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应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术

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中国光学 2014年第5期7卷 701-711页

作者：武潇野张立超时光中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033

本文介绍了光热与光声探测技术的基本原理,结合光学薄膜的吸收测试、光学薄膜的激光辐照特性表征、激光损伤特性表征以及光学薄膜的机械性质表征等各种具体应用,对激光量热法、光热偏转法、表面声波法等典型的光热、光声检测方法进行了... 详细信息

本文介绍了光热与光声探测技术的基本原理,结合光学薄膜的吸收测试、光学薄膜的激光辐照特性表征、激光损伤特性表征以及光学薄膜的机械性质表征等各种具体应用,对激光量热法、光热偏转法、表面声波法等典型的光热、光声检测方法进行了分析;阐述了这些方法的测试原理以及各自优势与不足。介绍了该领域利用这些方法取得的一些成果,并就光声光热检测技术的发展趋势做了展望。

关键词：光热方法光声法激光量热法激光辐照检测技术

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激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收

中国激光 2014年第8期41卷 180-187页

作者：赵灵武潇野谷勇强时光梅林才玺坤张立超中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 中国科学院大学北京100039

为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激... 详细信息

为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激光量热法测量应用于波长193nm紫外光刻系统的氟化物薄膜材料吸收率的方法,并进行了实际测量。根据所建立的测量方法,获得熔石英基底材料在193nm紫外光照射下的剂量效应及出现不可恢复吸收现象时相应的激光能量密度,进而测量出基底材料吸收率与激光能量密度之间的关系;通过热蒸发对基底镀氟化镁及氟化镧单层膜,测量镀膜后样品的吸收率与激光能量密度的关系,通过与镀膜前吸收率的对比,计算了两种薄膜材料吸收率与激光能量密度的关系,推算出薄膜材料在实际工作状态时的吸收率,并得到不同沉积温度下氟化镧薄膜材料吸收率、粗糙度与波纹度。实验结果证实了新提出测量方法的可行性,测量结果为改善系统成像质量以及延长元件使用寿命提供支持。

关键词：薄膜薄膜材料 193nm激光器激光量热法吸收系数

离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性

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中国光学 2016年第3期9卷 356-363页

作者：贺健康张立超才玺坤时光武潇野梅林中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心吉林长春130033

本文采用离子束溅射方法制备GdF_3薄膜,并研究其沉积速率分布特征。首先,采用膜厚仪测量得出GdF_3薄膜在行星盘平面的二维沉积速率分布图,通过拟合模型得到二维沉积速率分布公式。其次,分析了束流束压及靶材角度对沉积速率分布特征的影... 详细信息

本文采用离子束溅射方法制备GdF_3薄膜,并研究其沉积速率分布特征。首先,采用膜厚仪测量得出GdF_3薄膜在行星盘平面的二维沉积速率分布图,通过拟合模型得到二维沉积速率分布公式。其次,分析了束流束压及靶材角度对沉积速率分布特征的影响。最后,以二维沉积速率分布公式为基础,通过计算机编程设计均匀性挡板,并进行膜厚均匀性实验验证。结果表明,沉积速率在水平方向上满足ECS函数分布,在竖直方向上满足标准Gauss分布,拟合公式残差为2.05×10^(-6)。改变离子源的束流和束压,沉积速率分布特征保持不变。而随着靶材角度的增大,Gauss分布的半峰宽值ω逐渐增大,峰值位置x_c逐渐增大,在θ=292°时,GdF_3薄膜的沉积速率最大。通过挡板修调实验,可将270 mm口径平面元件的膜厚均匀性调整为97.9%。

关键词：离子束溅射光学薄膜沉积速率二维拟合膜厚均匀性

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离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜

中国光学 2016年第6期9卷 649-655页

作者：才玺坤张立超时光贺健康武潇野梅林中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心吉林长春130033

采用离子束溅射制备了Al F3、Gd F3单层膜及193 nm减反和高反膜系,分别使用分光光度计、原子力显微镜和应力仪研究了薄膜的光学特性、微观结构以及残余应力。在优选的沉积参数下制备出消光系数分别为1.1×10^(-4)和3.0×10^(-4)的低损耗... 详细信息

采用离子束溅射制备了Al F3、Gd F3单层膜及193 nm减反和高反膜系,分别使用分光光度计、原子力显微镜和应力仪研究了薄膜的光学特性、微观结构以及残余应力。在优选的沉积参数下制备出消光系数分别为1.1×10^(-4)和3.0×10^(-4)的低损耗AlF_3和GdF_3薄膜,对应的折射率分别为1.43和1.67,193 nm减反膜系的透过率为99.6%,剩余反射几乎为零,而高反膜系的反射率为99.2%,透过率为0.1%。应力测量结果表明,AlF_3薄膜表现为张应力而GdF_3薄膜具有压应力,与沉积条件相关的低生长应力是AlF_3和GdF_3薄膜残余应力较小的主要原因,采用这两种材料制备的减反及高反膜系应力均低于50 MPa。针对平面和曲率半径为240 mm的凸面元件,通过设计修正挡板,250 mm口径膜厚均匀性均优于97%。为亚纳米精度的平面元件镀制193 nm减反膜系,镀膜后RMS由0.177 nm变为0.219 nm。

关键词：离子束溅射应力光学特性膜厚均匀性

从“多元自然”到“多种人类学”:本体论转向与卡斯特罗视角主义理论再检视

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广西民族大学学报（哲学社会科学版） 2024年第1期46卷 113-121页

作者：宋靖野西南民族大学民族学与社会学学院四川成都610041

作为本体论转向的代表学说,韦维洛斯·德·卡斯特罗的视角主义理论包含两个层面的核心主张。其一,基于民族志资料,视角主义描述了南美亚马孙印第安部落一种以“多元自然”为核心特征的神话学、萨满教和宇宙论模式;其二,通过发掘土著概... 详细信息

作为本体论转向的代表学说,韦维洛斯·德·卡斯特罗的视角主义理论包含两个层面的核心主张。其一,基于民族志资料,视角主义描述了南美亚马孙印第安部落一种以“多元自然”为核心特征的神话学、萨满教和宇宙论模式;其二,通过发掘土著概念和思想体系,视角主义进一步提出了建立“多种人类学”的知识主张,其最终目标则是对土著的观点、地方性知识、野性的思维等现代人类学建立在“多元文化”预设上的规范认识进行彻底批评。针对视角主义的上述主张,佩德森和德斯科拉分别予以回应:前者的“自然之岛”理论提供了一种在民族志层面定义多元自然的替代模式,后者的“超越自然与文化”命题则诉诸结构主义的转换模型以捍卫人类学的知识一元性。

关键词：卡斯特罗视角主义自然本体论转向

黑土地保护政策工具对农业绿色全要素生产率影响及其空间差异

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经济地理 2024年第7期44卷 165-174页

作者：张梅张涵野东北农业大学经济管理学院中国黑龙江哈尔滨150030

文章将黑土地保护政策工具分为供给型、需求型、环境型三类,基于5县区297家新型农业经营主体数据研究了黑土地保护政策工具对农业绿色全要素生产率(GTFP)的影响效果,进一步检验了作用机制与地理空间异质性。结果表明:①黑土地保护政策... 详细信息

文章将黑土地保护政策工具分为供给型、需求型、环境型三类,基于5县区297家新型农业经营主体数据研究了黑土地保护政策工具对农业绿色全要素生产率(GTFP)的影响效果,进一步检验了作用机制与地理空间异质性。结果表明:①黑土地保护政策工具及其组合在综合效果上实现了“创新补偿”效应,显著提高了农业GTFP。②需求型政策工具对农业GTFP促进作用的边际效应最大,环境型次之,供给型最小。目前,政策工具使用比例中需求型占18.8%、环境型占30.0%、供给型占51.2%,表明市场机制作用效率高于政府直接干预。③黑土地保护政策工具对农业GTFP的影响具有地理空间异质性,其中供给型政策工具的边际效应为克山县>总样本>龙江县;需求型政策工具的边际效应为北林区>克山县>龙江县>总样本>兰西县>依安县;环境型政策工具的边际效应为克山县>龙江县>依安县>总样本>兰西县>北林区。④进一步机制分析表明,供给型政策工具通过推动规模经营、需求型政策工具通过拉动市场参与、环境型政策工具通过影响风险感知促进农业GTFP提高。

关键词：黑土地保护政策工具效果评价农业绿色全要素生产率创新补偿效应市场机制规模经营

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倒纪元

上海文学 2024年第8期562卷 4-23页

作者：滕野不详

眼前一片漆黑,污浊的恶臭冲击着我的鼻腔。我躺在某个冰凉的表面上。我支起身子,却一头撞上了坚硬的东西。剧痛把我按了回去,我摸摸头顶,发现上方是一块坚硬的盖板,再摸摸左右两边,也是同样坚硬的盖板。我被困在了一个狭小的空间中。我... 详细信息

眼前一片漆黑,污浊的恶臭冲击着我的鼻腔。我躺在某个冰凉的表面上。我支起身子,却一头撞上了坚硬的东西。剧痛把我按了回去,我摸摸头顶,发现上方是一块坚硬的盖板,再摸摸左右两边,也是同样坚硬的盖板。我被困在了一个狭小的空间中。我恐惧得想要喊叫,但叫声还没传出喉咙就变成了一连串咳嗽。恶臭越来越强烈,我侧过头,开始呕吐。

关键词：恶臭盖板污浊

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中频变压器绕组非正弦周期载荷振动特性分析

电机与控制学报 2024年第4期28卷 11-17,30页

作者：陆格野孙路刘宏亮清华大学电机工程与应用电子技术系北京100084 国网河北省电力有限公司电力科学研究院河北石家庄050021

针对非正弦周期载荷作用下的中频变压器绕组振动问题,建立柱坐标下的圆筒形绕组和笛卡尔坐标下的矩形绕组动力响应数值计算模型,模型考虑了电磁-结构扰动的耦合关系。根据屈服条件和流动理论,建立变压器绕组弹塑性变形的动力平衡方程。... 详细信息

针对非正弦周期载荷作用下的中频变压器绕组振动问题,建立柱坐标下的圆筒形绕组和笛卡尔坐标下的矩形绕组动力响应数值计算模型,模型考虑了电磁-结构扰动的耦合关系。根据屈服条件和流动理论,建立变压器绕组弹塑性变形的动力平衡方程。引入夹层模型简化计算,计算得到夹层模型薄层间距,可用于绕组拉伸、压缩变形等效建模。通过一台中频变压器算例进行非正弦周期载荷作用下绕组动力响应的实验测量和数值计算。研究表明,三角波载荷与正弦波载荷作用下绕组振动特性相同,而矩形波载荷作用下绕组振动在激励周期内几乎不衰减。发生故障工况时,由于高频振动,绕组残余形变迅速积累。2 kHz的矩形波载荷作用下绕组在1 ms内极限载荷强度可下降至1/4。

关键词：中频变压器机械振动绕组强度动力响应非正弦周期载荷极限载荷强度

越南建构的南海历史地名叙事及其存在的逻辑问题

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南洋问题研究 2024年第2期 104-120页

作者：邬志野广西师范大学政治与公共管理学院广西桂林541004

在中越之间关于南海的争议中,越南方面找到诸多历史资料来支撑其主张。这些史料中的地名繁杂而混乱,但却被罗织成相互关联的地名关系。这种历史叙述看似系统而完整,但其各个节点却缺乏充分的证据和合理的逻辑。以越南发行的白皮书为线索... 详细信息

在中越之间关于南海的争议中,越南方面找到诸多历史资料来支撑其主张。这些史料中的地名繁杂而混乱,但却被罗织成相互关联的地名关系。这种历史叙述看似系统而完整,但其各个节点却缺乏充分的证据和合理的逻辑。以越南发行的白皮书为线索,可以找到越南建构南海历史叙述的主要依据。详细考察这些越南和西方文献中相关地名之间的关系,即可进一步发现越南南海主张中的历史地名叙事逻辑及其问题所在。

关键词：南海西沙群岛南沙群岛中越争端