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PECVD法制备新型Cu-Gr复合材料用于未来互连

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科学通报 2024年第35期69卷 5183-5194页

作者：王璐伟王伟梁旭婷马勤政河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室

随着后端互连间距和横截面积的持续减小, Cu面临着电阻率、电迁移和RC延迟等挑战.石墨烯覆盖Cu后形成的复合材料（Cu-Gr）,可以显著降低Cu线电阻率,提高其电流密度与抗电迁移性能,能有效应对当前纯Cu互连所面临的挑战.本文首先采用物理... 详细信息

随着后端互连间距和横截面积的持续减小, Cu面临着电阻率、电迁移和RC延迟等挑战.石墨烯覆盖Cu后形成的复合材料（Cu-Gr）,可以显著降低Cu线电阻率,提高其电流密度与抗电迁移性能,能有效应对当前纯Cu互连所面临的挑战.本文首先采用物理气相沉积（physical vapor deposition, PVD）制备了100 nm厚的Cu膜,并通过Ar+射频清洗改善了其表面能.然后利用等离子体化学气相沉积（plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD）在Cu表面沉积石墨烯,通过调节衬底偏压至75 V,最终在Cu表面沉积出了具有低缺陷密度、较高平整度的少层石墨烯结构的碳薄膜.随后,对Cu-Gr进行了350℃热退火处理来改善其导电性能.结果表明,热退火处理前,在75 V衬底偏压下Cu-Gr的电导率最高,相比较热退火前的Cu,其电导率提升12.64%.热退火处理后,在50 V衬底偏压下Cu-Gr的电导率最高,相比较热退火后的Cu,其电导率提升12.75%.此外, ANSYS有限元分析表明将Cu-Gr应用于超大规模集成电路（very large scale integration circuit, VLSI）互连结构中,在通孔附近的等效热应力最高,其值为35.8 MPa.上层Cu-Gr互连位置等效弹性应变最大,其值为1.1×10-4.

关键词：新型互连材料石墨烯等离子体化学气相沉积衬底偏压电导率热应力

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负泊松比岩体颗粒流模型及模拟分析

中南大学学报（自然科学版） 2015年第9期46卷 3422-3428页

作者：金爱兵王凯杨振伟孟新秋北京科技大学土木与环境工程学院北京100083

为了从微观结构角度研究岩体特殊的负泊松比效应,基于颗粒流理论和颗粒流程序（PFC）,提出采用颗粒流数值模拟方法。从已知具有负泊松比效应的无机晶体材料出发,研究其内部特殊的微观结构,进而建立符合岩体情况的颗粒流模型。利用所生... 详细信息

为了从微观结构角度研究岩体特殊的负泊松比效应,基于颗粒流理论和颗粒流程序（PFC）,提出采用颗粒流数值模拟方法。从已知具有负泊松比效应的无机晶体材料出发,研究其内部特殊的微观结构,进而建立符合岩体情况的颗粒流模型。利用所生成模型进行单轴压缩模拟试验,得出泊松比随应力的变化曲线。基于所建模型,对岩体在低荷载水平作用下的负泊松比现象机理进行分析。研究结果表明：当轴压为0～3 MPa时,岩体试样泊松比为负值,最小泊松比为-0.059。模拟结果与室内试验结果大致吻合,验证了该颗粒流模型用于研究岩体负泊松比现象的可靠性。

关键词：岩体负泊松比 PFC 颗粒流模型微观结构

浙商新动向：闯关东、跨国渗透、海外上市 006

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微创胃十二指肠穿孔修补术与传统开腹术治疗胃穿孔患者的疗效对比

新华每日电讯

作者：潘海平

浙商，我国推进市场经济进程中，备受关注的特殊群体。2003年，满怀二次创业的激情，浙商出现了许多新的动向。专家指出，作为市场经济的先行者，他们的举动昭示着中国民营经济的未来。东北三省中仅在黑龙江的浙商就达15万之众

关键词：

来源： cnki报纸评论

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临床医药文献电子杂志 2017年第71期4卷 13866-13867页

作者：潘海洋山东省乐陵市人民医院

目的对微创胃十二指肠穿孔修补术与传统开腹术治疗胃穿孔患者的疗效进行探讨。方法研究中对照组接受传统开腹术,观察组接受微创胃十二指肠穿孔修补术;将患者各项临床资料详细整理后作回顾性分析。结果观察组手术时间短、术中出血量少、... 详细信息

目的对微创胃十二指肠穿孔修补术与传统开腹术治疗胃穿孔患者的疗效进行探讨。方法研究中对照组接受传统开腹术,观察组接受微创胃十二指肠穿孔修补术;将患者各项临床资料详细整理后作回顾性分析。结果观察组手术时间短、术中出血量少、术毕-排气时间短、住院时间短、并发症发生率低,与对照组比较存在差异,差异有统计学意义(P<0.05)。结论胃穿孔患者接受微创胃十二指肠穿孔修补术治疗的效果显著,手术所需时间短,术中出血情况可有效控制,术后排气无需较长时间,并发症少,病情可快速恢复,住院时间亦随之缩短。

关键词：微创胃十二指肠穿孔修补术传统开腹术胃穿孔

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链式自动化弹仓的最优保性能控制算法

兵工学报 2009年第9期30卷 1164-1169页

作者：侯保林马建伟南京理工大学机械工程学院江苏南京210094 河南科技大学电子信息工程学院河南洛阳471003

链式自动化弹仓是某大口径自行榴弹炮弹药自动装填系统的关键部件。由于发射过程中弹筒内弹丸数目的变化,使得弹丸在弹仓内的定位控制问题,变成了一种参数不确定系统的控制问题。为了实现弹丸的精确到位,本文提出了一肿基于线性矩阵不等... 详细信息

链式自动化弹仓是某大口径自行榴弹炮弹药自动装填系统的关键部件。由于发射过程中弹筒内弹丸数目的变化,使得弹丸在弹仓内的定位控制问题,变成了一种参数不确定系统的控制问题。为了实现弹丸的精确到位,本文提出了一肿基于线性矩阵不等式(LMI)的鲁棒控制算法,即最优保性能控制算法。首先建立了弹仓的刚体动力学方程,对4种不同负载情况下的动力学方程进行了线性化。然后,根据保性能控制的基本理论,把弹仓的动力学方程写成线性不确定系统的标准形式。用MATLAB的LMI工具箱获得了系统的最优状态反馈保性能控制规律,利用所获得的结果,对弹仓进行了受控动力学计算,结果表明该控制算法具有高的控制精度。

关键词：机械学自行榴弹炮弹药自动装填系统弹仓不确定性保性能控制

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基于一个学习逼近的非线性系统的故障调节

自动化学报 2004年第5期30卷 757-762页

作者：张颖伟王福利于戈东北大学信息科学与工程学院自动化研究所沈阳110004

很多学者对故障诊断和容错控制问题给予很大关注.特别是对于安全系统,故障诊断固然重要,最快地调节故障系统也是很重要的.例如当今的高性能飞行器即使发生故障仍需保持基本的运行状态.对于非线性系统提出一种故障调节控制器的设计方法,... 详细信息

很多学者对故障诊断和容错控制问题给予很大关注.特别是对于安全系统,故障诊断固然重要,最快地调节故障系统也是很重要的.例如当今的高性能飞行器即使发生故障仍需保持基本的运行状态.对于非线性系统提出一种故障调节控制器的设计方法,通过修正控制律补偿故障所带来的影响.故障发生后使用的神经网络用于逼近故障函数并提供故障的修正行为,即主动容错.故障调节后闭环系统是稳定的.仿真算例证明了此方法的有效性.

关键词：神经网络故障调节主动容错

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从《汤粑理词》看苗族刑事诉讼解决方式

凯里学院学报 2009年第5期27卷 71-73页

作者：潘海生贵州大学法学院贵州贵阳550025 凯里学院马列部贵州凯里556011

在贵州省黔东南苗族侗族自治州,苗族是人口最多的少数民族之一,主要分布于黄平、凯里、台江、施秉、雷山等地,在苗族社会内部,苗族人民对于解决纠纷有着自己的独特方式,黄平县的《汤粑理词》是一例证。

关键词：苗族黔东南理词刑事诉讼

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Eu原子偶宇称高激发态的场电离探测

光学学报 2012年第2期32卷 312-319页

作者：野仕伟戴长建赵艳红显示材料与光电器件教育部重点实验室天津300384 天津理工大学理学院天津300384

利用共振激发技术和电场电离(EFI)方法研究了铕(Eu)原子偶宇称高激发态。实验共探测到89个态,其中报道了56个态的能级位置和光谱归属等信息。经过对有效主量子数和量子亏损进行理论分析,并结合文献结果的对比,不但认定它们属于4f76s(9S)... 详细信息

利用共振激发技术和电场电离(EFI)方法研究了铕(Eu)原子偶宇称高激发态。实验共探测到89个态,其中报道了56个态的能级位置和光谱归属等信息。经过对有效主量子数和量子亏损进行理论分析,并结合文献结果的对比,不但认定它们属于4f76s(9S)np(8PJ或10PJ)里德伯系列,还填补了该系列中n=19～39各态的文献空白。另外,建议将Eu原子第一电离限修正为45734.2cm-1,同时解释了在其附近所观察到的宽峰的物理机制。

关键词：光谱学里德伯态电场电离铕原子偶宇称

优化科学基金资助布局,迎接海洋科学发展新机遇

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科学通报 2021年第2期66卷 193-200页

作者：冷疏影许学伟国家自然科学基金委员会地球科学部北京100085 自然资源部第二海洋研究所杭州310012

1海洋科学在地球系统科学、社会发展和国家战略中的重要地位1.1海洋科学是地球系卿学的知识源泉海洋是地球生命的摇篮,是人类赖以生存与发展的重要空间.海洋覆盖了地球表面的71%,与地球各圈层如大气圈、岩石圈和生物圈紧密关联,不仅调... 详细信息

1海洋科学在地球系统科学、社会发展和国家战略中的重要地位1.1海洋科学是地球系卿学的知识源泉海洋是地球生命的摇篮,是人类赖以生存与发展的重要空间.海洋覆盖了地球表面的71%,与地球各圈层如大气圈、岩石圈和生物圈紧密关联,不仅调节着气候系统的变化,更是地球自然资源的重要储存场所,蕴藏着丰富的生物、矿产和能源资源,对人类的健康福祉与全球的经济发展起着举足轻重的作用.

关键词：海洋科学知识源泉地球表面地球生命地球系统科学大气圈气候系统储存场所