定为2018年1月~2020年9月,纳入研究样本为此时间段内于我院就诊接受治疗的128例出血性眼底病患者,其中糖尿病视网膜病变患者45例,为A... 详细信息

目的:研究分析不同出血性眼底病治疗中应用视网膜激光光凝术的临床疗效。方法:研究开展时间区间范围设定为2018年1月~2020年9月,纳入研究样本为此时间段内于我院就诊接受治疗的128例出血性眼底病患者,其中糖尿病视网膜病变患者45例,为A组,视网膜静脉阻塞(ROV)52例,为B组,Eales病31例,为C组,全部患者均行视网膜激光光凝术治疗,分析具体治疗效果。结果:A组治疗总有效率为84.4%,B组治疗总有效率为69.2%,C组治疗总有效率为54.8%,A组高于B组、C组(P<0.05)。对比3组治疗后中心凹容积、黄斑区视网膜厚度,A组更具优势(P<0.05)。结论:视网膜激光光凝术治疗出血性眼底病临床疗效显著,不同病理类型治疗效果存在差异。

关键词：视网膜激光光凝术出血性眼底病糖尿病视网膜病变

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复方樟柳碱治疗眼肌麻痹的临床有效性研究

医学食疗与健康 2021年第17期19卷 207-208页

作者：王舒萱兰州普瑞眼科医院甘肃兰州730000

目的:研究使用复方樟柳碱治疗眼肌麻痹的临床效果。方法:研究期间(2018年8月至2020年8月),对医院就诊的40例眼肌麻痹患者采取复方樟柳碱进行治疗,评价并总结治疗有关效果。结果:40例患者经治疗后评价:痊愈35.0%、显效50.0%、有效10.0%... 详细信息

目的:研究使用复方樟柳碱治疗眼肌麻痹的临床效果。方法:研究期间(2018年8月至2020年8月),对医院就诊的40例眼肌麻痹患者采取复方樟柳碱进行治疗,评价并总结治疗有关效果。结果:40例患者经治疗后评价:痊愈35.0%、显效50.0%、有效10.0%、无效5.0%,治疗总疗效95.0%;治疗后评价患者眼肌麻痹症状评分,可见较治疗之前有大幅降低(P<0.05)。结论:采用复方樟柳碱颞浅动脉旁注射治疗效果好,能有效减轻患者疾病症状。

关键词：复方樟柳碱眼肌麻痹临床症状

激光光凝术治疗眼底病临床疗效观察及并发症防治效果

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医学食疗与健康 2021年第15期19卷 43-44页

作者：王舒萱兰州普瑞眼科医院甘肃兰州730000

目的:探究分析眼底病采用激光光凝术治疗的临床疗效及防治并发症效果。方法:研究开展年限区间范围确定为2018年1月~2020年9月,择取研究样本为138例于我院就诊治疗的眼底病患者,以治疗方案差异均分为研究组、对照组,对照组患者药物基础... 详细信息

目的:探究分析眼底病采用激光光凝术治疗的临床疗效及防治并发症效果。方法:研究开展年限区间范围确定为2018年1月~2020年9月,择取研究样本为138例于我院就诊治疗的眼底病患者,以治疗方案差异均分为研究组、对照组,对照组患者药物基础性治疗干预,研究组患者行视网膜激光光凝术治疗,对比两组各项指标。结果:对比两组治疗后中心凹容积、黄斑区视网膜厚度、视力改善情况、临床疗效、并发症发生率,研究组更具优势(P<0.05)。结论:眼底病患者行激光光凝术治疗临床疗效显著,并发症发生率较低,可在各级医疗机构中全面推广。

关键词：激光光凝术眼底病并发症

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“完整社区”理念下社区公共服务设施可持续运营路径研究

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城市建设理论研究(电子版) 2023年第36期 16-18页

作者：耿煜周谢瑾王舒萱中国城市规划设计研究院

社区是城市居民生活和城市治理的基本单元，是党和政府联系、服务人民群众的“最后一公里”。在“完整社区”建设要求下，我国社区公共服务设施从“配建”环节，迈入全过程可持续、精细化运营阶段，但在完整社区运营过程中遇到了主体权... 详细信息

社区是城市居民生活和城市治理的基本单元，是党和政府联系、服务人民群众的“最后一公里”。在“完整社区”建设要求下，我国社区公共服务设施从“配建”环节，迈入全过程可持续、精细化运营阶段，但在完整社区运营过程中遇到了主体权责不明、资金投入欠缺、服务效率不高等诸多问题。本文基于对国内开展“完整社区”建设情况的实地调研，总结提炼各地在社区公共服务设施可持续运营中的实践经验，提出合理的对策建议，包括探索多主体协商模式、扩大空间资源整合路径、拓宽运营资金平衡渠道、创新精细化治理方式，为我国社区公共服务设施可持续运营提供参考借鉴。

关键词：完整社区公共服务设施社区运营可持续

SiC微粒辅助掩膜电解加工金属微孔阵列结构的研究

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电镀与涂饰 2023年第7期42卷 47-54页

作者：杜立群郑昆明于明新程浩浩王舒萱大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室辽宁大连116024 大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室辽宁大连116024

针对掩膜电解加工(TMECM)金属微孔阵列结构存在定域性差、微孔孔径的加工精度及刻蚀深度难以满足要求的问题,提出了SiC微粒辅助掩膜电解加工(PA-TMECM)的方法。研究了SiC微粒直径、质量浓度及电解液流量对304不锈钢表面微孔阵列结构加... 详细信息

针对掩膜电解加工(TMECM)金属微孔阵列结构存在定域性差、微孔孔径的加工精度及刻蚀深度难以满足要求的问题,提出了SiC微粒辅助掩膜电解加工(PA-TMECM)的方法。研究了SiC微粒直径、质量浓度及电解液流量对304不锈钢表面微孔阵列结构加工效果的影响,探讨了微粒辅助掩膜电解加工的作用机制。实验结果表明:当SiC微粒质量浓度为6 g/L、直径为40μm、电解液流量为3000 mL/min时,加工定域性最佳,蚀刻因子为3.52。在微粒辅助掩膜电解加工过程中,微粒通过持续、高频的冲击作用有效去除了阳极表面的电解产物,增大了微孔刻蚀深度,限制了侧向刻蚀,最终提高了掩膜电解加工的定域性。

关键词：奥氏体不锈钢掩膜电解加工碳化硅微粒微孔阵列结构定域性蚀刻因子

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基于微电铸工艺的金属铜沸腾换热表面的制作

基于微电铸工艺的金属铜沸腾换热表面的制作

兆声复合掩膜电解加工微坑结构仿真与实验研究

第18届全国特种加工学术会议

作者：杜立群姬学超曹强王舒萱大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室

沸腾换热是指热量从壁面传递给液体使液体沸腾,通过气泡运动带走热量,使壁面冷却的一种传热方式。由于其传热系数远高于强制对流换热,是一种非常高效的热传递方式,因此在能源动力、机械制造、材料化工、电子通讯等领域均有应用。通过在... 详细信息

沸腾换热是指热量从壁面传递给液体使液体沸腾,通过气泡运动带走热量,使壁面冷却的一种传热方式。由于其传热系数远高于强制对流换热,是一种非常高效的热传递方式,因此在能源动力、机械制造、材料化工、电子通讯等领域均有应用。通过在沸腾表面添加微纳尺度的结构,可以增大换热面积,提供更多的汽化成核点,从而显著提高沸腾换热效率。为了满足电子芯片的高效散热需求,基于SU-8胶紫外光刻和微电铸技术制作了一款面积为4cm2,具有40000个微柱结构的金属铜沸腾换热表面。针对制作过程中SU-8胶去胶困难的问题,提出了一种预置溶胀间隙的去胶新方法:通过设计光刻掩膜,在SU-8胶膜上预置溶胀间隙,将完整的胶膜分隔成独立胶膜单元,去胶时利用SU-8胶的溶胀特性使独立胶膜单元脱离微电铸结构,从而实现去胶的目的。首先为了研究不同SU-8胶间隙尺寸对溶胀去胶效果的影响,建立了仿真模型并设置了六种间隙尺寸（6、10、14、18、22、26μm）用以分析。仿真结果表明在设置溶胀间隙时,需要选择合适的间隙尺寸。预设的溶胀间隙尺寸过大或过小均会对胶膜去除产生不利影响,仿真设置的六种间隙尺寸中14μm和18μm溶胀间隙去胶效果较好。然后设计溶胀实验验证仿真结果,选取10、14、18、22μm四种溶胀间隙尺寸进行去胶实验,四组实验的去胶结果与仿真结果的变化趋势具有一致性,结合实验与仿真结果,选用14μm作为预置间隙尺寸制作金属铜沸腾换热表面。为了防止微电铸过程中电铸液与间隙区域直接接触发生金属电沉积,在SU-8胶与铜金属基底之间设置一层BN负胶隔离层。为了去除基底残胶及杂质从而改善属基底表面状况,在制作SU-8胶膜前对金属基底进行氧等离子体处理。最后通过基板预处理、BN308胶膜制作、SU-8胶膜制作、微电铸铜、平坦化处理、去除BN308隔离层、去除SU-8光刻胶七步工艺,制作出了具有40000个微柱结构的沸腾换热表面,沸腾换热表面面积为4cm2,单个微柱结构尺寸为50μm×50μm×50μm,结构间距为50μm。提出的预置溶胀间隙法解决了现有利用UV-LIGA工艺制作金属沸腾换热表面去胶困难的问题,为密集型金属微阵列结构的制作提供了一种新的有效去胶方法。

关键词：沸腾换热 UV-LIGA 预置间隙 SU-8去胶

来源： cnki会议评论

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兆声复合掩膜电解加工微坑结构仿真与实验研究